【課題】オゾンの発生量が異なる複数種類のオゾン発生素子を安価に作製可能とする。
【解決手段】誘導電極１６は、複数の放電電極１４ａ〜１４ｄに対向するように設けられている。誘電体基板１２は、複数の放電電極１４ａ〜１４ｄと誘導電極１６との間に設けられている。延在部２４及び枝部２６ａ〜２６ｄは、複数の放電電極１４ａ〜１４ｄの内の少なくとも１つ以上の放電電極１４ａ〜１４ｄと端子電極３０とを電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】 誘電体表面に電荷を均一帯電させることにより均一なプラズマの生成を可能にすると共に、プラズマ放電開始電圧の低減を可能にするプラズマ発生電極を提供する。
【解決手段】 互いに均等な間隔を隔てて配置された対向配置された少なくとも一対の対向電極１，１’を備え、これら対向電極１，１’に高周波電力を印加することによって、対向電極１，１’間にプラズマを発生させるプラズマ発生電極であって、前記一対の対向電極１，１’の少なくとも一方の電極表面に一様な厚みに誘電体層２が設けられ、該誘電体層２中には、多数の導体小片７が、誘電体層２の表面の面方向に沿った方向に、当該導体小片サイズ程度の間隔を隔てて一様に分散されて埋設される。 （もっと読む）

【課題】オゾン濃度の測定が正常に行なわれない場合に、オゾン発生器の異常を検出することが出来ないという問題があった。
【解決手段】オゾン発生器３に供給される電力をオゾン発生器に供給される原料ガスの流量で除算する除算器１０と、この除算器からの出力信号とオゾン濃度計４からの出力信号を入力する判別器１１を設け、判別器１１は、電力を原料ガス流量で除した値に対して決まるオゾン濃度値を正常オゾン濃度値としたとき、この正常オゾン濃度値より低い値のオゾン濃度値をオゾン濃度基準値として設定し、オゾン濃度計で測定したオゾン濃度がオゾン濃度基準値以下となった時にオゾン発生器の異常として判別するようにした。 （もっと読む）

【課題】導電性ダイヤモンド皮膜を基材金属の表面に密着性良く形成することができ、導電性ダイヤモンド皮膜が電極基材から剥離することが抑制されたダイヤモンド電極とその製造方法、ダイヤモンド電極を陽極として用いることで、長期間、高濃度のオゾンを発生できるオゾン発生装置を提供する。
【解決手段】純Ｔｉ、Ｔｉ合金、純Ｎｂ、純Ｔａから選ばれる基材金属からなる電極基材と、電極基材の表面にボロンをドープして形成された導電性ダイヤモンド皮膜よりなり、電極基材と導電性ダイヤモンド皮膜との界面には基材金属種の水素化物が形成されており、Ｘ線回析測定で得られる水素化物の主ピ−クと基材金属の主ピ−クとの強度比が、０．１以上、３．０以下である。 （もっと読む）

【課題】駆動周波数を常に自動的に共振周波数近傍としながらオゾン生成量を効率良く調整できる放電セル放電回路を提供すること。
【解決手段】直流電力を供給する電力供給部（Ｕｗ）と、インバータ（Ｕｊ）と、トランス（Ｔｒ）と、トランス（Ｔｒ）の２次側の放電セル（Ｄｓ）と共振インダクタ（Ｌｍ）とを接続した閉ループからなり共振インダクタ（Ｌｍ）と寄生容量（Ｃｍ）とによって構成される共振部とを具備する。共振部の共振周波数とインバータ（Ｕｊ）の駆動周波数とを同調させるようにインバータ（Ｕｊ）の駆動周波数を制御する同調制御部（Ｕｓ）と、電力供給部（Ｕｗ）の出力電力を調整可変して規定の出力電力になるように制御する電力制御回路（Ｕｗｃ）とを具備し、同調制御部（Ｕｓ）によるインバータ（Ｕｊ）の駆動周波数の制御と、電力制御回路（Ｕｗｃ）による電力制御との２つの制御系によって放電セル（Ｄｓ）の放電を継続させる。 （もっと読む）

