基板搬入出装置
【課題】収納棚を保持台に位置決めするための位置決め個所を少なくして、収納棚を保持する保持台との合計質量を軽減でき、その昇降手段の大型化を防ぐことができる基板搬入出装置を提供する。
【解決手段】基板搬入出装置１は、下面に枠体２ａを持つ収納棚２と、この収納棚２を移載台５の周囲に保持する保持台６とを備え、枠体２ａの交差する二辺それぞれに位置して対となる位置決めローラ１２ｂを配置し、これら位置決めローラ１２ｂを位置決めローラ相対離合手段８により相対離合可能に構成し、相対離合する位置決めローラ１２ｂにより枠体２ａを挟むように構成している。この構成により、収納棚２が保持台６に載置されると、位置決めローラ１２ｂが枠体２ａを挟む方向に相対移動して、各位置決めローラ１２ｂの中間位置に位置決めすることができる。
【解決手段】基板搬入出装置１は、下面に枠体２ａを持つ収納棚２と、この収納棚２を移載台５の周囲に保持する保持台６とを備え、枠体２ａの交差する二辺それぞれに位置して対となる位置決めローラ１２ｂを配置し、これら位置決めローラ１２ｂを位置決めローラ相対離合手段８により相対離合可能に構成し、相対離合する位置決めローラ１２ｂにより枠体２ａを挟むように構成している。この構成により、収納棚２が保持台６に載置されると、位置決めローラ１２ｂが枠体２ａを挟む方向に相対移動して、各位置決めローラ１２ｂの中間位置に位置決めすることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶基板のような薄板状のワークを積層収納する基板搬入出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶基板、ガラス板等薄板状のワークを収納棚に搬入またはこれから搬出する装置としては特開２００５-６４４３２号に記載の基板搬入出装置がある。この装置１は、図８に示すように立体格子様の枠体２ａでなる収納棚２を有し、この収納棚２の側面の一面にはワーク搬入、搬出するための開口部２ｂが設けられている。また、収納棚２の他の三面には収納棚２を補強するようにそれぞれ２本の桟２ｃが縦方向に、上下面には串刺し様の桟２ｃが設けられている。この収納棚２の開口部２ｂを挟む二面の対向する桟２ｃには、ワイヤ２ｄが複数段にわたって等間隙に取付けられており、各段でワークの一例の液晶基板３を所定の間隔をおいて水平方向に積層載置できるように構成されている。
【０００３】
前記基板搬入出装置１は、上方に突出する６個のローラ台４を持つ移載台５と、この移載台５を囲む位置に配置された保持台６とを有しており、ローラ台４の間隙は前記収納棚２が下降しても下面の枠体２ａとローラ台４とが衝突しないように構成されている。前記ローラ台４には上端に露出するローラ４ａが取付けられており、ローラ台４に内蔵された駆動手段（図示せず）により駆動されてローラ４ａ上の液晶基板３を収納棚２の開口部２ｂから搬入または排出するように構成されている。
【０００４】
また、前記保持台６には収納棚２を保持する位置決め装置Ｂが設けられており、この位置決め装置Ｂは収納棚２を囲む各面に対して２個の押圧シリンダ５１を有し、保持台６に収納棚２が搬入されるとこれをシリンダロッド５１ａの先端に取付けられた位置決めローラ５２により４方向から押圧して収納棚２を所定の位置に位置決めするように構成されている。前記保持台６は昇降手段（図示せず）に連結されており、この昇降手段により所定ピッチごとに下降してローラ４ａの上端が順次収納棚２のワイヤ２ｄよりわずかに上方に位置してしかも液晶基板３の搬入に支障のない位置で停止するように構成されている。
【０００５】
さらに、この基板搬入出装置１には移載台５近くに搬入出ロボット（図示せず）が配置されており、必要に応じて液晶基板３が満載された収納棚２または空の収納棚２を保持台６上に搬入したり、空の収納棚２またはワークＡが満載された収納棚２を保持台６から搬出したりするように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−６４４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記基板搬入出装置1では、保持台6で液晶基板３の良否検査、種類の判別等を行う場合には、収納棚２を正確に位置決めでき、良否検査、種類の判別等を正確に行うことができる。しかしながら、昇降手段に連結された保持台６に８個の押圧シリンダ５１を設けることとなり、保持台６との合計質量が大きくなってその分昇降手段を大型化しなければならない等の欠点がある。
【０００８】
本発明は、このような欠点の除去を目的としており、保持台６の昇降手段を大型化する必要がないように収納棚２を位置決めする個所を少なくした基板搬入出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。すなわち、本発明の基板搬入出装置は、下面に枠体を持ちかつ側面にワークを搬入搬出する開口部を備えた収納棚と、この収納棚を移載台の周囲に保持する保持台とを備え、前記枠体の交差する二辺それぞれに位置して対となる位置決めローラを配置し、これら位置決めローラを位置決めローラ相対離合手段により相対離合可能に構成し、相対離合する位置決めローラにより枠体を挟むように構成したことを特徴とする。
【００１０】
このように構成すると、収納棚が保持台に載置されると、収納棚の下面の枠体を対となる位置決めローラが挟む方向に相対移動して、収納棚の枠体の二辺を各位置決めローラの中間位置に位置決めすることができる。
【００１１】
この場合、前記収納棚を立体格子様の枠体としてもよく、また枠体の交差する二辺の少なくとも一辺に２か所にわたって位置決めローラを配置してもよく、後者の場合には収納棚の位置決めをより正確に行うことができる。
