【課題】収納棚を保持台に位置決めするための位置決め個所を少なくして、収納棚を保持する保持台との合計質量を軽減でき、その昇降手段の大型化を防ぐことができる基板搬入出装置を提供する。
【解決手段】基板搬入出装置１は、下面に枠体２ａを持つ収納棚２と、この収納棚２を移載台５の周囲に保持する保持台６とを備え、枠体２ａの交差する二辺それぞれに位置して対となる位置決めローラ１２ｂを配置し、これら位置決めローラ１２ｂを位置決めローラ相対離合手段８により相対離合可能に構成し、相対離合する位置決めローラ１２ｂにより枠体２ａを挟むように構成している。この構成により、収納棚２が保持台６に載置されると、位置決めローラ１２ｂが枠体２ａを挟む方向に相対移動して、各位置決めローラ１２ｂの中間位置に位置決めすることができる。 （もっと読む）

【課題】ハンドをカセット内へ進入させることなくハンド上へ基板を載置して搬送すること。
【解決手段】カセットへ基板の出し入れ方向に沿って連結された状態でかかるカセットが備える駆動機構の駆動を受けて回転する受動ローラを備え、かかる受動ローラをその先端部に有する板状のフォークと、上記の受動ローラの回転をかかるフォークに沿って伝達するベルトと、かかるベルトによる回転の伝達を受けて上記の受動ローラと同じ回転方向に回転するその他のローラとを備えるように基板搬送用ハンドおよびかかる基板搬送用ハンドを備える基板搬送装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に形成されるムラの発生を抑えるとともに、タクトタイムを短縮できる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に吐出装置３aから塗布液を吐出し、塗布後に塗布基板を乾燥装置５に浮上搬送機構６により搬送する塗布装置１であって、前記浮上搬送機構は振動浮上機構４２を有し、搬送工程において基板上に塗布された塗布膜を前記振動浮上搬送機構により基板に生じる振動により引き起こされるレベリング効果より塗布膜に生じる塗布ムラを解消する。 （もっと読む）

【課題】高加速度下で機能することができるパターニングデバイスのスリップ防止解決法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置のパターニングデバイスステージの移動中のパターニングデバイス２７０の滑りを実質的に除去するための構成が提供される。このような構成の一つは、保持システムとサポート輸送装置２３０とを含む。保持システムは、支持デバイス２５０と、保持デバイス２８０と、磁歪アクチュエータ２６０とを含む。保持デバイス２８０はパターニングデバイス２７０を支持デバイス２５０に解放可能に結合する。磁歪アクチュエータ２６０は、パターニングデバイス２７０に解放可能に結合され、パターニングデバイス２７０に加速力を付与する。サポート輸送装置２３０は支持デバイス２５０に結合され、磁歪アクチュエータ２６０による力の付与と同時に支持デバイス２５０移動し、パターニングデバイス２７０滑りを防止する。 （もっと読む）

