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国際特許分類[C08F212/08]の内容

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【解決手段】カルボキシル基の水素原子が一般式(1)〜(3)から選ばれる酸不安定基によって置換されている樹脂をベース樹脂にしているポジ型レジスト材料。


【効果】露光前後のアルカリ溶解速度コントラストが大幅に高く、高解像性を有し、露光後のパターン形状とエッジラフネスが良好で、特に酸拡散速度を抑制し、優れたエッチング耐性を示す。 (もっと読む)


【解決手段】カルボキシル基の水素原子が一般式(1)で示される酸不安定基によって置換されている樹脂をベース樹脂にしているポジ型レジスト材料。


(R1はメチレン基又はエチレン基、R2は炭素数1〜8の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、又は炭素数2〜10のアルケニル基で、酸素原子又は硫黄原子を有していてもよい。R3はフッ素原子又はトリフルオロメチル基、mは1〜4の整数。)
【効果】本発明のポジ型レジスト材料は、露光前後のアルカリ溶解速度コントラストが大幅に高く、高解像性を有し、露光後のパターン形状とエッジラフネスが良好で、特に酸拡散速度を抑制し、優れたエッチング耐性を示す。従って、特に超LSI製造用あるいはフォトマスクの微細パターン形成材料、EUV露光用のパターン形成材料として好適なポジ型レジスト材料、特には化学増幅ポジ型レジスト材料を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】めっき膜を形成するめっき方法を提供する。
【解決手段】基板上にレジストパターンを形成する工程、レジストパターン形成面に、下記一般式(1)で表わされる構造単位及び下記一般式(2)で表わされる構造単位を有する重合体を含有する表面改質層を形成する工程、レジストパターンの開口部にめっき膜を形成する工程を有するするめっき方法。


〔式中、R1は水素原子又はメチル基、R2は単結合又は2価の連結基、R3は水素原子、水酸基又はアルコキシ基、R4は水素原子又はメチル基、R5は極性基を示す。〕 (もっと読む)


【課題】 従来の紫外線吸収剤を用いた場合に比して、耐光性、非ブリードアウト性、相溶性、耐水性、及び耐熱性に優れ、単独又は種々の樹脂との配合で、光劣化が抑制されるとともに、耐久性の向上した塗料を提供する。
【解決手段】
紫外線吸収型ポリマー(A)と、ポリウレタン(B)のディスパージョンとを含むポリマー組成物を含有してなる塗料が提供される。紫外線吸収型ポリマー(A)は、二重結合及び紫外線吸収基を有する化合物(a)と、二重結合含有成分(h)とを含む重合成分を重合させて得られる重合生成物であり、ポリウレタン(B)のディスパージョンとしては、活性水素含有基及びアニオン性親水性基(水酸基を除く。)を有する化合物(b)と、ポリオール(c)及び/又はポリアミン(d)と、ポリイソシアネート(e)と、を含む反応成分を反応させて得られる反応生成物の水分散体が用いられる。 (もっと読む)


【課題】制電性に優れる熱可塑性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】〔A〕ゴム質重合体の存在下、芳香族ビニル化合物及びシアン化ビニル化合物を含む単量体を重合して得られた、グラフト樹脂、〔B〕芳香族ビニル化合物に由来する単位(by)を含み、シアン化ビニル化合物に由来する単位(bx)を、0質量%以上r質量%以下で含む(共)重合体と、単位(by)を含み、単位(bx)を、r質量%を超えてr質量%以下で含む重合体と、単位(by)を含み、単位(bx)を、r質量%を超えて60質量%以下で含む重合体とからなる重合体、〔C〕プロピレンに由来する構造単位を含むプロピレン系重合体、〔D〕芳香族ビニル化合物に由来する単位を含む重合体ブロックと、共役ジエン化合物に由来する単位を含む重合体ブロックとを備えるブロック共重合体並びに〔E〕ポリエーテル系ブロックを含むブロック共重合体を含む。 (もっと読む)


【課題】高解像性で良好な形状の孤立ラインパターンを形成することができ、且つ、ドライエッチング耐性を含む他のレジスト性能にも優れる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、これを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、及びパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも1つのフェノール性水酸基と、フェノール性水酸基の水素原子が下記一般式(1)で表される基によって置換されている基を少なくとも1つ含む化合物(P)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
【化1】
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【課題】低燃費性、ウェットグリップ性能をバランス良く向上できるゴム組成物、及び該ゴム組成物をタイヤの各部材(特に、トレッド)に用いた空気入りタイヤを提供する。
【解決手段】1,3−ブタジエン、スチレン及び下記式(I)で表される化合物を共重合して得られ、一方の末端にアミノ基を有し、他方の末端に窒素、酸素及びケイ素からなる群より選択される少なくとも1種の原子を含む官能基を有する重量平均分子量が1.0×10〜2.5×10である共重合体を含むゴム成分と、シリカと、軟化点−20〜20℃の液状レジンとを含むゴム組成物に関する。
[化1]


(式中、Rは、炭素数が1〜10の炭化水素基を表す。) (もっと読む)


【課題】優れた防水性及び防湿性を維持し、難燃性に優れ、更に、貯蔵安定性、基材密着性及び上塗り適性等にバランス良く優れ、総合的な性能に優れるシーラー用樹脂組成物、及びそのような組成物を含む水性シーラーが塗布された無機質形成部材を提供する。
【解決手段】(A)水性エマルジョンと、(B)難燃剤とを有し、(B)難燃剤が、臭素化合物とアンチモン化合物の両方を含むシーラー用樹脂組成物は、優れた防水性及び防湿性を維持し、難燃性に優れ、更に、基材密着性、上塗り適性及び貯蔵安定性にバランス良く優れるので、総合的な性能に優れる。 (もっと読む)


【課題】低燃費性、耐摩耗性、ウェットグリップ性能をバランス良く向上できるタイヤ用ゴム組成物、及び該組成物を用いた空気入りタイヤを提供する。
【解決手段】1,3−ブタジエン、スチレン及び炭素数が1〜10のアルコキシ基置換のスチレンを共重合して得られ、一方の末端にアミノ基を有し、他方の末端に窒素、酸素及びケイ素からなる群より選択される少なくとも1種の原子を含む官能基を有する重量平均分子量が1.0×10〜2.5×10である共重合体と、シリカと、下記式(A)で表される化合物とを含むタイヤ用ゴム組成物。[


(式(A)中、R101及びR103102は、同一若しくは異なってよい水素原子、分岐若しくは非分岐の炭素数1〜30のアルキル基、分岐若しくは非分岐の炭素数2〜30のアルケニル基、分岐若しくは非分岐の炭素数6〜30のアリール基、又は水酸基を表し、rは、0〜8の整数を表す。) (もっと読む)


【課題】解像度及び密着性に優れ、且つめっき耐性が良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造方法、プリント配線板の製造方法及びプリント配線板を提供する。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(A)成分が、(a1)ベンジル(メタ)アクリレート誘導体由来の構成単位を50〜80質量%、(a2)スチレン誘導体由来の構成単位を5〜40質量%、(a3)(メタ)アクリル酸アルキルエステル由来の構成単位を1〜20質量%、及び(a4)(メタ)アクリル酸由来の構成単位を5〜30質量%含む、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


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