【課題】ノズル孔について所望の孔径及び形状となるように形成すると共に、吐出室の酸化膜を成膜する際にシリコンの溶出を抑制する最適な膜厚とした液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得る。
【解決手段】吐出室２１の耐久性を具備するためのキャビティー深さＨ及び酸化膜厚Ｔとして、本実施の形態におけるインクジェットヘッド５１のノズル基板１及びキャビティー基板２において、３５０≦Ｈ／Ｔ≦７００の条件を満たすように酸化膜１５及び吐出室２１を形成した。 （もっと読む）

【課題】吐出安定性が良好で硬化性、かつ、印字後の印刷物の耐候性にも優れる硬化膜を形成できるインクジェット記録装置及びインクジェット画像形成方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録装置１におけるインクジェット記録ヘッド３のノズルプレートの撥インク膜が、主鎖にヘテロ原子を１〜２個含む５〜８員環構造を持つ含フッ素ポリマーを用いて形成されたノズルプレートであることを特徴とするインクジェット記録装置１及びそれを用いたインクジェット画像形成方法。 （もっと読む）

【課題】移動溝を設けてノズルに付着された残留インクの移動経路を確保することにより、残留液滴によるノズル詰まりを防止できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは、ノズルに付着された残留液滴によるノズル詰まりを防止するインクジェットヘッドであって、一面にノズルを備えたヘッドボディと、ヘッドボディの内部に圧力を提供するアクチュエータとを含み、ヘッドボディの一面には、ノズルから離隔して残留液滴が移動する経路を確保する移動溝が設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドから吐出されるインク液滴の量と速度を個別に調整できるインクジェット印刷システムを提供する。
【解決手段】テーパー角３３０は、出口直径３１０、内径３１５、及び／又は厚み３２５の間の関係に左右され、一定の厚み３２５の場合、出口直径３１０と内径３１５の差が増加すれば、テーパー角３３０も大きくなり、同じく、一定の厚み３２５の場合、出口直径３１０と内径３１５の差が減少すれば、テーパー角３３０も小さくなる。出口直径３１０、内径３１５、厚み３２５、及びテーパー角３３０の間の異なる値及び調整によって、ノズル３０５から出るインク液滴の量と速度が決まるだけでなく、液滴の量と速度は、出口直径３１０及びテーパー角３３０の各々から、個別に決定することができる。 （もっと読む）

【課題】媒体上に液滴を均一に配置するために、均一なサイズ及び速さの液滴を同じ方向に吐出する流体吐出デバイスを提供すること。
【解決手段】第１の表面と、第１の表面の反対側の第２の表面と、半導体本体を貫通して形成され第１の表面と第２の表面とを接続するノズルとを有する半導体本体であって、ノズルが、第２の表面上のノズル出口を介して流体を吐出するように構成される、半導体本体と、第２の表面上のノズル出口の周囲及びノズルの少なくとも部分的に内側にある金属層であって、ノズルの内側の金属層は完全に露出している、金属層と、を有するノズル層を構成する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドにおけるドット抜け及び容量変化を容易かつリアルタイムに検出することを可能とする液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び、ノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド１００は、ノズル孔１０のそれぞれを中心として各ノズル孔１０の縁に形成された一対の吐出検出用導通電極１２、及び、吐出検出用導通電極１２の上に形成された液滴保護膜１１を有するノズル基板１と、底壁が振動板２３を構成し、ノズル孔１０に連通して液滴を収容する複数のキャビティ２０を有するキャビティ基板２と、個別電極３１を有する電極基板３と、吐出検出用導通電極１２に電圧を印加する吐出検出回路４２と、を有し、ノズル孔１０に存在する液滴の量により変化する静電容量によって液滴吐出状況の良否を検知可能にしている。 （もっと読む）

【課題】製造中にシリコン基板が割れたり欠けたりすることを低減する。
【解決手段】シリコン基板１の片側面をエッチングして、ノズル孔１０、位置決め用のピンアライメント穴１３ａ及びトラック穴１３ｂ、外周部１４となる部分を形成する工程と、シリコン基板１に酸化膜１１ａを形成する工程と、ピンアライメント穴１３ａ、トラック穴１３ｂ及び外周部１４の部分の酸化膜１１ａを除去する工程と、エッチングによる加工面と反対側の面からシリコン基板１を研磨及び研削して、ノズル孔１０、ピンアライメント穴１３ａ、トラック穴１３ｂ及び外周部１４を開口する工程とを備える。その際の研磨は、シリコン研磨用スラリーと酸化膜研磨用スラリーを混合した混合スラリーを用いて、ＣＭＰ加工により行う。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドにおけるドット抜けを容易かつリアルタイムに検出することを可能とする液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び、ノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド１００は、導電性を有する液滴を吐出する複数のノズル孔１０、及び、各ノズル孔１０の縁に形成された一対の吐出検出用導通電極１２を有するノズル基板１と、底壁が振動板２３を構成し、ノズル孔１０に連通して液滴を収容する複数のキャビティ１０を有するキャビティ基板２と、個別電極３１を有する電極基板３と、一対の吐出検出用導通電極１２に接続し、これに電圧を印加する吐出検出回路４２と、を有し、ノズル孔１０から吐出される液滴の吐出検出用導通電極１２への接触によって液滴吐出状況の良否を検知可能にしている。 （もっと読む）

【課題】帯電した被印刷物の静電気がノズル基板に放電しても、ノズル基板のダメージを軽減させることが可能なノズル基板を提案する。
【解決手段】シリコン製のノズル基板１であって、ノズル基板１を貫通するノズル孔１０と、ノズル基板１の液滴吐出面１ａからノズル孔１０の内壁まで連続する液滴保護膜１１とを有したものにおいて、ノズル基板１の比抵抗が１００Ωｃｍ〜２０００Ωｃｍであり、ノズル基板１の液滴吐出面１ａに撥水膜１２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ドット抜け検出を容易に行なうことを可能とするノズル基板、液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置、並びに、ノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るノズル基板１は、液滴を吐出する複数のノズル孔１０を有するノズル基板１であって、導電性を有するシリコン基板１’で構成され、シリコン基板１’の吐出面１ａ以外の面（たとえば、キャビティ接着面１ｂ）に、ノズル孔１０から吐出される前の液滴をシリコン基板１’の表面を介して帯電させるための電圧印加に用いる電極（吐出検出用導通電極１２）が設けられている。 （もっと読む）