【課題】既存の設備の大幅な改良を伴うことなく、搬送アームと基板との衝突を確実に防止すること。
【解決手段】撓み補正装置３は、キャリア１に収納されたウエハ（基板）Ｗの表面に略直交する方向に移動可能な支持棒５（付勢手段）を備える。支持棒５は、キャリア１に収納されたウエハＷの中央部に当接または対向し、当該ウエハＷの中央部を付勢することにより、ウエハＷの撓みを補正する。このようにウエハＷの撓みを防止した状態で、搬送アーム２をウエハＷの下側に挿入してウエハＷを取り出すことにより、搬送アーム２とウエハＷとの衝突を確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】クランプ部により薄板状物をクランプする際の衝撃を緩和しながら、位置検出器を用いることに起因する電磁アクチュエータの構成の複雑化を抑制することが可能な把持装置を提供する。
【解決手段】この電磁グリッパ（把持装置）１００は、ウエハ９をクランプする方向に移動する可動部２５を含むクランプ部２４と、クランプ部２４の可動部２５をクランプする方向に常時付勢するばね部材３０と、少なくともクランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に推力を発生させる電磁アクチュエータ２２とを備える。また、電磁アクチュエータ２２は、クランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に、ばね部材３０のクランプ方向への付勢力による可動部２５の移動速度を低減する方向に推力を発生させる励磁コイル２７ａ〜２７ｃを有する励磁回路２８を含む。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置などで使用される基板を位置決めするθＺ駆動装置を小型にすることを課題とする。
【解決手段】ベース６に立設する円筒状のフレーム１７と、フレーム１７の内面に設けられてテーブル１をＺ方向とθ方向に駆動するθＺアクチュエータ１５と、テーブル１がＺ方向へ昇降可能となるよう支持する昇降支持部７と、テーブル１がθ方向へ回転可能となるよう支持する回転支持部４と、テーブル１の昇降位置および回転位置を取得するための位置検出部３１と、を備え、昇降支持部７と回転支持部４と位置検出部３１のすべてが、θＺアクチュエータ１５の内側にあって、かつθＺアクチュエータ１５のＺ方向の高さにほぼ収まるよう配置されるよう構成した。 （もっと読む）

【課題】歩留まり低下を防ぐことが可能な紫外線照射装置、紫外線照射方法及び基板処理装置を提供すること。
【解決手段】吸引機構を有するチャンバと、前記チャンバ内に設けられ、前記基板を保持して移動可能に設けられた保持機構と、前記保持機構に保持された前記基板に紫外線を照射する紫外線照射機構と、前記チャンバ内の前記基板を加熱する加熱機構と、前記チャンバ外部に設けられた駆動源、及び、前記保持機構に接続され前記駆動源の駆動力を前記保持機構に伝達する伝達部材、を有する移動機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】矩形の基板がステージ上で傾いて載置されても、当該基板を位置決めし直すことのできる矩形基板の載置位置矯正方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗの左辺Ｌに二点で接触可能な一対の第一部材１１及び第二部材１２を前後方向基準線Ｘ０に平行な直線Ｘ１上に位置させ、基板Ｗの前辺Ｆに一点で接触可能な第三部材１３、及び、基板Ｗの後辺Ｂに一点で接触可能な第七部材１７を、基板Ｗの前後方向寸法ｂよりも広い間隔でかつ左右方向基準線を中心として位置させる。左側の前記二点及び右側の第五部材１５と第六部材１６とで基板Ｗを左右方向に挟むと共に、この左右方向に挟む動作の間に、基板Ｗを第四部材１４及び第八部材１８で、左右方向基準線Ｙ０を中心として前後方向に挟む。 （もっと読む）

【課題】パレット保持の信頼性及び動作の信頼性を確保し、生産性を向上する。
【解決手段】基板支持装置が、基板１２を搭載するパレット８と、パレットを鉛直姿勢した状態で、パレットの径方向両端部を保持するパレット両端保持機構１５と、パレットの中心部を回転可能に保持するパレット中央保持機構１３と、装置本体を移動する移動機構１１と、を備え、パレット両端保持機構は、パレットの径方向両端部を板厚方向の両側から把持する機構で、移動中はパレット両端保持機構がパレットを保持し、パレット両端保持機構からパレット中央保持機構への受け渡し時は、双方の保持機構によってパレットが保持され、基板処理時はパレット中央保持機構によってパレットの中心部を回転可能に保持し、パレット両端保持機構による保持は解除される。 （もっと読む）