【００１２】
また、本発明の基板搬入出装置は位置決めローラ相対離合手段として２個のスライダを持つリニアガイドを有し、このリニアガイドの一方のスライダにシリンダの本体を固定して他方のスライダにシリンダのピストンロッドを連結し、各スライダに位置決めローラを一体に移動するように取付けており、これら位置決めローラが対をなして相対離合するように構成したことを特徴とする。
【００１３】
このように構成した場合も、同様に収納棚を位置決めできるばかりか、位置決めローラ相対離合手段をコンパクトに構成することができる。
【００１４】
さらに、本発明の基板搬入出装置は保持台に枠体の交差する二辺に対応して各辺と交差する方向に延びる切欠きを設け、この切欠きに位置して位置決めローラ相対離合手段を配置し、位置決めローラを保持台から上方に突出させたことにより基板搬入出装置全体をコンパクトに構成することができる。
【００１５】
さらに、本発明の基板搬入出装置は、位置決めローラ相対離合手段として1個のスライダ部をもつロッドレスシリンダを有し、このロッドレスシリンダ本体に第１位置決めローラを取付ける一方、スライダ部に第２位置決めローラを一体に移動するように取付け、これら第１位置決めローラおよび第２位置決めローラが対をなすように構成したことを特徴とする。
【００１６】
このように構成した場合も、ロッドレスシリンダ本体側に取付けた第１位置決めローラの取付け位置を基準にして収納棚を位置決めすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明した本発明によれば、収納棚を保持台に位置決めするための位置決め個所を少なくして、収納棚を保持する保持台の質量を軽減でき、その昇降手段の大型化を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態の要部にかかる位置決めローラ相対離合手段の正面図
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板搬入出装置の全体斜視図
【図３】本発明の第１実施形態の要部にかかる位置決めローラ相対離合手段の動作開始前の状態を示す動作図
【図４】本発明の第１実施形態の要部にかかる位置決めローラ相対離合手段の動作状態を示す動作図
【図５】本発明の第１実施形態にかかる収納棚の位置決め前の状態を説明する概略説明図
【図６】本発明の第１実施形態にかかる収納棚の位置決め後の状態を説明する概略説明図
【図７】本発明の第２実施形態の要部にかかる位置決めローラ相対離合手段の正面図
【図８】従来例の全体斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２０】
＜第１実施形態＞
図２に示すように、この実施形態の基板搬入出装置１は、立体格子様の枠体２ａでなる収納棚２を有し、この収納棚２の側面の一面にはワーク搬入、搬出するための開口部２ｂが設けられている。また、この収納棚２の他の三面には収納棚２を補強するようにそれぞれ２本の桟２ｃが縦方向に、収納棚２の上下面には串刺し様に桟２ｃが設けられている。この収納棚２の開口部２ｂを挟む２面の対向する桟２ｃには、ワイヤ２ｄが複数段にわたって等間隙に取付けられており、各段で薄板状ワークの一例の液晶基板３を所定の間隔をおいて水平方向に積層載置できるように構成されている。
【００２１】
前記基板搬入出装置１は上方に突出する６個のローラ台４を持つ移載台５と、この移載台５を囲む位置に配置された保持台６とを有しており、前記ローラ台４の間隙は前記収納棚２の下面の桟２ｃに対応した位置に設けられ、収納棚２の下降に際してその下面の桟２ｃとローラ台４とが衝突しないように構成されている。また、ローラ台４は上端に露出するローラ４ａを有しており、ローラ台４に内蔵されたローラ駆動手段（図示せず）によりローラ４ａを駆動してローラ４ａ上の液晶基板３を収納棚２の開口部２ｂから隣接のローラコンベア（図示せず）上に排出したり、隣接のローラコンベアから送られる液晶基板３を収納棚２内に搬入したりできるように構成されている。
【００２２】
前記保持台６には、スペーサ７ａを介して支持台７が連結され、この支持台には昇降手段（図示せず）が連結されている。この保持台６と支持台７とは、昇降手段の作動により所定ピッチごとに下降して前記ローラ台４のローラ４ａの上端が順次収納棚２のワイヤ２ｄよりわずかに上方にしかも液晶基板３の搬入に支障のない位置で停止するように構成されている。また、前記保持台６には枠体２ａの交差する二辺の各辺と交差する方向に延びる切欠き６ａが設けられており、この切欠き６ａは一方の辺には２か所、他方の辺には１か所に配置されている。これら切欠き６ａには、それぞれ位置決めローラ相対離合手段８が配置され、後記位置決めローラ１２ａ，１２ｂが保持台６から上方に突出するように構成されている。
【００２３】
前記位置決めローラ相対離合手段８は、図１に示すように支持台７に固定されたリニアガイド９を有し、このリニアガイド９にはガイド部９ａとこれに案内された２個のスライダ９ｂ、９ｃが配置されている。一方のスライダ９ｂにはシリンダ１０の本体１０ａが取付具１１ａを介して一体に移動するように取付けられており、他方のスライダ９ｃには前記シリンダ１０のピストンロッド１０ｂが取付具１１ｂを介して一体に移動するように連結されている。これら位置決めローラ１２ａ，１２ｂは一対となってシリンダ１０が作動すると相対離合可能に構成されており、枠体２ａの交差する二辺を３か所で挟むことができるように構成されている。
【００２４】
なお、前記シリンダ１０に代え電動アクチュエータ（図示せず）を使用してもよく、この場合、エア源を使用する必要がなく、シリンダ１０と同様に位置決めをすることができる。