【課題】腐食し難く、高い信頼性を有するオゾン発生器を得ることを課題とする。
【解決手段】横型の筒状の気密容器２１と、この気密容器内に配置された，一端が閉塞されかつ内面に金属膜が形成された円筒状の放電管２２と、この放電管の外側に該放電管と同心円状でかつ放電ギャップ２６を介して配置された接地電極管２４とを備え、接地電極間の外周側を冷却水により冷却するとともに、放電管２２に高電圧を印加し、放電ギャップに流通させた酸素を含む原料ガス中にオゾンを発生させるオゾン発生器であって、２方向弁２９ａ，２９ｂ，３２ａ，３２ｂを夫々介装した原料ガス供給配管２７ａ，２７ｂとオゾンガス出口配管３０ａ，３０ｂを各２箇所ずつ設置して、原料ガス供給配管からオゾン化ガス出口配管への流路を２通り設置し、２方向弁の操作により流路を交互に切替え可能な構成にしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】オゾンの発生効率を確実に向上させるオゾン発生装置及びオゾン発生方法を提供する。
【解決手段】オゾン発生装置１は、円柱状の内側電極２と、外側電極３と、放電空間６に、軸方向に沿った磁場を発生させるソレノイド状励磁コイル５と、を有する。放電空間６の幅ｄｒは、(i) ソレノイド状励磁コイル５によって放電空間６に生じる磁束密度の最大値と、(ii) 放電空間６に生じる電場の最大値と、から決定される、放電空間６における電子の旋回運動の最大幅以上となっている。 （もっと読む）

【課題】従来のオゾン発生装置の基本的な構成を変更することなく、オゾン濃度を上昇させる。
【解決手段】 少なくとも一対の電極１と、前記電極１間に挟持され、放電空隙５を形成する誘電体２と、前記放電空隙５に接続される原料ガス流通路と、冷媒流通路と、原料ガスを加熱するための原料ガス加熱手段８を備えるオゾン発生装置により、加熱した原料ガスを放電空隙５に導入してオゾンを発生させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、オゾン吸着剤を利用してオゾン／酸素分離を行い、回収した酸素をオゾン原料として再利用し、吸着したオゾンを乾燥空気で脱着回収する、低コストのオゾン製造方法を提供する。
【解決手段】 オゾン発生器から供給されるオゾン、酸素２成分ガスを含有するガスを加圧してオゾン吸着剤吸着塔に導入して吸着剤と接触させてオゾンを吸着剤に吸着させて酸素を回収してオゾン発生器原料として再利用し、吸着したオゾンを、乾燥空気を向流パージガスとして使用して、オゾンを吸着したオゾン吸着剤吸着塔を減圧して吸着塔からオゾンを離脱することによる、オゾン回収方法。オゾン吸着剤は、（１）ペンタシル型ゼオライト、（２）酸処理したペンタシル型ゼオライト、（３）メソポーラスシリカ、（４）酸処理したメソポーラスシリカからなる群より選ばれる一種以上である。 （もっと読む）

【課題】濃縮オゾンを安定して得ることができるオゾン濃縮装置を提供する。
【解決手段】オゾンガスを冷却し液体オゾンと非凝縮気体とに分離する分離部６と、分離された液体オゾンを加熱により気化し濃縮オゾンを得る気化部５と、液体オゾンと非凝縮気体との分離境界面Ａと気化部５との間を液封すると共に冷却される液封部８と、液封部８に充填されて毛細管力を発現し気化部５の入口５ｃを通して内部に進入する充填材９と、を有するオゾン濃縮装置１００であって、気化部５を加熱するための給熱体１５を気化部５内に設ける構成とし、外部に設ける場合に比して、給熱体１５の熱を、先ず気化部５内に進入している充填材９に伝達して当該充填材９の液体オゾンの気化に使い、液封部８に伝達し難くして当該液封部８の温度を上がり難くし、その結果、液体オゾンを充填材９の毛細管力により継続して気化部５内に導くことを可能とする。 （もっと読む）