【課題】液浸露光用レジスト組成物およびレジストパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】ＣＦ_２＝ＣＦ−ＣＨ_２ＣＨＲＣＨ_２−ＣＨ＝ＣＨ_２（ただし、Ｒは炭素数１〜１２のアルキル基または炭素数１〜１２のフルオロアルキル基を示す。）等の重合により形成された繰り返し単位（Ａ）を含む重合体であって、繰り返し単位（Ａ）を全繰り返し単位に対して１０モル％以上含む重合体（Ａ）と、酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する重合体（Ｂ）とを含み、かつ重合体（Ｂ）に対して重合体（Ａ）を０．１〜３０質量％含む液浸露光用レジスト組成物、および、該液浸露光用レジスト組成物を用いた液浸リソグラフィー法によるレジストパターンの形成方法。 （もっと読む）

【課題】新規な含フッ素重合体、その重合体の製造法およびその中間体である１，６−ジエン型エーテルの製造法を提供する。
【解決手段】式（１）で表される構造を含有する含フッ素重合体は高ガラス転移点、透明性、溶剤可溶性を示す高機能ポリマーである。


（ここでｎは、１００以下の整数である） （もっと読む）

【課題】 工業的に安価に製造可能で、軽量かつ加工性に優れた液晶性ポリオレフィンに関する。より詳細には、特定の構造を有する液晶性ポリオレフィン、及び該液晶性ポリオレフィンを含有してなる高分子組成物を提供すること。
【解決手段】 下記一般式（１）で表される繰り返し単位からなる液晶性ポリオレフィン。
【化１】


（式中、Ｒ_１，Ｒ_１’，Ｒ_２，Ｒ_３，Ｒ_３’，Ｒ_４，Ｒ_４’，Ｒ_５及びＲ_６，Ｒ_６’は各々独立に水素または炭素数１〜９のアルキル基を示す。）
（ｘ＋ｙ）／（ｘ＋ｙ＋ｚ）で定義される環化率が90％以上であり、かつ、ｙ／（ｘ＋ｙ）で定義されるトランス構造含率が70％より大きい液晶性ポリオレフィン。 （もっと読む）

【課題】水素原子を有さない環構造を有する含フッ素ポリマーの製造方法の提供。
【解決手段】一般式（Ｉ）で表される化合物を重合させて一般式（ＩＩ−Ａ）〜（ＩＩ−Ｄ）で表される構造単位を有するポリマーを製造しフッ素化処理をする。


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【課題】電子デバイスなどに用いられる誘電率、機械強度等の膜特性が良好であるとともに、経時保存後も良好な膜を提供できる膜形成用組成物、さらには該組成物を用いて得られる絶縁膜およびそれを有する電子デバイスを提供する。
【解決手段】カゴ型構造を有する化合物及び熱分解性化合物を含有することを特徴とする膜形成用組成物、該組成物を用いて得られる絶縁膜およびそれを有する電子デバイス。 （もっと読む）

【課題】従来、ホトレジスト層の上層に形成される保護膜にアルコール系溶剤を単独で用いた場合、アルコール易溶型のホトレジスト（例えば、ネガ型ホトレジスト等）を用いることができなかったという問題点があったが、これを解消し、市販のホトレジストに対して広く使用可能で汎用性に優れるとともに、液浸露光プロセスに用いられる保護膜に要求される基本特性を備えた保護膜形成用材料、およびこれを用いたホトレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基板上のホトレジスト膜上に積層される保護膜を形成するための材料であって、（ａ）アルカリ可溶性ポリマーと、（ｂ）エポキシ環を含まず、かつ水素原子の一部若しくは全部がフッ素原子により置換されたフルオロアルキルエーテルおよびフルオロアルキルエステルの中から選ばれる少なくとも１種を含む保護膜形成用材料、および該保護膜形成用材料を用いたホトレジストパターンの形成方法。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスなどに用いられる、低誘電率であるとともに、耐熱性、機械的強度に優れた膜、該膜を提供できる膜形成用組成物、該膜を有する電子デバイスを提供する。
【解決手段】アダマンタン、ビアダマンタン、ジアマンタン、トリマンタン、テトラマンタンのカゴ型構造を有するモノマーの重合体よりなり、ラマン分光測定において、ラマンシフト３００〜３１００ｃｍ^-1の領域において最も強度が高いピークが６９０〜８００ｃｍ^-1に存在する膜、該膜を形成する膜形成用組成物、さらには該膜を有する電子デバイス。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスなどに用いられる、低誘電率、高い機械強度とともに、焼成時の膜厚の変化が少なく、良好な密着性を有する絶縁膜を提供できる膜形成用組成物に関し、さらには該組成物を用いて得られる絶縁膜およびそれを有する電子デバイスに関する。
【解決手段】カゴ型構造を有する化合物を含有する膜形成用組成物であって，該組成物から３５０℃から４００℃の温度範囲で１時間の焼成によって得られる膜を、３５０℃から４００℃の温度範囲で２０時間加熱したときの膜の減少率が０％以上１０％以下であることを特徴とする膜形成用組成物、さらには該組成物を用いて得られる絶縁膜およびそれを有する電子デバイス。 （もっと読む）

【課題】光学特性、耐熱性、接着性、密着性および耐吸湿性のいずれにも優れた環状オレフィン系重合体を提供する。
【解決手段】一般式（１）で表される繰り返し単位を含む環状オレフィン系重合体。


一般式（１）中、Ｒ^１は置換基を表し、Ｌは単結合または２価の連結基を表す。ただし、ＬとＯＨの結合によりアルコールが形成される。ｐは、０または１の整数、ｑは０〜３の整数、ｒは１〜４の整数を表す。Ｒ^１、Ｌは互に結合して５〜７員の環を形成していても良い。 （もっと読む）

【課題】光学特性、耐熱性、接着性、密着性および耐吸湿性のいずれにも優れた環状オレフィン系重合体を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表される繰り返し単位を含む環状オレフィン系重合体。


（一般式（１）中、Ｒ²¹、Ｒ²²は水素原子または置換基を表し、Ｒ¹¹は置換されていてもよいアルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、Ｌは単結合または２価の連結基を表す。Ｘは酸素原子、および／または窒素原子を少なくとも一つ有する原子団を表す。ｐは、０または１の整数を表す。Ｒ¹¹、Ｒ²¹、Ｒ²²、Ｌ、Ｘはそれぞれ互に結合して５〜７員の環を形成していても良い。） （もっと読む）