【００２５】
前記リニアガイド９のガイド部９ａの中間位置には安全ストッパ１３が取付けられており、この安全ストッパ１３にスライダ９ｂ、９ｃが当たってスライダ９ｂ、９ｃおよびこれと一体の位置決めローラ１２ａ，１２ｂがその位置で停止するように構成されている。
【００２６】
さらに、前記基板搬入出装置１には前記移載台５の近くに搬入出ロボット（図示せず）が配置されており、液晶基板３を隣接のローラコンベア上に供給するときには液晶基板３がワイヤ２ｄ上に満載された収納棚２を保持台６に、また隣接のローラコンベア上から送られる液晶基板３を積層収納するときは空の収納棚２を保持台６に搬入して液晶基板３が満杯なると収納棚２を保持台６から搬出するように構成されている。
【００２７】
上記基板搬入出装置では、搬入出ロボットにより液晶基板３を満載した収納棚２が保持台６上に供給されると、図３および図５に示すように収納棚２の下面側の枠体２ａが対をなす位置決めローラ１２ａ，１２ｂ間に位置する。同時に、位置決めローラ相対離合手段８のシリンダ１０が復動してそのシリンダロッド１０ｂが後退すると、図４および図６に示すようにシリンダ１０の本体１０ａおよびシリンダロッド１０ｂにそれぞれ固定されたスライダ９ｂ、９ｃおよび位置決めローラ１２ａ，１２ｂがお互い接近する方向に移動して両スライダ９ｂ、９ｃの中間位置で枠体２ａを挟んで位置決めする。この位置決めにより収納棚２の下面に設けられた串刺し様の桟２ｃおよび側面の桟２ｃ間に連結されたワイヤ２ｄはローラ台４の間隙の上方に確実に位置することができる。また、この位置決めは枠体２ａの交差する二辺で、しかも一方の辺では２か所で行われるので、枠体２ａを持つ収納棚２は正確に保持台６上に位置決めされる。さらに、この位置決めに際して、位置決めローラ相対離合手段８は枠体２ａの交差する二辺にだけ設ければよく、位置決めローラ相対離合手段８をコンパクトにすることができる。しかも、位置決めローラ相対離合手段８は保持台６の切欠き６ａに配置されているので、基板搬入出装置１の全体をコンパクトに構成することができる。
【００２８】
前記収納棚２が位置決めされた状態で、昇降手段が作動すると、保持台６および収納棚２が所定ピッチ下降し、ローラ台４が収納棚２の枠体２ａおよびワイヤ２ｄに衝突することなく、位置決めローラ１２ａ，１２ｂが収納棚２の最下段の液晶基板３をわずかに持ち上げる位置で停止する。その後、ローラ台４に内蔵されたローラ駆動手段が作動し、液晶基板３が収納棚２の開口部２ｂから隣接のローラコンベア上に排出される。
【００２９】
前記液晶基板３の排出が完了すると、同様に昇降手段が所定ピッチ毎下降して前記動作が繰り返され、収納棚２内の液晶基板３がすべて排出される。収納棚２が空になると、位置決めローラ相対離合手段８のシリンダ１０が往動し、そのピストンロッド１０ｂが前進する。これにより、リニアガイド９の両スライダ９ｂ、９ｃがお互い離れる方向に移動し、これと一体の位置決めローラ１２ａ，１２ｂが収納棚２の枠体２ａから離れる。その後、搬入出ロボットにより空の収納棚２が移載台５から搬出され、新たに液晶基板３が満載された収納棚２が保持台６上に搬入され、前記動作が繰り返される。
【００３０】
一方、移載台５で収納棚２に液晶基板３を積層する際には、搬入出ロボットにより空の収納棚２が保持台６上に供給され、その後位置決めローラ相対離合手段８が作動して収納棚２が所定位置に位置決めされる。この位置決めと同時に、昇降手段が作動して、ローラ台４を収納棚２の最上段のワイヤ２ｄよりわずかに上方でしかも隣接のローラコンベアから送られる液晶基板３の搬入に支障の位置で停止する。この状態で、隣接のローラコンベアに液晶基板３が供給されると、その一部が収納棚２の開口部２ｂから収納棚２内に確実に位置することができ、位置決めローラ駆動手段８の作動により液晶基板３がローラ４ａ上に確実に載置される。
【００３１】
その後、昇降手段が作動して保持台６および収納棚２が所定ピッチ上昇して、収納棚２の次段が隣接のローラコンベアに対応する位置で停止する。この時、ローラ台４に載置された液晶基板３が収納棚２の上段のワイヤ２ｄに載置される。この動作が繰り返され、液晶基板３が所定間隔をおいて収納棚２内に積層される。収納棚２が満杯になると、搬入出ロボットにより収納棚２が保持台６から搬出され、新たな空の収納棚２が搬入され、前記動作が繰り返される。
【００３２】
なお、第１実施形態では、位置決めローラ相対離合手段８は枠体２ａの交差する二辺の一方に２個、他方に１個設けられているが、各辺に１個、または２個設けてもよい。また、収納棚２は立体格子様の枠体２ａで構成されているが、下面に位置決めローラ１２ａ，１２ｂが挟む枠体２ａを持つものであればよく、収納棚２の各段をローラ台４が通過できる切欠き（図示せず）を持つ板材（図示せず）で構成したものであってもよい。さらに、前記位置決めローラ相対離合手段８としてシリンダ１０に代え、電動アクチュエータ（図示せず）を使用してもよく、この場合エア源をなくし、位置決めローラ相対離合手段８の質量を軽減することができる。
【００３３】
＜第２実施形態＞
本発明の第２の実施形態について説明する。位置決めローラ相対離合手段８を特徴とするもので、この位置決めローラ相対離合手段８は、図７に示すようにロッドレスシリンダ１４を有し、ロッドレスシリンダ本体１４ａが支持台７に固定されている。このロッドレスシリンダ本体１４ａには第１取付具１５ａを介して第１位置決めローラ１６ａが取付けられており、この第１位置決めローラ１６ａの取付け位置を基準に収納棚２の枠体２ａを位置決めするように構成されている。また、前記ロッドレスシリンダ１４のスライダ部１４ｂには第２取付具１５ｂを介して第２位置決めローラ１６ｂが一体に移動するように取付けられており、これら第１位置決めローラ１６ａおよび第２位置決めローラ１６ｂが対をなしている。さらに、前記第２位置決めローラ１６ｂはロッドレスシリンダ１４の作動により第１位置決めローラ１６ａに対して前進し、収納棚２の枠体２ａを第１位置決めローラ１６ａ側に位置決めするように構成されている。