【解決手段】プラズマ処理チャンバーの基板デチャックシステムは、基板のデチャック時に、電位スパイクを減少させて、基板をＥＳＣ（静電チャック）から取り外せるように構成される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、エネルギーを供給の必要が無く、部品劣化が発生しない自重支持装置を有するステージ装置を提供する。
【解決手段】テーブル１と、前記テーブル１を移動させる駆動部６と、テーブルの自重を重力に抗して支持する自重支持装置と、を備えるステージ装置であって、自重支持装置は、軸方向に着磁され、両先端に磁極を有する柱形状からなる第一の永久磁石７と、貫通穴９を有し、前記貫通穴９の軸方向と平行で且つ略一様な磁場が、前記貫通穴９内部の一定範囲において発生するように着磁された第二の永久磁石８とからなり、前記第一の永久磁石７の一方の先端が、前記第二の永久磁石８に形成された前記貫通穴９に非接触で挿入され、前記第一の永久磁石７の他方の先端が、前記第二の永久磁石８に形成された前記貫通穴９の外部に位置するよう配置され、前記第一の永久磁石７と前記第二の永久磁石８との間に発生する磁力を、支持力として利用する。 （もっと読む）

【課題】ケーブル類からのガスの発生の問題をなくし、また、可動性のケーブルダクト等の複雑な構造を採用することなく、真空室内の駆動源に電力を供給することができる真空処理装置を提供すること。
【解決手段】電力供給機構２は、隔壁１１の側面１１４に配置されている。電力供給機構２は非接触型のものであり、隔壁１１の外側に配置された１次側電磁石２１と、隔壁１１内に配置された２次側電磁石２２とを有する。電力供給機構２は、１次側電磁石２１から電磁誘導により発生する磁場を用いて２次側電磁石２２に電力及び通信信号を供給する。コントローラボックス９内の制御器９３は、２次側電磁石２２が１次側電磁石２１から受けた磁場により得られる高周波電力を整流し、また、その高周波電力から通信信号を検出する。これにより、制御器９３は、この電力を用いて通信信号を搬送ロボット１０の駆動部へ送信することで搬送ロボット１０を駆動する。 （もっと読む）

【課題】静電浮上モータを用いた真空搬送装置において、大きな静電吸引力を得ることができ、高重量物を搬送可能な真空搬送装置を提供する。
【解決手段】移載装置５を支持台３の下面側に支持することによって支持台３の上面全体を真空雰囲気中に露出させることが可能になり、これに伴い真空室１の天板部１７ａの内面に、支持台３の上面全体に対応して平板電極７を配置することが可能になる。これにより、電極面積を広くとることが可能となり、従来の典型的な真空搬送装置に比較して、大きな静電吸引力を得ることができ、高重量物を搬送可能な真空搬送装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】移動体に設けられた計測面への位置計測センサの計測ビームの投射を制御することにより、計測面の歪みを回避する。
【解決手段】所定平面内を移動するステージＷＳＴの位置を計測するために、ヘッドユニット６２Ａ〜６２Ｆが設置されている。ヘッドユニット６２Ａ〜６２Ｆは、それぞれ、複数のエンコーダヘッド等を備えている。各エンコーダヘッドから、計測ビームが、ステージＷＳＴの上面に設けられているスケール３９Ｙ₁、３９Ｙ₂、３９Ｘ₁、３９Ｘ₂に投射される。ここで、長時間、同一位置に計測ビームが投射され続けると、スケール３９Ｙ₁、３９Ｙ₂、３９Ｘ₁、３９Ｘ₂に照射熱に起因する変形が生じ、エンコーダ（位置計測センサ）の計測誤差が発生する。そこで、計測ビームを、切る、間欠投射する、或いは強度を変えて投射することにより、その投射量を制御することで、スケールの変形を抑制する。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減して装置の小型化を図り、非接触で搬送物の搬送する。
【解決手段】搬送物Ｓを上方に浮揚させる静圧テーブルと、振動板１１Ａ，１１Ｂ及びアクチュエータ１２Ａ，１２Ｂを有する一対の搬送ユニット１０Ａ，１０Ｂと、搬送ユニット１０Ａ，１０Ｂを搬送方向に移動させる移動装置とを備える。そして、アクチュエータ１２Ａ，１２Ｂによって振動板１１Ａ，１１Ｂに撓み定在波を励振させることにより、振動板１１Ａ，１１Ｂに対向する搬送物Ｓの先端部Ｓａ及び後端部Ｓｂに保持力が付与される。そして、保持力を搬送物Ｓの端部Ｓａ，Ｓｂに付与した状態で、搬送ユニット１０Ａ，１０Ｂを移動させることにより、搬送物Ｓを搬送ユニット１０Ａ，１０Ｂの移動に追従して搬送方向に搬送する。 （もっと読む）

