【課題】シートのバタつきを抑制し、吸着の安定化を図ることができるシート吸着装置の提供。
【解決手段】吸着面２に形成された溝１０に沿って空気を流通させることによりエゼクタ効果を発現させ、シートＳを吸着面２に吸着するシート吸着装置１であって、溝１０における上記空気の流通経路の終端部１０ｂにおいて、上記空気を回収する回収部３０を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】筐体の大型化および清浄度の低下を防止可能な搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】昇降機構を有する胴体と、上記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、上記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、上記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており上記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットにおいて、上記昇降機構の昇降軸と上記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸とは、平面視した場合にオフセットしており、上記第１アームの旋回範囲は、半円状であり、上記昇降軸は、上記第１アームの旋回範囲内にある。 （もっと読む）

【課題】内蔵する装置の配置を最適化した筐体および半導体製造装置を提供すること。
【解決手段】上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体であって、昇降機構を有する胴体と、上記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、上記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、上記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており上記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットを内部に備え、上記筐体の側壁には、当該側壁の内部に動作領域を有するカセットオープナが設けられており、上記搬送ロボットは、平面視した場合に、上記動作領域へ上記第１アームの基端部が侵入しない範囲内で、上記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸を当該動作領域側へ近づけて配置される。 （もっと読む）

【課題】内蔵する装置の配置を最適化した筐体および半導体製造装置を提供すること。
【解決手段】上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体であって、昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットと、前記基板の方向性を検知して整えるアライナ装置とを内部に備え、前記筐体の側壁には、多段に前記基板を収容するカセットが搭載されるカセットオープナが設けられており、前記アライナ装置は、前記カセットの最下段に収容される前記基板の高さと最上段に収容される前記基板の高さとの範囲外の高さに配置される。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ・プロセスを評価し、かつ制御するための方法、システムを提供する。
【解決手段】リソグラフィ・プロセス（１６）中にウェハ上に配置されたレジストの少なくとも１つの特性を測定する（２２）ことを含むことができる。リソグラフィ・プロセスのクリティカルな測定基準には、それだけには限られないかもしれないが、リソグラフィ・プロセス（３２）中に形成されたフィーチャのクリティカル寸法を含むことができる。本方法はまた、リソグラフィ・プロセスのステップを実行するように構成されたプロセス・モジュール（３６）の少なくとも１つのパラメータを変更し、クリティカルな測定基準（４６）のウェハ内変動を低減することを含むことができる。プロセス・モジュールのパラメータは、レジスト（１６）の少なくともその１つの測定された特性に応答して変更することができる。 （もっと読む）

【課題】有軌道台車システムにおいて、分岐点及び合流点を通過する台車の不要な速度低下や走行停止を抑制する。
【解決手段】有軌道台車システムは、分岐点及び合流点を含む所定領域内に誘導線を有する軌道と、軌道に支持されると共に案内されて走行する複数の台車とを備える。複数の台車の各々は、互いに周波数の異なる複数の信号を夫々発信可能な発信手段９１０，９２０と、発信手段から発信された複数の信号を誘導線へと夫々送信する送信手段８１０，８２０と、誘導線を介して伝達された複数の信号を夫々受信可能な受信手段７１０，７２０と、受信手段において受信された信号の種類に基づいて、台車の減速若しくは停止、又は走行の続行を判定する判定手段９５５と、判定手段における判定結果に応じて台車の走行を制御する制御手段９６０とを有している。 （もっと読む）

【課題】低床化を維持しつつ高速でのワーク搬送を行うのに適したワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に支持されて昇降する昇降ベース２と、昇降ベース２に対して垂直軸Ｏ１周りに回動可能に支持された第１アーム３と、第１アーム３の先端に対して垂直軸Ｏ２周りに回動可能に支持された第２アーム４と、第２アーム４の先端に対して垂直軸Ｏ３周りに回動可能に支持されたハンド５Ａと、ハンド駆動機構６Ａと、を備え、ハンド駆動機構６Ａは、第１アーム３の内部に配置されたモータ６１ａと、第１ないし第２アーム３，４の内部に配置され、モータ６１ａの出力をハンド５Ａに伝達する伝動機構６２ａと、を含む。モータ６１ａと伝動機構６２ａの一部とを第１アーム３の内部空間に配置することで、第２アーム４先端の伝動機構６２ａの高さおよび固定ベース１ないし昇降ベース２の高さが低くなる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率が良く駆動力が大きく実用性に優れ、リニア同期モータにより駆動されるエア浮上搬送方式を提供する。
【解決手段】中央に案内溝２を有し且つ上面及び当該案内溝２の側面に加圧空気による静圧スラスト軸受け機能を備えた走路１と、当該走路１の上面で浮上して物品を搬送する搬送台３と、前記案内溝２に嵌合し当該案内溝２の側面の静圧スラスト軸受け機能により非接触的に前記搬送台の進行方向を案内する案内子４と、前記搬送台３を駆動するために前記案内溝２の内側に配置された位相が９０度異なるＡ、Ｂ２相のコイルセット５及び前記搬送台３の裏面に適切な継鉄７を介してＮＳ交互に配置したマグネットセット６を夫々固定子と可動子とするリニア同期モータを主要な構成要素として、エア浮上搬送装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送時間を短縮することができる基板搬送装置およびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】メインロボットＭＲは、複数の基板保持ハンド１４ａ，１４ｂを備えた第２上アーム１３と、複数の基板保持ハンド１６ａ，１６ｂを備えた第２下アーム１５と、第２上アーム１３を移動させる上進退駆動機構２９と、第２下アーム１５を移動させる下進退駆動機構３０とを含む。メインロボットＭＲは、各基板保持ハンド１４ａ，１４ｂ，１６ａ，１６ｂを用いて基板保持位置に対して基板を搬入および搬出することができ、複数の基板保持位置の間で基板を搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】板状部材の外縁側を把持する搬送装置を利用でき、支持される板状部材にストレスが生じることを防止できるようにすること。
【解決手段】支持装置１０は、半導体ウエハＷを支持する支持面１１を有するテーブル１２と、支持面１１に接する半導体ウエハＷを移動規制可能な移動規制手段１４と、半導体ウエハＷに気体を吹き付けて半導体ウエハＷを支持面１１からの着脱を補助可能な着脱補助手段１５とを備えて構成されている。搬送装置Ｂで搬送される半導体ウエハＷに対し、気体を吹き付けて半導体ウエハＷを支持面１１から離脱した状態とし、この状態で搬送装置Ｂを退避させた後、支持面１１に半導体ウエハＷが接した状態で吸着支持される。 （もっと読む）