【００３４】
このように構成した位置決めローラ相対離合手段８は、第１の実施形態と同様に収納棚２の位置決めを正確に行うことができる。
【００３５】
以上説明したように、本発明の実施形態は下面に枠体２ａを持ちかつ側面にワークを搬入搬出する開口部２ｂを備えた収納棚２と、この収納棚２を移載台５の周囲に保持する保持台６とを備え、前記枠体２ａの交差する二辺それぞれに位置して対となる位置決めローラ１２ａ，１２ｂを配置し、これら位置決めローラ１２ａ，１２ｂを位置決めローラ相対離合手段８により相対離合可能に構成し、相対離合する位置決めローラ１２ａ，１２ｂにより枠体２ａを挟むように構成したことを特徴としている。
【００３６】
この構成により、収納棚２が保持台６に載置されると、収納棚２の下面側の枠体２ａを対となる位置決めローラ１２ａ，１２ｂが挟む方向に相対移動して、収納棚２の二面を各位置決めローラ１２ａ，１２ｂの中間位置に位置決めすることができる。
【００３７】
また、本発明の他の実施形態は枠体の交差する二辺の少なくとも一辺に２か所にわたって位置決めローラ１２ａ，１２ｂを配置したことを特徴とするもので、収納棚２の位置決めをより正確に行うことができる。
【００３８】
さらに、本発明のもう一つの実施形態は位置決めローラ相対離合手段８として２個のスライダ９ｂ、９ｃを持つリニアガイド９を有し、このリニアガイド９の一方のスライダ９ｂにシリンダ１０の本体１０ａを固定して他方のスライダ９ｃにシリンダ１０のピストンロッド１０ｂを連結している。また、各スライダ９ｂ、９ｃには位置決めローラ１２ａ，１２ｂが一体に移動するように取付けられており、これら位置決めローラ１２ａ，１２ｂが対をなして相対離合するように構成されている。そのため、この実施形態では収納棚２を位置決めできるばかりか、位置決めローラ相対離合手段８をコンパクトに構成することができる。
【００３９】
しかも、本発明の他の実施形態では保持台６は枠体２ａの交差する二辺に対応して各辺と交差する方向に延びる切欠き６ａを有し、この切欠き６ａに位置決めローラ相対離合手段８を配置し、位置決めローラ１２ａ，１２ｂを保持台６から上方に突出させたことを特徴としている。そのため、この実施形態では、位置決めローラ相対離合手段８に保持台６の切欠き６ａに配置できるので、基板搬入出装置１の全体をコンパクトに構成することができる。
【００４０】
その上、本発明の別の実施形態は位置決めローラ相対離合手段８として１個のスライダ部１４ｂを持つロッドレスシリンダ１４を有し、そのロッドレスシリンダ本体１４ａに第１位置決めローラ１６ａを取付ける一方、スライダ部１４ｂに一体に移動するように第２位置決めローラ１６ｂを取付け、これら第１位置決めローラ１６ａおよび第２位置決めローラ１６ｂが対をなすように構成したことを特徴としている。この構成により、この実施形態ではロッドレスシリンダ本体１４ａ側に取付けた第１位置決めローラ１６ａの取付位置を基準に収納棚２を位置決めすることができる。
【００４１】
なお、本発明の幾つかの実施形態について説明したが、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１…基板搬入出装置
２…収納棚
２ａ…枠体
４…ローラ台
５…移載台
６…保持台
８…位置決めローラ相対離合手段
９…リニアガイド
９ｂ、９ｃ…スライダ
１０…シリンダ
１０ａ…本体
１０ｂ…ピストンロッド
１２ａ，１２ｂ…位置決めローラ
１４…ロッドレスシリンダ
１４ａ…ロッドレスシリンダ本体
１４ｂ…スライダ部
１５ａ…第１取付具
１５ｂ…第２取付具
１６ａ…第１位置決めローラ
１６ｂ…第２位置決めローラ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶基板のような薄板状のワークを積層収納する基板搬入出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶基板、ガラス板等薄板状のワークを収納棚に搬入またはこれから搬出する装置としては特開２００５-６４４３２号に記載の基板搬入出装置がある。この装置１は、図８に示すように立体格子様の枠体２ａでなる収納棚２を有し、この収納棚２の側面の一面にはワーク搬入、搬出するための開口部２ｂが設けられている。また、収納棚２の他の三面には収納棚２を補強するようにそれぞれ２本の桟２ｃが縦方向に、上下面には串刺し様の桟２ｃが設けられている。この収納棚２の開口部２ｂを挟む二面の対向する桟２ｃには、ワイヤ２ｄが複数段にわたって等間隙に取付けられており、各段でワークの一例の液晶基板３を所定の間隔をおいて水平方向に積層載置できるように構成されている。
【０００３】
前記基板搬入出装置１は、上方に突出する６個のローラ台４を持つ移載台５と、この移載台５を囲む位置に配置された保持台６とを有しており、ローラ台４の間隙は前記収納棚２が下降しても下面の枠体２ａとローラ台４とが衝突しないように構成されている。前記ローラ台４には上端に露出するローラ４ａが取付けられており、ローラ台４に内蔵された駆動手段（図示せず）により駆動されてローラ４ａ上の液晶基板３を収納棚２の開口部２ｂから搬入または排出するように構成されている。
【０００４】
