【課題】
製造の歩留まりが良く、製造コストが低く、エキシマランプ光の透過性と耐光性に優れた、高品質なシリカガラス板材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
ＳｉＯＨ基を１ｐｐｍ以上含有する管状の合成シリカガラス体の軸方向にスリットを形成し、該スリットが上面になるように炉内の耐熱性平板上に静置し、加熱変形させることによって平板状のシリカガラス体を得る工程と、前記平板状のシリカガラス体を６００〜１２００℃の温度で熱処理する工程と、前記平板状のシリカガラス体の外周部の汚染部分を除去する工程と、を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】 シリコン単結晶引上げ終了時の使用済みルツボの取り出しが容易な石英ガラスルツボを提供する。
【手段】 外表面の全面または一部、好ましくはルツボ側壁の外表面に結晶化促進剤を含有し、高温下で外表面が結晶化するシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボにおいて、ルツボ外表面の結晶層の厚みが０.５〜２mmとなるように形成されていることを特徴とする石英ガラスルツボであり、引上げ終了後の冷却時にルツボ外層がサセプターに密着しても小さく破損するので、工具などで破砕する必要がなく、高価なサセプターを損傷する虞がない。 （もっと読む）

抗微生物性および／または抗菌性および／または抗真菌性の効果を有し、かつ粒子の形のドープシリカ（ＳｉＯ₂）を製造するための火炎噴霧熱分解法を開示する。前記の火炎法により製造されたドープシリカは、少なくとも１の機能性ドーパントを含有し、前記機能性ドーパントは、少なくとも１の抗微生物性および／または抗菌性および／または抗真菌性に作用する金属および／または金属酸化物からなり、有機溶剤中の、少なくとも１の機能性ドーパント前駆体、特に銀および／または銅を含有する前駆体と、少なくとも１のシリカ前駆体とを含有する前駆体溶液から出発して製造される。このようなドープシリカは、たとえばポリマー材料中に配合するために、または含浸材料として使用するために適切である。 （もっと読む）

【課題】 合成石英ガラス中のＯＨ基量を低減すると共にＯＨ基濃度の均一化を図った合成石英ガラスの製造方法及び光学部材用合成石英ガラスを提供する。
【解決手段】 本発明に係る合成石英ガラスの製造方法は、下記工程（ａ）〜（ｄ）を備える。
（ａ）ガラス原料を火炎加水分解して合成された石英ガラス微粒子を基材上に堆積させて多孔質石英ガラス母材を形成する工程。
（ｂ）前記多孔質石英ガラス母材を仮焼する工程。
（ｃ）仮焼された前記多孔質石英ガラス母材を、真空下で、１１００℃以上且つガラス化温度未満の温度域に一定時間保持して加熱処理する工程。
（ｄ）加熱処理された前記多孔質石英ガラス母材をガラス化温度以上に加熱して合成石英ガラスを得る工程。 （もっと読む）

【課題】 シリコン単結晶引上げの高温使用下において機械的強度に優れ、引き上げ初期の転位発生がほとんど無く、単結晶化率の高い石英ガラスルツボとその製造方法を提供する。
【手段】 回転モールド法による石英ガラスルツボの製造方法において、結晶化剤を含有するシリカ粉を用い、このシリカ粉をアーク溶融する工程で、アーク電極とモールドの間に電圧をかけて結晶化促進剤をルツボ内表面に移動させ、かつルツボを１２００〜１６００℃の温度下に１０分以上保持することによって、厚さ１〜１０μmのルツボ内表面が結晶化促進剤を含有し、かつ結晶化度が８０〜９５％の半結晶層である石英ガラスルツボを製造する。 （もっと読む）

【課題】従来のＴｉＯ_２−ＳｉＯ_２ガラスはガラス中に水素分子を多く含むため、超高真空下での成膜中に水素分子がチャンバー内に拡散し、膜中にＨ_２分子が取り込まれる。水素分子は容易に拡散するため、多層膜の光学特性が変化する可能性がある。
【解決手段】ＥＵＶリソグラフィ用光学部材において、ＴｉＯ_２濃度が３〜１２質量％であって、ガラス中の水素分子含有量が５×１０^１７分子／ｃｍ^３未満であるＴｉＯ_２を含有するシリカガラスの上に多層膜をイオンビームスパッタにより成膜する。 （もっと読む）

【課題】 高純度石英ガラス製品の原料に適した合成石英ガラス粉を工業的規模で得る。
【解決手段】 アルコキシシランの加水分解により得られたシリカゲルの粉末を焼成し合成石英ガラス粉を製造するにあたり、加水分解工程の原料仕込みにおいて、水を反応容器に仕込み、該水により反応容器の内面の全面を実質的に濡らしてから、アルコキシシランを仕込む。 （もっと読む）

【課題】
焼結用ガラス材料を乾式プレス成形して得られた焼結用成形体を加熱焼結して石英ガラス製品を製造する際に、製品表面にガラス組織の粗い梨地状の微細な凹凸が形成されることがなく、高品質の石英ガラス製品を低コストで製造できるようにする。
【解決手段】
パラフィン系バインダ及びステアリン酸系バインダの一方又は双方を含むバインダ（２）がシリカを主成分とするコア（３）の表面に隙間なくコーティングされて成るガラス原料粉末（４）を集合させて顆粒状に形成した焼結用ガラス材料（１）を用いた。 （もっと読む）

【課題】 多孔質石英ガラス体を製造するとともに、同時に生成する排ガスを処理して、高純度で取り扱いの容易なシリカ粉を容易に製造することのできる高純度シリカ粉の製造方法及び装置、並びに高純度のシリカ粉を提供する。
【解決手段】 石英系ガラス原料の気相加水分解反応により生成されるガラス微粒子を堆積して多孔質石英ガラス体を製造し、同時に高純度のシリカ粉を製造する方法であって、シリカ粉を含む排ガスをセラミックフィルターを備えた分離装置に導き、分離・回収したシリカ粉を脱気装置にかけてその嵩密度を0.1〜0.7g/cm³とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 石英ガラス棒を低コストで容易に加工することのできる石英ガラス棒の加工方法及び装置、これに用いるカーボン治具を提供する。
【解決手段】 ガラス旋盤の一方のチャック１ａで石英ガラス棒２を、他方のチャック２ｂでカーボン治具３を把持し、酸水素ガスバーナ４で石英ガラス棒２を加熱し、旋盤ヘッドを移動させて石英ガラス棒２の軟化部分をカーボン治具３に押し付け成形することを特徴とし、軟化部分の押し付けにより、半球状の突起部が形成される。酸水素ガスバーナ４に対する所定位置への移動及び酸素・水素ガス流量の調節、石英ガラス棒２の加熱部分の温度、石英ガラス棒２に向かってのカーボン治具３の相対的移動等を、予めプログラム化された条件に従って自動制御し、石英ガラス棒２を自動的に加工することができる。 （もっと読む）