【課題】複合搬送装置及びそれを用いた搬送方法を提供する。
【解決手段】複合搬送装置は、基台と、少なくとも一つの積み込み機構と、降ろし機構と、を備えている。基台は当該基台上に少なくとも一つのカセットを備えている。積み込み機構は基台の一側に隣接し、カセットに複数の目的物を積み込むために用いられる。他方、降ろし機構は、基台の他側に隣接し、カセットから複数の目的物を降ろすために用いられる。基台は少なくとも二つの領域を備え、各々の領域は積み込み機構又は降ろし機構に隣接し、カセットは、目的物の積み込み動作及び降ろし動作を実行するために、二つの領域の間を移動する。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送中に振動が発生した場合であっても基板を確実に保持することが可能。
【解決手段】搬送対象の基板Ｗを載置して、基板Ｗを所定の搬送方向Ｄに沿って搬送する搬送ステージ１２，１３，１４を有するＦＰＤ検査装置１であって、搬送ステージ１２，１３，１４上で搬送方向Ｄに沿って移動可能であり、基板Ｗを保持する保持部２３と、保持部２３の近傍に設けられ、保持部２３で保持された基板Ｗの主面を押圧する押圧部２５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】撓みによって生じる搬送アーム先端の下方への傾斜を低減することができる搬送装置及びプラズマ処理システムを提供する。
【解決手段】筐体内へ被搬送物を搬送する搬送装置である。搬送装置は、搬送アーム５２、アーム軸５３、複数の電磁石５０及び制御部４０を備えている。搬送アームは、被搬送物を載置するピック部５２ｂを先端に有し、水平方向に伸縮する。アーム軸５３は、搬送アーム５２を支持する。複数の電磁石５０は、筐体内部に磁場を発生させることにより搬送アーム５２に上昇方向の力を作用させる。制御部４０は、搬送アーム５２が水平方向に伸縮する際にアーム軸５３から搬送アーム５２先端までの長さが長くなるほど搬送アーム５２に作用させる上昇方向の力が大きくなるように複数の電磁石５０を制御する。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内への設置を容易に行うこと。
【解決手段】実施形態に係るロボットは、胴体部と、アームユニットとを備える。胴体部は、真空チャンバの上方から真空チャンバ内へ搬入されるとともに、真空チャンバへ固定される。また、アームユニットは、真空チャンバの上方から真空チャンバ内へ搬入されるとともに、真空チャンバ内へ固定された胴体部に対して連結される。 （もっと読む）

【課題】サイズの小型化を図り、面積生産性を向上させることができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤Ｑが塗布される前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、塗布ヘッド１４により液剤Ｑが塗布された基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えた液剤塗布装置１において、基板供給部Ｒ１と基板回収部Ｒ２が上下方向に並んで位置する。 （もっと読む）

【課題】太陽電池モジュールの湾曲を防止した搬送装置を得ること。
【解決手段】太陽電池モジュール２４の出力特性を測定する電流電圧特性模擬装置本体１１の上で受光面を下向きとして太陽電池モジュール２４を搬送する搬送装置５０であって、電流電圧特性模擬装置本体１１の上方に配置され、太陽電池モジュール２４の対向する２辺を支持して太陽電池モジュール２４を搬送する一対の搬送ベルト２３と、一対の搬送ベルト２３によって搬送される太陽電池モジュール２４の受光面と反対側の面を吸着して、太陽電池モジュール２４の中央部を引き上げる吸着ユニット３５と、吸着ユニット３５を、一対の搬送ベルト２３による太陽電池モジュール２４の搬送に同期させて移動させる搬送ベルト３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】エアの圧力を積極的に利用することなく、連続シートＳの搬送中に、連続シートＳの中間部の非接触状態を維持しながら、連続シートＳを一定の姿勢に安定的に保つこと。
【解決手段】各第１搬送ローラユニット７における第１下搬送ローラ９及び第１上搬送ローラ１１の軸心９ｃ，１１ｃ、並びに各第２搬送ローラユニット１３における第２下搬送ローラ１５及び第２上搬送ローラ１７の軸心１５ｃ，１７ｃは、搬送幅方向内側が搬送幅方向外側よりも高くなるように水平面に対して傾斜可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】筐体の大型化および清浄度の低下を防止可能な搬送ロボット、筐体、半導体製造装置およびソータ装置を提供すること。
【解決手段】搬送ロボットの胴体は、上端が第１アームの最下部より下方となるよう位置するとともに、搬送ロボットが垂直になるよう固定させる固定部が設けられた垂直面を有する板状のプレートと、垂直面に設けられた昇降機構と、第１アームを回転自在に支持し、昇降機構によって垂直面を昇降可能な移動ユニットとを備える。また、第１アームの最下部は、胴体の上端と接触しない程度に胴体へ近づけられている。 （もっと読む）

【課題】基板搬送を効率良く行うことで、基板処理のスループットを向上する技術を提供する。
【解決手段】基板９を処理する基板処理装置１００である。基板処理装置１００は、外部から基板を受け入れる基板受入部１と、基板９に処理液を塗布する塗布部２と、処理液が塗布された基板９を乾燥させる乾燥部３と、基板９を外部に払い出す基板払出部４とを備えている。また、基板処理装置１００は、基板受入部１にある複数の基板９を同時に塗布部２に搬送する搬送機構５と、塗布部２において処理液が塗布された複数の基板９を同時に乾燥部３へ搬送する搬送機構６と、乾燥部３にて乾燥された複数の基板９を同時に基板払出部４へ搬送する搬送機構７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】第一回転円盤と第二回転円盤との同期機構や吸引切換え機構が不要で構成簡素であり、各回転円盤を連続回転させても物品の移替えを安定確実に行うことができ、搬送能力を大幅に向上させ得る物品の搬送装置と搬送方法を提供する。
【解決手段】物品Ｗを外周部に吸着保持して回転する第一回転円盤１及び第二回転円盤２を備え、各外周部の一部同士を近接させた物品受渡し部Ｔで第一回転円盤１の外周部に吸着保持された物品Ｗを第二回転円盤２の外周部へ移し替えて搬送する物品の搬送装置１０において、第一回転円盤１及び第二回転円盤２の各外周部に全周に亘って吸引隙間１１、２１を形成し、各吸引隙間１１、２１を通して外気を常時吸引して物品Ｗを吸着保持可能に構成し、第二回転円盤２の吸着力を第一回転円盤１の吸着力よりも大きくした。 （もっと読む）