【課題】冷却効率の低下が生じないオゾン発生装置を提供する。
【解決手段】オゾン発生管１と、冷却液のエアーを抜くための上側開口２１を有し、オゾン発生管１を両端突出状態で収容し、冷却水Ａによりオゾン発生管１を外側から冷却する冷却容器２と、冷却水Ａによりオゾン発生管１を内側から冷却する冷却部と、冷却水Ａを温度制御しながら循環させる冷却手段１２であるチラー装置３１とを備え、オゾン発生管１の内側を冷却した後の冷却水Ａを冷却容器２内に戻す循環用の配管を有し、冷却容器２は、その内部において、冷却水Ａ−１が収容される下側冷却液収容部２２と、冷却水Ａ−２が収容される上側冷却液収容部２３とに、両冷却水Ａ−１及びＡ−２が互いに混ざり合わないよう分断する分断手段などの隔壁４を有し、この隔壁４は上側開口２１を通じて下側冷却液収容部２２に収容された冷却水Ａ−１のエアーを抜くための連通開口４１を有する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能なオゾン発生装置を提案することである。
【解決手段】オゾン発生装置は、円筒状の気密密閉容器３、当該容器３の内部に設けられた前記第一電極の一例としての筒状の接地電極４、接地電極４の内側で当該電極４と同軸状に設けられた誘電体管５、誘電体管５の内壁上に設けられた第二電極６、給電装置７、高圧碍子９、および高圧電源１０とから構成されている。高圧電極１３は、誘電体管５と第二電極６とからなる。酸素や大気などのオゾン製造用の原料ガスは、気密密閉容器３の原料ガス入口１から供給され、誘電体管５と接地電極管４との間の通路を通過する間に無声放電によりオゾン化され、オゾン化ガス出口２からオゾン処理装置に供給される。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、処理効率を向上させることができる水処理装置を提供することを目的としている。
【解決手段】円筒型接地電極と、この円筒型接地電極の円筒中心軸に沿って張られた線状電圧印加電極とからなり、円筒型接地電極の円筒の開口端を上下方向に向けて処理室内に配置された少なくとも一対の電極対と、電極対の上方から被処理水を円筒型接地電極の内部に向かって水滴状にして噴射する噴射ノズルと、を備え、円筒型接地電極内でストリーマ放電を発生させて、ストリーマ放電によって生じる活性種によって被処理水中の処理対象物質を分解処理する水処理装置であって、円筒型接地電極と線状電圧印加電極の間に、噴射された水滴状の被処理水を衝突させて、被処理水の落下速度を落とす絶縁材料からなる障害物が設けられていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】オゾン蓄積時に、オゾンチャンバ内のオゾン量を監視することで、オゾンチャンバの設計限界を超えた液体オゾンがオゾンチャンバに蓄積することを防止し、高濃度オゾンガス生成装置を安全に稼動する。
【解決手段】オゾンチャンバ９へ導入されるオゾン含有ガスの流量を計測し、制御するマスフローコントローラ６と、オゾンチャンバ９で液化されなかったガスの流量を計測するマスフローメータ２８を備え、計測されたオゾン含有ガスの流量と液化されなかったガスの流量に基づき、蓄積される液体オゾン２７量を算出する演算部３１を備えた液体オゾン蓄積量計測装置３５である。さらに、演算部３１で算出された液体オゾン蓄積量があらかじめ定められた量に達した場合は、オゾンの蓄積を停止する。 （もっと読む）