また、前記保持台６には収納棚２を保持する位置決め装置Ｂが設けられており、この位置決め装置Ｂは収納棚２を囲む各面に対して２個の押圧シリンダ５１を有し、保持台６に収納棚２が搬入されるとこれをシリンダロッド５１ａの先端に取付けられた位置決めローラ５２により４方向から押圧して収納棚２を所定の位置に位置決めするように構成されている。前記保持台６は昇降手段（図示せず）に連結されており、この昇降手段により所定ピッチごとに下降してローラ４ａの上端が順次収納棚２のワイヤ２ｄよりわずかに上方に位置してしかも液晶基板３の搬入に支障のない位置で停止するように構成されている。
【０００５】
さらに、この基板搬入出装置１には移載台５近くに搬入出ロボット（図示せず）が配置されており、必要に応じて液晶基板３が満載された収納棚２または空の収納棚２を保持台６上に搬入したり、空の収納棚２またはワークＡが満載された収納棚２を保持台６から搬出したりするように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−６４４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記基板搬入出装置1では、保持台6で液晶基板３の良否検査、種類の判別等を行う場合には、収納棚２を正確に位置決めでき、良否検査、種類の判別等を正確に行うことができる。しかしながら、昇降手段に連結された保持台６に８個の押圧シリンダ５１を設けることとなり、保持台６との合計質量が大きくなってその分昇降手段を大型化しなければならない等の欠点がある。
【０００８】
本発明は、このような欠点の除去を目的としており、保持台６の昇降手段を大型化する必要がないように収納棚２を位置決めする個所を少なくした基板搬入出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。すなわち、本発明の基板搬入出装置は、下面に枠体を持ちかつ側面にワークを搬入搬出する開口部を備えた収納棚と、この収納棚を移載台の周囲に保持する保持台とを備え、前記枠体の交差する二辺それぞれに位置して対となる位置決めローラを配置し、これら位置決めローラを位置決めローラ相対離合手段により相対離合可能に構成し、相対離合する位置決めローラにより枠体を挟むように構成したことを特徴とする。
【００１０】
このように構成すると、収納棚が保持台に載置されると、収納棚の下面の枠体を対となる位置決めローラが挟む方向に相対移動して、収納棚の枠体の二辺を各位置決めローラの中間位置に位置決めすることができる。
【００１１】
この場合、前記収納棚を立体格子様の枠体としてもよく、また枠体の交差する二辺の少なくとも一辺に２か所にわたって位置決めローラを配置してもよく、後者の場合には収納棚の位置決めをより正確に行うことができる。
【００１２】
また、本発明の基板搬入出装置は位置決めローラ相対離合手段として２個のスライダを持つリニアガイドを有し、このリニアガイドの一方のスライダにシリンダの本体を固定して他方のスライダにシリンダのピストンロッドを連結し、各スライダに位置決めローラを一体に移動するように取付けており、これら位置決めローラが対をなして相対離合するように構成したことを特徴とする。
【００１３】
このように構成した場合も、同様に収納棚を位置決めできるばかりか、位置決めローラ相対離合手段をコンパクトに構成することができる。
【００１４】
さらに、本発明の基板搬入出装置は保持台に枠体の交差する二辺に対応して各辺と交差する方向に延びる切欠きを設け、この切欠きに位置して位置決めローラ相対離合手段を配置し、位置決めローラを保持台から上方に突出させたことにより基板搬入出装置全体をコンパクトに構成することができる。
【００１５】
さらに、本発明の基板搬入出装置は、位置決めローラ相対離合手段として1個のスライダ部をもつロッドレスシリンダを有し、このロッドレスシリンダ本体に第１位置決めローラを取付ける一方、スライダ部に第２位置決めローラを一体に移動するように取付け、これら第１位置決めローラおよび第２位置決めローラが対をなすように構成したことを特徴とする。
【００１６】
このように構成した場合も、ロッドレスシリンダ本体側に取付けた第１位置決めローラの取付け位置を基準にして収納棚を位置決めすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明した本発明によれば、収納棚を保持台に位置決めするための位置決め個所を少なくして、収納棚を保持する保持台の質量を軽減でき、その昇降手段の大型化を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態の要部にかかる位置決めローラ相対離合手段の正面図
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板搬入出装置の全体斜視図
【図３】本発明の第１実施形態の要部にかかる位置決めローラ相対離合手段の動作開始前の状態を示す動作図
【図４】本発明の第１実施形態の要部にかかる位置決めローラ相対離合手段の動作状態を示す動作図
【図５】本発明の第１実施形態にかかる収納棚の位置決め前の状態を説明する概略説明図
【図６】本発明の第１実施形態にかかる収納棚の位置決め後の状態を説明する概略説明図
【図７】本発明の第２実施形態の要部にかかる位置決めローラ相対離合手段の正面図
【図８】従来例の全体斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２０】
＜第１実施形態＞
図２に示すように、この実施形態の基板搬入出装置１は、立体格子様の枠体２ａでなる収納棚２を有し、この収納棚２の側面の一面にはワーク搬入、搬出するための開口部２ｂが設けられている。また、この収納棚２の他の三面には収納棚２を補強するようにそれぞれ２本の桟２ｃが縦方向に、収納棚２の上下面には串刺し様に桟２ｃが設けられている。この収納棚２の開口部２ｂを挟む２面の対向する桟２ｃには、ワイヤ２ｄが複数段にわたって等間隙に取付けられており、各段で薄板状ワークの一例の液晶基板３を所定の間隔をおいて水平方向に積層載置できるように構成されている。
