【解決手段】酸不安定基で置換されたヒドロキシ基を有する繰り返し単位と酸不安定基で置換されたカルボキシル基を有する繰り返し単位の両方を含有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶媒を含むレジスト組成物、あるいは酸不安定基で置換されたヒドロキシ基を有する繰り返し単位を含有する高分子化合物と、酸不安定基で置換されたカルボキシル基を有する繰り返し単位を含有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶媒を含むレジスト組成物を基板上に塗布して、加熱処理後に高エネルギー線でレジスト膜を露光し、加熱処理後に有機溶剤による現像とアルカリ水溶液による現像の２回の現像を行うパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、有機溶剤とアルカリ水による２回の現像によって１本のラインを２本に分割し、マスクパターンの２倍の解像力を得ることができる。 （もっと読む）

【解決手段】式（１）で示される酸不安定基で置換されたカルボキシル基を有する繰り返し単位ａと、ラクトン環を有する繰り返し単位ｂを含有する（メタ）アクリレートポリマーと、酸発生剤と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布してレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液として２−ヘプタノンを５０質量％以上含有する溶液による現像を行うパターン形成方法。


（式中、Ｒ2は酸不安定基である。）
【効果】安全にネガティブトーンパターンを形成できるプロセスを構築できる。 （もっと読む）

【課題】現像マージンが大きく、耐熱性、耐光性及び耐溶剤性に優れる着色感光性樹脂組成物、前記着色感光性樹脂組成物を硬化して得られた硬化膜、前記硬化膜を具備するカラーフィルタ、及び、前記カラーフィルタを具備する液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】（成分Ａ）カルボキシル基及び／又はフェノール性水酸基が熱分解性基で保護された残基を有する構成単位（ａ１）、エポキシ基及び／又はオキセタニル基を有する構成単位（ａ２）、並びに、カルボキシル基及び／又はフェノール性水酸基を有する構成単位（ａ３）、を少なくとも含む共重合体、（成分Ｂ）感放射線性ラジカル重合開始剤、（成分Ｃ）エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに、（成分Ｄ）着色剤、を含むことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】ラフネスがより低減され、良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】α位の炭素原子に水素原子以外の原子又は置換基が結合していてもよいアクリル酸エステルから誘導される、酸解離性溶解抑制基を含む構成単位（ａ１）及び−ＳＯ_２−含有環式基を含む構成単位（ａ０）を有する樹脂成分（Ａ１）と、一般式（ｃ１）で表される化合物（Ｃ１）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）とを含有するポジ型レジスト組成物。一般式（ｃ１）中、Ｒは水素原子、炭素数１〜５のアルキル基又は炭素数１〜５のハロゲン化アルキル基；Ｙ^１は２価の脂肪族炭化水素基；Ｒ^１は水素原子、フッ素原子、アルキル基又はフッ素化アルキル基である。ｐは１〜１０の整数、Ａ^＋は有機カチオンを表す。
［化１］
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【課題】高い感度を有し、熱安定性が高く、かつ、有機溶媒膨潤率が低い硬化膜を形成しうるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（成分Ａ）式（１）で表される構成単位とアセタール若しくはケタールで保護されたカルボキシ基又はフェノール性水酸基を有する構成単位とを含む樹脂、（成分Ｂ）酸発生剤、並びに、（成分Ｃ）溶剤、を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。式（１）中、Ｒ¹は水素原子又はアルキル基を表し、Ｌ¹は二価の連結基を表し、Ｌ²は三価の炭化水素基を表す。
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【課題】生産性を低下させずに、重合体中に残存する未反応の単量体成分を低減できる重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】重合溶媒中にて、重合開始剤の存在下で、単量体を重合反応させて重合体を生成する重合工程と、前記重合工程で得られた反応溶液を貧溶媒中に供給して再沈殿させる精製工程を有する、重合体の製造方法であって、前記重合工程において、前記単量体の一部または全部が滴下により供給され、かつ前記重合反応に供される、重合溶媒の質量が単量体全体の質量の２．０倍以下であることを特徴とする重合体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 貴金属めっき耐性に優れ、充分な剥離特性を有し、かつ光重合性化合物が保護フィルムから透過しない感光性エレメント及びこれを用いたレジストパターンの形成法、リードフレーム又はプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】 支持フィルムと、該支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物層と、ポリプロピレン重合体フィルムを備える感光性エレメントであって、前記感光性樹脂組成物層が、（Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）少なくとも１つ以上の重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、前記（Ｂ）成分が、一般式（Ｉ）で表されるビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物と、一般式（ＩＩ）で表されるエトキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート類化合物とを含有する、感光性エレメント。 （もっと読む）

【課題】従来方法で得た（メタ）アクリル系共重合体溶液は、溶液重合後、溶媒を脱揮する際にベントボックスや配管内に汚れが付着したり、溶融押出時のポリマーフィルタでの濾過精製工程においてフィルタの昇圧が起こるという不都合が生じているため、これらの不都合の原因を突き止めて高効率に（メタ）アクリル系共重合体を製造する方法を提供する。
【解決手段】環構造を有するビニル系単量体と（メタ）アクリル系単量体とを含む単量体成分を、ラジカル溶液重合で重合することにより（メタ）アクリル系共重合体を製造する方法であって、上記環構造を有するビニル系単量体は、その一部または全部を重合開始前に重合容器内に仕込むと共に、上記（メタ）アクリル系単量体は、（メタ）アクリル系単量体１００質量％中、７０質量％以下を重合開始前に重合容器内に仕込み、残部を逐次添加することを特徴とする（メタ）アクリル系共重合体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】一般的な要求特性である透明性、表面硬度、耐溶剤性、及び電圧保持率を満足する層間絶縁膜を形成可能であり、かつ放射線感度に優れ、十分な保存安定性を有するポジ型感放射線性組成物、その組成物から形成される層間絶縁膜、並びにその層間絶縁膜の形成方法の提供。
【解決手段】［Ａ］同一又は異なる重合体分子中にアセタール基を含む構造単位とエポキシ基含有構造単位とを有する重合体、及び［Ｂ］下記式（２）で表される酸発生剤を含有するポジ型感放射線性組成物。
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【課題】本発明の目的は、硬度が高く基材や下地などとの密着性が良好であり、誘電率と誘電正接が低く良好な電気特性を示し、かつ透過率が高く、特に波長４００ｎｍ付近の透過率が高い感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】樹脂（Ａ）と、光重合開始剤（Ｂ）と、酸化防止剤（Ｃ）とを含有する感光性樹脂組成物であって、樹脂（Ａ）が下記一般式（１）で表される化合物（ａ１）と、化合物（ａ１）と共重合可能な他の化合物（ａ２）とを共重合してなる樹脂（Ａ１）を含む感光性樹脂組成物によって解決される。
一般式（１）：
【化１】
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