【課題】ボールがねじ溝を転動するときに振動や騒音が生じることがないボールナットを提供する。
【解決手段】ボールナット本体２２のねじ溝４３を両端部の切削溝５１と、ボールナット本体２２の中央部の主研磨溝５２と、前記切削溝５１と主研磨溝５２とを接続する副研磨溝５３とから構成する。副研磨溝５３は研磨によって形成される。副研磨溝５３の谷径ｄ３を、主研磨溝５２側の一端から切削溝５１側の他端へ漸次変化するように形成した。 （もっと読む）

配置システム、この配置システムを利用するロボット、およびそのようなロボットの製造方法が開示されている。配置システムは典型的には固定子と、固定子に沿って移動するリニア式可変リラクタンスモータとを含んでいる。固定子は電磁的機能の提供以外にモータが載置される唯一のフレーム部として機能する。ロボットはこの配置システムを利用することでサブシステムをモータに直接的に取り付けることができる。
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【課題】全体形状を極端に大きくすることなく、必要な剛性を実現する。
【解決手段】ブラケット１０と、アーム本体２０とを組み合わせ、アーム本体２０は、角筒材２１、２１を一体に接合して全体断面を縦長の四角形に形成する。 （もっと読む）

液晶表示パネル、ガラス基板等の薄板状基板を処理装置内に搬送する搬送装置に関し、大型の薄板状基板を搬送する回動アーム（１６）を有する比較的大型のロボット（１４）を備えた搬送装置において、２ｍ程度の高さであっても安定して持ち上げることが可能であり、かつ回動アーム（１６）を伸ばしたときの撓み量を補正した搬送が可能な搬送装置及び薄板状基板搬送システムを提供する。２つの直立支持体（１２）に昇降可能に片持ち支持される水平支持台部（１３）を設け、水平支持台部（１３）に回動アーム（１６）を有する搬送ロボット（１４）を載置する。また、アームを伸ばしたときの撓み量は、水平支持台部（１３）の高さを撓み量に応じて上げることにより補正する。撓み量は、水平支持台部（１３）に載置されるロボット（１４）の設置の角度を変化させることにより補正することも可能である。
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【課題】被駆動部を互いに直交するＸ軸及びＹ軸の両方向に精度よく駆動することのできる二軸アクチュエータを提供する。
【解決手段】ベース２と、ベース２上にリニアガイド６を介して設けられたスライドテーブル４Ａ，４Ｂと、スライドテーブル４Ａ，４ＢをＸ軸方向に各々独立に送り駆動するボールねじ８Ａ，８Ｂと、ボールねじ８Ａ，８Ｂを各々独立に駆動する駆動モータ１０Ａ，１０Ｂとを備えて二軸アクチュエータにおいて、スライドテーブル４Ａ，４Ｂのうち一方のスライドテーブルはＸ軸方向に延びるラックギヤ１４を有し、他方のスライドテーブルはラックギヤ１４と噛合するピニオンギヤを有すると共に該ピニオンギヤと協働して被駆動部ＨＵをＹ軸方向に送り駆動するベルト式送り機構１８を有している。 （もっと読む）

【課題】ケーブルベアによる騒音の発生を抑制できると共に可動部の軽量化を図ることのできる三軸駆動装置を提供する。
【解決手段】第２のプーリ２３を駆動するプーリ駆動機構２６を、第２のプーリ２３と一体に回転し且つ第２のプーリ２３を図中Ｙ軸方向に移動可能に支持するスプライン軸２７と、このスプライン軸２７の一端部に設けられた第３のプーリ２８と、この第３のプーリ２８を介してスプライン軸２７を駆動する第３のベルト式駆動機構２９とで構成する。 （もっと読む）

１以上の対象物を掴みおよび取り扱うためのロボットであって、該ロボットは、
第一方向に延びる第一ガイドを持った固定ベース(1)を有し、かつ、アーム(2)を有し、該アームは第二ガイド(22)を有し、第二ガイドは、第二方向へ延びており、第一方向に対して角度をなし、好ましくは第一方向に対して直角をなし、該アーム(2)は、該アーム(2)が第一方向に移動可能となるように第一ガイドによってベース(1)に接続されている。スライド(3)が、第二ガイド(22)上に配置され、かつ、第二方向へ移動可能である。グリッパー(4)が、該スライド(3)によって支持されており、１以上の対象物を掴むためのものであり、該グリッパーは第三方向へ移動可能であり、該第三方向は第一および第二方向からなる面と好ましくは垂直に交差している。多数のアクチュエータ(6a-6d)が、ベース上の固定位置に設けられており、アーム(2)、スライド(3)、およびグリッパー(4)を、引張り要素によって駆動するためのものであり、該引張り要素は、例えば駆動ベルトであって、アーム(2)、スライド(3)、およびグリッパー(4)にそれぞれに接続されている。アーム(2)の中央の長手方向軸と交差し第二および第三方向へ延びている仮想平面に、グリッパー(4)が置かれている。 （もっと読む）

【課題】 ロボットハンドをＺ軸方向に１８０度反転させる機構を不要とし、ロボットハンド周辺の機構の小型化、低価格化を図る。
【解決手段】 マトリックスボード１ａに対してロボットハンド２が接近、離反するようにＺ軸方向に移動させると共に、把持部４ａ，４ｂにより接続ピンを把持してマトリックスボード１ａの挿入孔に対する接続ピンの挿入，抜き取りを行い、マトリックスボード１ｂに対してロボットハンド２が接近、離反するようにＺ軸方向に移動させると共に、把持部５ａ，５ｂにより接続ピンを把持してマトリックスボード１ｂの挿入孔に対する接続ピンの挿入，抜き取りを行う。 （もっと読む）