【００２１】
前記基板搬入出装置１は上方に突出する６個のローラ台４を持つ移載台５と、この移載台５を囲む位置に配置された保持台６とを有しており、前記ローラ台４の間隙は前記収納棚２の下面の桟２ｃに対応した位置に設けられ、収納棚２の下降に際してその下面の桟２ｃとローラ台４とが衝突しないように構成されている。また、ローラ台４は上端に露出するローラ４ａを有しており、ローラ台４に内蔵されたローラ駆動手段（図示せず）によりローラ４ａを駆動してローラ４ａ上の液晶基板３を収納棚２の開口部２ｂから隣接のローラコンベア（図示せず）上に排出したり、隣接のローラコンベアから送られる液晶基板３を収納棚２内に搬入したりできるように構成されている。
【００２２】
前記保持台６には、スペーサ７ａを介して支持台７が連結され、この支持台には昇降手段（図示せず）が連結されている。この保持台６と支持台７とは、昇降手段の作動により所定ピッチごとに下降して前記ローラ台４のローラ４ａの上端が順次収納棚２のワイヤ２ｄよりわずかに上方にしかも液晶基板３の搬入に支障のない位置で停止するように構成されている。また、前記保持台６には枠体２ａの交差する二辺の各辺と交差する方向に延びる切欠き６ａが設けられており、この切欠き６ａは一方の辺には２か所、他方の辺には１か所に配置されている。これら切欠き６ａには、それぞれ位置決めローラ相対離合手段８が配置され、後記位置決めローラ１２ａ，１２ｂが保持台６から上方に突出するように構成されている。
【００２３】
前記位置決めローラ相対離合手段８は、図１に示すように支持台７に固定されたリニアガイド９を有し、このリニアガイド９にはガイド部９ａとこれに案内された２個のスライダ９ｂ、９ｃが配置されている。一方のスライダ９ｂにはシリンダ１０の本体１０ａが取付具１１ａを介して一体に移動するように取付けられており、他方のスライダ９ｃには前記シリンダ１０のピストンロッド１０ｂが取付具１１ｂを介して一体に移動するように連結されている。これら位置決めローラ１２ａ，１２ｂは一対となってシリンダ１０が作動すると相対離合可能に構成されており、枠体２ａの交差する二辺を３か所で挟むことができるように構成されている。
【００２４】
なお、前記シリンダ１０に代え電動アクチュエータ（図示せず）を使用してもよく、この場合、エア源を使用する必要がなく、シリンダ１０と同様に位置決めをすることができる。
【００２５】
前記リニアガイド９のガイド部９ａの中間位置には安全ストッパ１３が取付けられており、この安全ストッパ１３にスライダ９ｂ、９ｃが当たってスライダ９ｂ、９ｃおよびこれと一体の位置決めローラ１２ａ，１２ｂがその位置で停止するように構成されている。
【００２６】
さらに、前記基板搬入出装置１には前記移載台５の近くに搬入出ロボット（図示せず）が配置されており、液晶基板３を隣接のローラコンベア上に供給するときには液晶基板３がワイヤ２ｄ上に満載された収納棚２を保持台６に、また隣接のローラコンベア上から送られる液晶基板３を積層収納するときは空の収納棚２を保持台６に搬入して液晶基板３が満杯なると収納棚２を保持台６から搬出するように構成されている。
【００２７】
上記基板搬入出装置では、搬入出ロボットにより液晶基板３を満載した収納棚２が保持台６上に供給されると、図３および図５に示すように収納棚２の下面側の枠体２ａが対をなす位置決めローラ１２ａ，１２ｂ間に位置する。同時に、位置決めローラ相対離合手段８のシリンダ１０が復動してそのシリンダロッド１０ｂが後退すると、図４および図６に示すようにシリンダ１０の本体１０ａおよびシリンダロッド１０ｂにそれぞれ固定されたスライダ９ｂ、９ｃおよび位置決めローラ１２ａ，１２ｂがお互い接近する方向に移動して両スライダ９ｂ、９ｃの中間位置で枠体２ａを挟んで位置決めする。この位置決めにより収納棚２の下面に設けられた串刺し様の桟２ｃおよび側面の桟２ｃ間に連結されたワイヤ２ｄはローラ台４の間隙の上方に確実に位置することができる。また、この位置決めは枠体２ａの交差する二辺で、しかも一方の辺では２か所で行われるので、枠体２ａを持つ収納棚２は正確に保持台６上に位置決めされる。さらに、この位置決めに際して、位置決めローラ相対離合手段８は枠体２ａの交差する二辺にだけ設ければよく、位置決めローラ相対離合手段８をコンパクトにすることができる。しかも、位置決めローラ相対離合手段８は保持台６の切欠き６ａに配置されているので、基板搬入出装置１の全体をコンパクトに構成することができる。
【００２８】
前記収納棚２が位置決めされた状態で、昇降手段が作動すると、保持台６および収納棚２が所定ピッチ下降し、ローラ台４が収納棚２の枠体２ａおよびワイヤ２ｄに衝突することなく、位置決めローラ１２ａ，１２ｂが収納棚２の最下段の液晶基板３をわずかに持ち上げる位置で停止する。その後、ローラ台４に内蔵されたローラ駆動手段が作動し、液晶基板３が収納棚２の開口部２ｂから隣接のローラコンベア上に排出される。
【００２９】
前記液晶基板３の排出が完了すると、同様に昇降手段が所定ピッチ毎下降して前記動作が繰り返され、収納棚２内の液晶基板３がすべて排出される。収納棚２が空になると、位置決めローラ相対離合手段８のシリンダ１０が往動し、そのピストンロッド１０ｂが前進する。これにより、リニアガイド９の両スライダ９ｂ、９ｃがお互い離れる方向に移動し、これと一体の位置決めローラ１２ａ，１２ｂが収納棚２の枠体２ａから離れる。その後、搬入出ロボットにより空の収納棚２が移載台５から搬出され、新たに液晶基板３が満載された収納棚２が保持台６上に搬入され、前記動作が繰り返される。