【課題】吸着材を用いて反応物ガスと製品ガスを含むガス混合物から製品ガスを分離する方法において、流出する製品ガス濃度の変動をより抑制する方法を提供する。
【解決手段】並列に接続された少なくとも３つの吸着剤容器Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３を使用した吸着サイクルを用いて反応物ガスと製品ガスを含むガス混合物から製品ガスを分離する方法において、一つの吸着剤容器に吸着させた製品ガスを回収するスイープ段階の時間が、他の一つの吸着剤容器におけるスイープ段階の時間と一部重複して実行されるように吸着サイクルを設定することにより、製品ガスの濃度変動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】放電によるオゾン発生器と吸着による分離および酸素の回収、リサイクルを備えるオゾン発生システムにおいて、ＮＯxなどの望ましくない副生物を生じさせずに、効率よくオゾンを製造する方法と装置を提供する。
【解決手段】オゾン発生器へ導入される酸素流に添加物質としてヘリウムを導入し、発生器の流出物を吸着プロセスへ導く。オゾンの発生及び回収プロセスを維持するのに必要とされる補給ヘリウムと酸素の量を減らすようにされる改良ＰＳＡサイクル。 （もっと読む）

【課題】気化部で万一オゾン分解が生じても液体オゾンの気化による連鎖的なオゾン分解を抑制でき、装置の破損の虞を無くすことが可能なオゾン濃縮装置の運転方法を提供する。
【解決手段】オゾン濃縮装置の運転方法は、オゾナイザで生成されたオゾンガスをオゾン沸点以下の温度まで冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する冷却手段と、冷却手段により分離された液体オゾンを加熱して気化し濃縮オゾンを得る気化部と、液体オゾンと非凝縮気体との分離境界面から気化部までを液封する配管と、を具備するオゾン濃縮装置の運転方法であって、配管における液封する部分に液体オゾンが規定以上貯まらないように、配管に流入するオゾン量を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】この発明は、簡単な構造で異常放電を確実に検出し、電源回路等を保護することを目的とする。
【解決手段】放電リアクタ装置１０は、放電管１２、筒状電極１４、線状電極１６、電源回路１８および診断回路２０を備える。線状電極１６は、周囲の部位よりも早期に溶断する溶断部１６Ｂと、自由状態において径方向に変形する変形可能部１６Ｃとを備える。アーク放電等の異常放電が生じたときには、線状電極１６が溶断して変形可能部１６Ｃが径方向に変形することにより、筒状電極１４と線状電極１６との間に設けられたギャップの寸法が変化する。診断回路２０は、このギャップの寸法変化により異常放電を検出し、電源停止等の手段により電源回路１８を保護することができる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、異常放電により電極が溶融した場合でも、高圧側電極と接地電極とがショートするのを防止し、電源回路等を保護することを目的とする。
【解決手段】放電リアクタ１０は、接地電極１２、高圧側電極１４および電源回路１６を備える。高圧側電極１４には、周囲の部位よりも早期に溶断する溶断部１８を設ける。そして、溶断部１８と電源接続部１４Ａとの間に位置する電極片１４Ｂの長さＬを、高圧側電極１４と接地電極１２との間の電極間距離Ｄよりも短く設定する。これにより、アーク放電等の異常放電が生じたときには、高圧側電極１４を溶断部１８の位置で溶断させることができる。この結果、高圧側電極１４が溶断した場合でも、電源回路１６側に接続された電極片１４Ｂが接地電極１２とショートするのを防止することができ、電源回路１６を保護することができる。 （もっと読む）

【課題】給電部材にアークが到達する前にアークを完全に消弧し、確実な電極間絶縁の回復を実現することができる無声放電式プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】誘電体(３)と、誘電体を挟んで対向配置された第１、第２の電極(１，２)と、電極間に交流電圧を印加して放電させる交流電源(６)とを含み、放電を発生させる放電空間にガスを供給してプラズマを形成する装置であって、第２の電極(２)が誘電体上に形成された導電性の給電薄膜からなり、誘電体が破損して電極間にアーク放電が発生した場合に、アーク放電が、アーク放電が発生した部分から給電薄膜に接して交流電源と給電薄膜とを接続する給電部材(７)に至る給電薄膜を部分的に消滅させ、同時に誘電体および給電薄膜の少なくとも給電薄膜と接するように配置されたアーク消弧剤(１０)によりアーク放電が消弧される。 （もっと読む）