【課題】 液浸露光に適用した場合に、ドライ露光時に比較して感度の劣化が小さく、液浸液への酸の溶出が極めて少ない液浸露光に好適なレジストを提供する。
【解決手段】 （Ａ）フッ素原子を有する繰り返し単位を少なくとも１種含有しており、かつ酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂及び（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、を含有することを特徴とする液浸露光用ポジ型レジスト組成物。 （もっと読む）

本発明にかかる一実施態様は、ノルボルネン型ポリマー及びそれから形成される感光性絶縁性樹脂組成物に関する。他の実施態様は、該組成物から形成されるフィルムに関し、および、そのフィルムを含む電気、電子およびオプトエレクトロデバイス等の装置に関する。 （もっと読む）

極性作用基、水分及び酸素による触媒の非活性化がなく、極性作用基を含む環状オレフィン重合体を高分子量及び高い収率で製造する方法が提供される。
本発明によるオレフィン重合方法によれば、モノマーの極性作用基による触媒の非活性化を抑制できるために、ポリオレフィン重合時に高分子量及び高い重合収率でポリオレフィンを製造でき、触媒の活性が優秀であるために、触媒対モノマーの使用量を１／５０００未満の範囲で使用できて、触媒残渣を除去する工程が必要ない。
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開示された発明は、ペンダントラクトン又はスルトン基を含む新規ノルボルネン型モノマーに関する。発明はまたペンダントラクトン又はスルトン基を含むノルボルネン型ポリマー及びコポリマーに関する。これらのポリマー及びコポリマーは感光材料の製造に有用である。感光材料は、１９３及び１５７ｎｍのフォトリソグラフィーに有用なフォトレジスト組成物において使用するのに特に適している。
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【目的】押出しおよび射出成形物品用のシクロオレフィン共重合体の製造法の提供。
【構成】シクロオレフィン共重合体の材料はシクロオレフィンの交互配列構造を有し、２１０〜３２０℃の温度範囲で結晶性を有する。シクロオレフィンは、メタロセンおよびアルミノキサンの触媒を使用し、少なくとも１種の多環式オレフィン、単環式および／または非環式オレフィンを開鎖オレフィンと重合させることにより製造される。 （もっと読む）