【課題】ろう付け部分に剥離等の断線が生ずることを抑制することが可能な載置台構造を提供する。
【解決手段】処理装置２０の処理容器２２内に設けられて被処理体Ｗを載置するための載置台構造において、平面方向に延びる１又は複数の導電部材６２が内部に設けられた誘電体よりなる載置台６０と、処理容器の底部より起立されて上端部に載置台を支持する円筒体状の支柱５６と、載置台の下面側に設けられた端子収容凹部と、導電部材に導通されると共に端子収容凹部内に露出されている上部端子と、支柱内に挿通される給電棒８６Ａ〜８６Ｄと、給電棒の上端に設けられ、前記端子収容凹部内に嵌合されると共に前記上部端子にろう付けされて給電棒の引っ張り方向に対して前記端子収容凹部に係合される下部端子８８Ａ〜８８Ｄを備えた。 （もっと読む）

【課題】ハンド全体の厚みを薄くし、小型・軽量化した基板把持装置を提供する。
【解決手段】基端側から先端側へ二股に分かれるベースプレート１１と、ベースプレート１１の上面に設けられる把持プレート１２と、ベースプレート１１と把持プレート１２の間に設けられる把持駆動部７と、前記二股の基端の先端と把持プレート１２の先端とから成る把持部１０と、前記二股の各先端で基板の一部を案内するガイド部２０と、を備え、把持駆動部７が、把持プレート１２の基端側にて基端側を常に上側へ付勢する付勢手段１５と、付勢手段１５の近傍で通電により把持プレート１２をベースプレート１１側に吸着させる電磁石部１４と、先端側にあって把持プレート１２がベースプレート１１に対して上下に揺動させる軸受部１３と、で構成し、ガイド部２０が基板の一部の周囲の表面と裏面と側面とに当接することのできる案内溝２３を先端に備えた。 （もっと読む）

【課題】平板状物体を支持機構の下側で非接触支持することができ、また、支持機構と平板状物体との位置ずれを自動的に補正することができる平板状物体の非接触支持方法を提供する。
【解決手段】空気中において、超音波で励振される平坦な振動面２６の鉛直下方に、振動面２６の外形と略等しい外形の平坦面を有する平板状物体３０を、当該平坦面が振動面２６に平行するように配置し、振動面２６を超音波で面に垂直方向に励振して、振動面２６の近接位置に平板状物体３０を非接触状態で支持する。振動面２６の超音波振動により平板状物体３０に引力が働き、振動面２６の鉛直下方で平板状物体３０が非接触状態で支持される。振動面２６と平板状物体３０との中心位置がずれていても平板状物体３０に復元力が作用し、ずれが自動的に解消される。
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【課題】ピッチングを発生させることなく移動体を移動させることのできるステージ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】Ｘ軸方向に沿って複数の磁石を配設することによって形成されて一対のＹ軸可動子９Ａ，９Ｂ同士に連結されたＸ軸シャフト１８Ａ，１８Ｂ、及びＸ軸シャフト１８Ａ，１８Ｂを取り囲むコイルによって構成されるＸ軸可動子１９Ａ，１９Ｂを有するＸ軸駆動部６をＸ軸移動体７の両外側に各々配置することによって、Ｘ軸移動体７の鉛直方向の位置を調整可能とする。そして、Ｘ軸移動体７の鉛直方向の位置を下げることで、Ｘ軸シャフト１８Ａ，１８Ｂ及びＹ軸可動子１９Ａ，１９Ｂを有するＹ軸駆動部６にＸ軸移動体７の鉛直方向の重心位置Ｇを近づける。これによって、Ｘ軸駆動部６でＸ軸移動体７を安定して支持する。 （もっと読む）