【００３０】
一方、移載台５で収納棚２に液晶基板３を積層する際には、搬入出ロボットにより空の収納棚２が保持台６上に供給され、その後位置決めローラ相対離合手段８が作動して収納棚２が所定位置に位置決めされる。この位置決めと同時に、昇降手段が作動して、ローラ台４を収納棚２の最上段のワイヤ２ｄよりわずかに上方でしかも隣接のローラコンベアから送られる液晶基板３の搬入に支障の位置で停止する。この状態で、隣接のローラコンベアに液晶基板３が供給されると、その一部が収納棚２の開口部２ｂから収納棚２内に確実に位置することができ、位置決めローラ駆動手段８の作動により液晶基板３がローラ４ａ上に確実に載置される。
【００３１】
その後、昇降手段が作動して保持台６および収納棚２が所定ピッチ上昇して、収納棚２の次段が隣接のローラコンベアに対応する位置で停止する。この時、ローラ台４に載置された液晶基板３が収納棚２の上段のワイヤ２ｄに載置される。この動作が繰り返され、液晶基板３が所定間隔をおいて収納棚２内に積層される。収納棚２が満杯になると、搬入出ロボットにより収納棚２が保持台６から搬出され、新たな空の収納棚２が搬入され、前記動作が繰り返される。
【００３２】
なお、第１実施形態では、位置決めローラ相対離合手段８は枠体２ａの交差する二辺の一方に２個、他方に１個設けられているが、各辺に１個、または２個設けてもよい。また、収納棚２は立体格子様の枠体２ａで構成されているが、下面に位置決めローラ１２ａ，１２ｂが挟む枠体２ａを持つものであればよく、収納棚２の各段をローラ台４が通過できる切欠き（図示せず）を持つ板材（図示せず）で構成したものであってもよい。さらに、前記位置決めローラ相対離合手段８としてシリンダ１０に代え、電動アクチュエータ（図示せず）を使用してもよく、この場合エア源をなくし、位置決めローラ相対離合手段８の質量を軽減することができる。
【００３３】
＜第２実施形態＞
本発明の第２の実施形態について説明する。位置決めローラ相対離合手段８を特徴とするもので、この位置決めローラ相対離合手段８は、図７に示すようにロッドレスシリンダ１４を有し、ロッドレスシリンダ本体１４ａが支持台７に固定されている。このロッドレスシリンダ本体１４ａには第１取付具１５ａを介して第１位置決めローラ１６ａが取付けられており、この第１位置決めローラ１６ａの取付け位置を基準に収納棚２の枠体２ａを位置決めするように構成されている。また、前記ロッドレスシリンダ１４のスライダ部１４ｂには第２取付具１５ｂを介して第２位置決めローラ１６ｂが一体に移動するように取付けられており、これら第１位置決めローラ１６ａおよび第２位置決めローラ１６ｂが対をなしている。さらに、前記第２位置決めローラ１６ｂはロッドレスシリンダ１４の作動により第１位置決めローラ１６ａに対して前進し、収納棚２の枠体２ａを第１位置決めローラ１６ａ側に位置決めするように構成されている。
【００３４】
このように構成した位置決めローラ相対離合手段８は、第１の実施形態と同様に収納棚２の位置決めを正確に行うことができる。
【００３５】
以上説明したように、本発明の実施形態は下面に枠体２ａを持ちかつ側面にワークを搬入搬出する開口部２ｂを備えた収納棚２と、この収納棚２を移載台５の周囲に保持する保持台６とを備え、前記枠体２ａの交差する二辺それぞれに位置して対となる位置決めローラ１２ａ，１２ｂを配置し、これら位置決めローラ１２ａ，１２ｂを位置決めローラ相対離合手段８により相対離合可能に構成し、相対離合する位置決めローラ１２ａ，１２ｂにより枠体２ａを挟むように構成したことを特徴としている。
【００３６】
この構成により、収納棚２が保持台６に載置されると、収納棚２の下面側の枠体２ａを対となる位置決めローラ１２ａ，１２ｂが挟む方向に相対移動して、収納棚２の二面を各位置決めローラ１２ａ，１２ｂの中間位置に位置決めすることができる。
【００３７】
また、本発明の他の実施形態は枠体の交差する二辺の少なくとも一辺に２か所にわたって位置決めローラ１２ａ，１２ｂを配置したことを特徴とするもので、収納棚２の位置決めをより正確に行うことができる。
【００３８】
さらに、本発明のもう一つの実施形態は位置決めローラ相対離合手段８として２個のスライダ９ｂ、９ｃを持つリニアガイド９を有し、このリニアガイド９の一方のスライダ９ｂにシリンダ１０の本体１０ａを固定して他方のスライダ９ｃにシリンダ１０のピストンロッド１０ｂを連結している。また、各スライダ９ｂ、９ｃには位置決めローラ１２ａ，１２ｂが一体に移動するように取付けられており、これら位置決めローラ１２ａ，１２ｂが対をなして相対離合するように構成されている。そのため、この実施形態では収納棚２を位置決めできるばかりか、位置決めローラ相対離合手段８をコンパクトに構成することができる。
【００３９】
しかも、本発明の他の実施形態では保持台６は枠体２ａの交差する二辺に対応して各辺と交差する方向に延びる切欠き６ａを有し、この切欠き６ａに位置決めローラ相対離合手段８を配置し、位置決めローラ１２ａ，１２ｂを保持台６から上方に突出させたことを特徴としている。そのため、この実施形態では、位置決めローラ相対離合手段８に保持台６の切欠き６ａに配置できるので、基板搬入出装置１の全体をコンパクトに構成することができる。
【００４０】
その上、本発明の別の実施形態は位置決めローラ相対離合手段８として１個のスライダ部１４ｂを持つロッドレスシリンダ１４を有し、そのロッドレスシリンダ本体１４ａに第１位置決めローラ１６ａを取付ける一方、スライダ部１４ｂに一体に移動するように第２位置決めローラ１６ｂを取付け、これら第１位置決めローラ１６ａおよび第２位置決めローラ１６ｂが対をなすように構成したことを特徴としている。この構成により、この実施形態ではロッドレスシリンダ本体１４ａ側に取付けた第１位置決めローラ１６ａの取付位置を基準に収納棚２を位置決めすることができる。
