【課題】ノズル基板に形成されたノズルについて、実際に対象物上に正しく画像を形成することが出来るノズルを得るため、ノズルの孔曲がり、すなわち吐出面に対する垂直度を調べる必要があった。
【解決手段】基準孔１５は、接合面側および吐出面側において開口する形状がそれぞれ正方形であり、底面が接合面に位置し、上面が吐出面に位置する正四角錐台の形状を有している。そして、この正四角錐台は、中心軸が吐出面に対して垂直方向になるように形成されている。従って、基準孔１５は、第１ノズル１１が開口している吐出面と沿う面において形成される上面（平面）形状の中心位置が、常に同じ位置を呈する孔である。この結果、基準孔１５を基準として、第１ノズル１１について、吐出面側の開口孔の中心位置と、接合面側の開口孔の中心位置を計測すれば、ノズル基板１０に設けられた第１ノズル１１について、吐出面に対する垂直度を調べることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、記録媒体の先端部の衝突によりノズルプレートと接合された液室部の接合界面が剥離することを防止できる。
【解決手段】 本発明の液滴吐出ヘッドは、インクを吐出するノズルプレートと、インクを供給するインク供給源に連通する複数の圧力室とを有する流路ユニットと、圧力室の容積を変化させるために配置されたアクチュエータユニットと、流路ユニットとアクチュエータユニットを支持するフレームとを有している。そして、本発明の液滴吐出ヘッドにおけるノズルプレートは、流路ユニットと接合され、かつ記録動作時に記録媒体に面する端部のうち、少なくとも記録媒体に対して相対的に移動する方向の端部近傍に、フレーム方向側に突出した凸部を複数連続して具備している。 （もっと読む）

【課題】素子基板の構成材料と同じシリコンからなるオリフィスプレートを用いて液体吐出ヘッドを製造する際に信頼性の高い長尺の液体吐出ヘッドを製造することを可能にする。
【解決手段】オリフィスプレートを作製するためのシリコン基板２１の表面に、パターニングされたＡｌ層２２を形成し、Ａｌ層２２をマスクとしてシリコン基板２１のドライエッチングを行うことで、シリコン基板２１の表面における吐出口に対応する位置に配置された、凹部としての穴２１ａ、および溝状の切断ライン２１ｄを形成する。次に、シリコン基板２１の裏面を研削、研磨してシリコン基板２１を薄くすることにより穴２１ａを貫通させ、シリコン基板２１に吐出口３を形成するとともに、切断ライン２１ｂでシリコン基板２１が複数枚のオリフィスプレート１６分割される。これにより、シリコン基板２１に吐出口３が形成されてなるオリフィスプレート１６が作製される。 （もっと読む）

【課題】ノズルからインク滴を吐出して画像を記録する短尺ヘッドのノズルプレートは、複数のノズル加工装置により作製されている。ノズルを形成するレーザ光の出射角度はノズル加工装置の個体差により調整が難しく、異なるノズル加工装置により作製されたノズルを混載した短尺ヘッドは、インク滴の着弾位置が異なり色ずれとなる。
【解決手段】画像記録装置は、製作に用いたノズル加工装置の機番の情報をノズルプレートに記録し、同じ機番が記録されるノズルプレートを短尺ヘッドに組み付けて、同じインク滴の飛翔特性のノズルによる短尺ヘッドを作製し、これらの短尺ヘッドを記録媒体の搬送方向にインク色毎に並べて配置する。 （もっと読む）

【課題】優れた印刷ヘッド（特に、インク噴射面上をコーティングするポリシルセスキオキサンを有する印刷ヘッド）を提供する。
【解決手段】疎水性ポリマー材料でコーティングされたインク噴射面を有する印刷ヘッド。ポリマー材料が、ポリ（メチルシルセスキオキサン）又はポリ（フェニルシルセスキオキサン）等のポリシルセスキオキサンから成る。印刷ヘッドは、インク噴射面と接触することを必要とする様々な印刷ヘッド保守操作に適応できる。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出状態が安定した液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】貫通孔を有するＳｉ基板からなり、前記貫通孔は、前記Ｓｉ基板の一方の面に開口する第１ノズルと、前記第１ノズルに連通し、前記Ｓｉ基板の他方の面側に開口している前記第１ノズルの断面より大きな断面を有する第２ノズルと、を有し、前記第１ノズルの前記一方の面の開口を液滴が吐出される吐出孔とする液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法において、所定の深さの前記第１ノズルを形成する第１ノズル形成工程と、前記一方の面及び前記第１ノズルの内面の内、側面を覆うエッチングマスクを用い、前記一方の面の開口側からＳｉ等方性ドライエッチング方法によるエッチングを行い、他方の面側に貫通させて前記第２ノズルを形成する第２ノズル形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】印字品質がよく、しかも応答速度が速いインクジェットヘッドを提案すること。
【解決手段】静電駆動式のインクジェットヘッド１において、第２ノズル１１ｂの中心に
対するインクノズル１１ａの中心を相対的にインクが供給される側の位置に形成している
。個別インク室５を結晶面方位（１１０）のシリコンに異方性エッチングで形成した場合
でも、インク液滴はノズル面３ａに対して鉛直方向に真っ直ぐ吐出するので、印字品質が
よく、かつ、応答速度の速いインクジェットヘッドを実現することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐久性に優れ、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで酸化物からなる耐吐出液保護膜１３を連続して形成し、耐吐出液保護膜１３の上に撥水膜１４を形成した。また、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜１２を連続して設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。 （もっと読む）

【課題】変形が少なく（その結果吐出効率がよい）、しかも寸法精度が高く（従って、画像品質の高い）、かつ長期安定性にすぐれた液体吐出性を有するノズルプレートを備えた液体吐出ヘッド、該液滴吐出ヘッドを使用した液体カートリッジ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出させるノズルを有するノズルプレートと、複数の流路部材とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズルプレートは樹脂部材及びエッチングストップ層を含む積層構造を有している。前記エッチングストップ層は金属又は酸化物又は窒化物又は炭化物で形成されるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ノズル列全体が位置合わせされたノズルデバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】垂直壁を有する穴に接続されたテーパー部を有する流体吐出ノズルについて記載する。ノズルの列がダイ全体に渡って形成され、複数のダイが半導体基板に形成されたときでも、テーパー部と穴とが互いに位置合わせされるように、ノズルのテーパー部と垂直壁を有する穴との両方は、半導体層の片面から形成される。 （もっと読む）