【課題】ラフネス特性、露光ラチチュード（Exposure Latitude）、及び現像欠陥性能の改善、並びに、定在波の抑制を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する構造部位（Ｓ１）と、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位（Ｓ２）とを備えた繰り返し単位（Ａ）を含んだ樹脂（Ｐ）と、酸の作用により脱離する基を備え且つ下記一般式（Ｃ−Ｉ）より表される化合物、又は、酸の作用により脱離する基を備え且つ前記一般式（Ｃ−Ｉ）により表される化合物の複数が連結基を介して結合された構造を有する化合物とを含有している。
【化１】
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【課題】分散性向上と帯電防止性向上の両立が可能な塩基性セラミックス含有スラリー組成物の提供。
【解決手段】一般式（１）構成単位ａと一般式（２）構成単位ｂと一般式（３）構成単位ｃを含有するアニオン性高分子分散剤（Ａ）、少なくとも１種のカチオンを有する帯電防止剤（Ｂ）、非水系溶媒、塩基性セラミックス材料、バインダー樹脂を含有するスラリー組成物。
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【課題】ラクトン骨格含有（メタ）アクリル系化合物を単量体として用いる重合体の重合方法において、欠陥の原因となりやすい分子量の非常に高い成分の生成を限りなく抑制した半導体レジスト用重合体の重合方法及びその方法により得られる半導体レジスト用重合体を提供する。
【解決手段】本発明の半導体レジスト用重合体の重合方法は、原料単量体として、ラクトン骨格を含有する（メタ）アクリル系単量体（Ａ）、及びラクトン骨格を含有しない単量体（Ｂ）が用いられ、前記単量体（Ａ）及び前記単量体（Ｂ）を含む単量体溶液（ｉ）を、反応系に３０分間以上かけて加えながら重合し、該重合の開始から３０分間以上経過した後に、前記単量体（Ａ）を含む単量体溶液（ｉｉ）を、反応系に更に加えて重合を行う。 （もっと読む）

【課題】ラフネス特性、露光ラチチュード、焦点深度及び現像欠陥性能に優れ且つ良好な形状のパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する構造部位（Ｓ１）と、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位（Ｓ２）とを備えた繰り返し単位（Ａ）を含んだ樹脂と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有している。 （もっと読む）

【課題】ラインウィズスラフネス、現像欠陥並びにパターン倒れが改善され、更に、液浸露光時に於ける液浸液に対する追随性が良好であるパターンを形成することが可能な感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を生じる構造部位（Ｓ１）と、アルカリ現像液の作用によりアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位（Ｓ２）とを備えた繰り返し単位を含んだ樹脂、
（Ｂ）フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかを有する樹脂、及び、
（Ｃ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物
を含有した感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】優れた解像度及びラインエッジラフネスを有するパターンを形成することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】樹脂及び酸発生剤を含有し、樹脂が、式（Ｉ）で表されるモノマーに由来する構造単位と、ヒドロキシ基を有するモノマーに由来する構造単位及びラクトン環を有するモノマーに由来する構造単位からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造単位と、を有する樹脂であるレジスト組成物。［Ｒ^１は水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^２及びＲ^３は水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^４は炭素数６〜１４のアリール基又は炭素数７〜１５のアラルキル基を表す。］
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【課題】高硬度で透明性、帯電防止性、保存安定性、耐湿熱性、湿熱条件下での密着性に優れ、光照射による硬化の際に塗工ラインの搬送速度に関係なく白化が生じない光硬化性樹脂組成物、及びその硬化皮膜を有する物品、その製造方法を提供する。
【解決手段】（１）平均粒子径が８０ｎｍ以下の無機酸化物微粒子、
（２）（メタ）アクリル基を３個以上含有する化合物、
（３）（メタ）アクリル基を１個又は２個含有する化合物、
（４）Ｒ¹Ｒ²Ｒ³Ｒ⁴Ｎ⁺Ｘ^-（Ｒ¹〜Ｒ⁴はＣＨ₃、Ｃ₂Ｈ₅、Ｃ₂Ｈ₄ＯＣＨ₃、Ｃ₆Ｈ₁₃又はＣ₈Ｈ₁₇、ＸはＮ（ＳＯ₂ＣＦ₃）₂、ＢＦ₄又はＰＦ₆）で表されるイオン性化合物、
（５）Ｌｉ⁺Ｙ^-（ＹはＣｌＯ₄、ＳＯ₂ＣＦ₃、ＳＯ₂Ｃ₂Ｆ₅、Ｎ（ＳＯ₂ＣＦ₃）₂、Ｎ（ＳＯ₂Ｃ₂Ｆ₅）₂、ＢＦ₄又はＰＦ₆）で表されるイオン性化合物、
（６）ラジカル系光重合開始剤
を特定割合で含有してなる光硬化性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】ＬＷＲが小さく、かつ、パターン形状に優れたレジストパターンを形成可能である感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）特定のＳＯ_３⁻構造を有する繰り返し単位と、特定の酸解離性基を有する繰り返し単位とを有する重合体および
（Ｂ）感放射線性酸発生剤
を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物と、特定のＳＯ_３⁻構造を有する繰り返し単位と、特定の酸解離性基を有する繰り返し単位とを有する重合体を提供する。 （もっと読む）

【課題】樹脂等からなる被着体への接着性及び引張特性に優れた硬化物を与える硬化性組成物を提供する。
【解決手段】本発明の硬化性組成物は、（Ａ）メタクリル系共重合体と、（Ｂ）硬化促進剤とを含有し、メタクリル系共重合体（Ａ）は、メタクリル酸ブチルに由来する構造単位（ａ１）と、アクリル酸メチルに由来する構造単位、メタクリル酸メチルに由来する構造単位、アクリル酸エチルに由来する構造単位、及び、メタクリル酸エチルに由来する構造単位から選ばれた少なくとも１種の構造単位（ａ２）と、加水分解性シリル基とを有し、構造単位（ａ１）及び構造単位（ａ２）の含有割合は、両者の合計を１００質量％とした場合に、それぞれ、２５〜９０質量％及び１０〜７５質量％であり、且つ、メタクリル系共重合体（Ａ）の数平均分子量は、２，０００〜１０，０００である。 （もっと読む）

【課題】強度、伸張性、柔軟性、表面平滑性に優れた有機無機複合体を提供する。
【解決手段】ラジカル重合性モノマー（Ａ）の重合体と、水膨潤性粘土鉱物（Ｂ）とが三次元網目を形成してなる有機無機複合体（Ｃ）であって、前記重合体が下記構造式（１）で表されるラジカル重合性モノマー（Ａ１）と、構造式（２）で表されるモノマー、アルキレンオキサイド変性アルキルフェノール（メタ）アクリレート、およびヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートから選択される1種以上のモノマー（Ａ２）から得られる。


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