【００４１】
なお、本発明の幾つかの実施形態について説明したが、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１…基板搬入出装置
２…収納棚
２ａ…枠体
４…ローラ台
５…移載台
６…保持台
８…位置決めローラ相対離合手段
９…リニアガイド
９ｂ、９ｃ…スライダ
１０…シリンダ
１０ａ…本体
１０ｂ…ピストンロッド
１２ａ，１２ｂ…位置決めローラ
１４…ロッドレスシリンダ
１４ａ…ロッドレスシリンダ本体
１４ｂ…スライダ部
１５ａ…第１取付具
１５ｂ…第２取付具
１６ａ…第１位置決めローラ
１６ｂ…第２位置決めローラ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下面に枠体を持ちかつ側面にワークを搬入搬出する開口部を備えた収納棚と、この収納棚を移載台の周囲に保持する保持台とを備え、前記枠体の交差する二辺それぞれに位置して対となる位置決めローラを配置し、これら位置決めローラを位置決めローラ相対離合手段により相対離合可能に構成し、相対離合する位置決めローラにより枠体を挟むように構成したことを特徴とする基板搬入出装置。
【請求項２】
枠体の交差する二辺の少なくとも一辺に２か所にわたって位置決めローラを配置したことを特徴とする請求項１に記載の基板搬入出装置。
【請求項３】
位置決めローラ相対離合手段として２個のスライダを持つリニアガイドを有し、このリニアガイドの一方のスライダにシリンダの本体を固定して他方のスライダにシリンダのピストンロッドを連結し、各スライダに位置決めローラを一体に移動するように取付け、これら第１位置決めローラおよび第２位置決めローラが対をなして相対離合するように構成したことを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬入出装置。
【請求項４】
保持台は枠体の交差する二辺に対応して各辺と交差する方向に延びる切欠きを有し、この切欠きに位置決めローラ相対離合手段を配置し、位置決めローラを保持台から上方に突出させたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬入出装置。
【請求項５】
位置決めローラ相対離合手段として１個のスライダ部を持つロッドレスシリンダを有し、そのロッドレスシリンダ本体に第１位置決めローラを取付ける一方、スライダ部に一体に移動するように第２位置決めローラを取付けるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の基板搬入出装置。
【請求項１】
下面に枠体を持ちかつ側面にワークを搬入搬出する開口部を備えた収納棚と、この収納棚を移載台の周囲に保持する保持台とを備え、前記枠体の交差する二辺それぞれに位置して対となる位置決めローラを配置し、これら位置決めローラを位置決めローラ相対離合手段により相対離合可能に構成し、相対離合する位置決めローラにより枠体を挟むように構成したことを特徴とする基板搬入出装置。
【請求項２】
枠体の交差する二辺の少なくとも一辺に２か所にわたって位置決めローラを配置したことを特徴とする請求項１に記載の基板搬入出装置。
【請求項３】
位置決めローラ相対離合手段として２個のスライダを持つリニアガイドを有し、このリニアガイドの一方のスライダにシリンダの本体を固定して他方のスライダにシリンダのピストンロッドを連結し、各スライダに位置決めローラを一体に移動するように取付け、これら第１位置決めローラおよび第２位置決めローラが対をなして相対離合するように構成したことを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬入出装置。
【請求項４】
保持台は枠体の交差する二辺に対応して各辺と交差する方向に延びる切欠きを有し、この切欠きに位置決めローラ相対離合手段を配置し、位置決めローラを保持台から上方に突出させたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬入出装置。
【請求項５】
位置決めローラ相対離合手段として１個のスライダ部を持つロッドレスシリンダを有し、そのロッドレスシリンダ本体に第１位置決めローラを取付ける一方、スライダ部に一体に移動するように第２位置決めローラを取付けるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の基板搬入出装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１３−６９８０３（Ｐ２０１３−６９８０３Ａ）
【公開日】平成２５年４月１８日（２０１３．４．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２０６４７５（Ｐ２０１１−２０６４７５）
【出願日】平成２３年９月２１日（２０１１．９．２１）
【出願人】（０００００２０５９）シンフォニアテクノロジー株式会社 (1,111)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月１８日（２０１３．４．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月２１日（２０１１．９．２１）
【出願人】（０００００２０５９）シンフォニアテクノロジー株式会社 (1,111)
【Ｆターム（参考）】
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