【課題】被処理体の自重により被処理体を保持して搬送することが可能な搬送機構を提供する。
【解決手段】被処理体を搬送する搬送機構２４、６４において、屈伸及び旋回が可能になされたアーム部２６、２８、６６、６８と、アーム部の先端に設けられて処理体を保持するピック部３０、３２、７０、７２と、ピック部に設けられて被処理体の周縁部と当接して被処理体の自重により揺動して周縁部を保持する複数の保持部材３４とを備える。これにより、被処理体の自重により被処理体を保持して搬送可能する。 （もっと読む）

【課題】 板ガラスをキャラクタリゼーションするための装置および方法を提供する。
【解決手段】 板ガラス２８を、板ガラス２８が装置を通過して移動する際にキャラクタリゼーションするための装置は、環状の内部多孔質体部分と、前記内部多孔質体部分の周りに配置された外部多孔質体部分とを含む空気軸受４４であって、前記内部多孔質体部分が空気軸受４４の厚さ全体に延びる中心通路を画定するものである空気軸受４４；板ガラス２８の移動の方向５０を基準として空気軸受４４の上流側に配置された複数の安定化エアナイフ５２ａ，５２ｂ；および板ガラス２８の少なくとも１つの特性を測定するための測定デバイスであって、空気軸受４４の前記中心通路と並んでいる測定デバイス；を備える。 （もっと読む）

【課題】物品保管部の設置箇所に制限を受けることなく、物品保管部の構成の簡素化を図り、入庫作業と出庫作業とを連続して行う場合にその作業にかかる時間の短縮化を図る。
【解決手段】第１授受位置Ｊ１と物品保管部６の内部との間で物品３を搬送する第１搬送コンベヤ３７と、第２授受位置Ｊ２と物品保管部６の内部との間で物品３を搬送する第２搬送コンベヤ３８とが備えられ、物品搬送車２は、走行レール１の経路上の授受用停止位置に停止した状態で、把持部４の昇降を行って第１授受位置Ｊ１及び第２授受位置Ｊ２の一方との間で物品３を移載自在であり、且つ、授受用停止位置に停止した状態で、把持部４のスライド移動を行って第１授受位置Ｊ１及び第２授受位置Ｊ２の他方との間で物品３を移載自在に構成され、第１搬送コンベヤ３７と第２搬送コンベヤ３８の一方が入庫部７として構成され、他方が出庫部８として構成されている。 （もっと読む）

【課題】 反りと反発力の大きいウェハであっても、確実に吸着して保持しながら搬送することができる搬送技術を提供することを課題とする。
【解決手段】 基板搬送装置は、基板を吸着保持しながら搬送する搬送ピック４０を有する。搬送ピック４０の吸着面４０ａは複数の領域４６ａ，４６ｂに分割され、複数の領域の各々に対して吸着経路が設けられる。制御部６０は、吸着経路への負圧の導入を制御して、搬送ピック４０による基板の吸着保持動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】坂坂道軌道部において停止した天井搬送車の移動を容易に行うことができ、作業性の向上を図れる移動装置を提供する。
【解決手段】移動装置１は、軌道Ｒに沿って走行する天井搬送車１００を軌道Ｒの坂道軌道部ＳＲで支持して移動させる装置であり、坂道軌道部ＳＲに沿って設けられたガイドユニット１０と、ガイドユニット１０に摺動可能に設けられたスライド部１２と、スライド部１２をガイドユニット１０に沿って移動させる移動機構１６と、スライド部１２に連結され、天井搬送車１００を坂道軌道部ＳＲにおいて支持する支持部１４と、を備え、支持部１４は、天井搬送車１００を支持しないときには天井搬送車１００と干渉しない位置にある。 （もっと読む）

【課題】複数の基板保持部材を備えた受け渡し機構を利用して、効率的に基板を搬送することが可能な基板処理装置等を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は処理された基板Ｗを基板収納部１００に戻すにあたり、搬送機構５を用いて処理済みの基板Ｗを中間受け渡し部４１ｂに搬送する。受け渡し機構２が、中間受け渡し部４１ａ、４１ｂから処理済みの基板Ｗを取り出して基板収納部１００に受け渡す際に、制御部７は、前記基板収納部１００からセットで取り出された第１の基板Ｗと第２の基板Ｗとのうち、先に処理を終えた前記第１の基板Ｗが中間受け渡し部４１ｂに受け渡された後、後続の基板Ｗが中間受け渡し部４１ｂに受け渡されることを待って両方の基板Ｗを一緒に搬送するか、後続の基板Ｗを待たずに前記第１の基板Ｗを搬送するかを判断する。 （もっと読む）

【課題】クラスター構造の基板処理装置、基板処理設備、及びこれを利用した基板処理方法を提供する。
【解決手段】本発明による基板処理装置の一実施形態は、基板が収納される容器が搭載されるロードポートと、前記基板を処理する複数の工程モジュールと、前記ロードポートと前記工程モジュールとの間に配置され、前記容器と前記工程モジュールとの間に前記基板を搬送する移送モジュールと、互いに隣接する前記工程モジュールの間に配置され、前記互いに隣接する工程モジュールの間に前記基板が搬送される空間を提供するバッファチャンバーと、を含む。 （もっと読む）

【課題】セラミックス等の脆性部材で構成された基板保持部材を備えた基板搬送装置において、破損した場合に破片の飛散を抑えること。
【解決手段】多関節アームの最上段の基板保持部材２の基体としてセラミックスからなるフォーク状の板状体を用いる。この板状体の周縁に沿って板状体の中に埋設した状態で延性部材である金属線５を配置する。また板状体の裏面側に延性部材である樹脂フィルムを貼着するようにしてもよい。このような構成では、基板保持部材が構造物に衝突し破損した場合にも、金属線によって破片を繋ぎ止めることで、破片の飛散防止あるいは抑制をすることができる。 （もっと読む）

【課題】複数のウエハ型被処理物を一時保管するための装置および方法を提供する。
【解決手段】本発明は複数のウエハ型被処理物１７を一時保管するための装置に関し、この装置は、フレーム１と、少なくとも２つの搬送要素３とを備え、搬送要素は、各々、フレームに接続された上側と下側の偏向装置５の周りを垂直方向に循環し、被処理物１７を水平方向に載せるための等間隔の複数の支持領域４を有し、各搬送要素３の偏向装置５のうち少なくとも一方が駆動され、搬送要素３間に空きスペースがある。装置はさらに上側の偏向装置５間の搬入位置３３を備える。搬入位置で、各被処理物１７を対応する支持領域４上に配置できる。装置はさらに、搬入位置３３の下方の、水平搬送装置７、８、９を含む静止取出し装置を備え、静止取出し装置の第１の端部は、搬送要素３間の空きスペース内にある。本発明はまた、上記装置を用いる、複数のウエハ型被処理物１７の一時保管方法に関する。 （もっと読む）

【課題】板状部材へのストレスを抑制して所望の保持状態で確実に支持することができる板状部材の支持装置および支持方法、ならびに板状部材の搬送装置を提供すること。
【解決手段】ウェハＷに対して角度を変更させた一対の第１保持手段７１を直動モータ５２が互いに接近させるので、ウェハＷの反りが大きい場合でも、当該ウェハＷに第１保持手段７１を接近させることができ、搬送不良が発生するといった不都合を確実に解消することができる。また、ウェハＷをフラットに矯正する際に、直動モータ５２および回動モータ５３を連動させて一対のアーム６の間隔を調整することで、ウェハＷにおける局部応力の発生を抑制することができる。 （もっと読む）