【課題】パネルのエッチング製作プロセスの方法及びその装置を提供する。
【解決手段】パネルのエッチング製作プロセスの方法及びその装置は、パネルをエッチング作業タンク中に平置き固定し、その後タンク中にそのパネルを浸漬するに充分な適量のエッチング液を注入する。並びにエッチング進行中、そのタンク本体を片側に傾斜させながら円錐形に旋回運動させ、タンク中のエッチング液をタンク本体の傾斜回転に従って流動させて、平置き固定されたタンク内のパネルに対し、往復回転のフラッシング効果を起こし、エッチング効率を加速させる。同時に、その流動によりエッチング液を均一にパネル表面に接触させ、均一なエッチング効果を得るものである。 （もっと読む）

【課題】危険をともなわず、定量的な計量・管理を行うことができ、グラビアシリンダーの表面への加工液の当たり具合が判る計量装置の提供。
【解決手段】グラビアシリンダーのエッチング装置において、エッチング液の噴射量分布を計量するために使用する計量装置であって、本体部分はそのシリンダー表面と外径が一致する円筒形状であり、その円筒の両側面を塞ぐ側面板と内部を仕切る隔壁板とによって液溜部を形成し、その円筒外周に設けた開口部を噴射された加工液を受入れる受入口とし、受入口のすべてを同時に開閉する受入口開閉手段と、受入口から受容れた加工液を溜める液溜部と、液溜部に溜められた加工液を放出する放出口と、放出口の各々を個別に開閉する放出口開閉手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】高圧処理装置の耐圧容器を開放せずに、また耐圧容器内を低い温度でクリーニングすること
【解決手段】耐圧容器内へ酸化剤を供給して耐圧容器内の壁面等に堆積したＣｕを銅酸化物に酸化させ、次いで耐圧容器内へエッチング剤を供給してこの銅酸化物を超臨界状態の二酸化炭素に溶解可能な銅化合物に変化させ、その後超臨界状態の二酸化炭素を耐圧容器内へ供給してこの銅化合物を溶解して、耐圧容器内から排出することによって、耐圧容器内に堆積したＣｕを除去することができる。 （もっと読む）

【課題】微細加工処理剤の長寿命化と微細加工精度の向上を図ることが可能な微細加工処理方法を提供する。
【解決手段】微細加工処理方法は、フッ化水素酸、又はフッ化アンモニウムの少なくとも何れか一種を含む水溶液の微細加工処理剤を薬液温度５〜１５℃の範囲で所定期間保管しつつ使用し、かつ、前記微細加工処理剤の使用の際には、前記薬液温度の範囲内で被加工物を微細加工することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＡＥ工程で施されている撥水層の劣化対策の合理化。
【解決手段】 表面をクロムで覆われた樹脂または金属プレートにインクジェットヘッドに使用されるシリコン基板が固定される窪みがあり、このシリコン基板とクロムで覆われた樹脂または金属プレートとを直接、選択接着性を有するシリコン樹脂で接着し、シリコン基板に全くストレスを加えない構造とすることが特徴。 （もっと読む）

【課題】検知精度を低下させることなく、処理液による処理を均一化させることを目的とする。
【解決手段】基板処理装置１に、処理液を吐出空間２２に向けて吐出する吐出機構２と、断面形状が帯状のレーザ光を照射する投光部３と、投光部３から照射されたレーザ光を受光する受光部４と、制御部５とを設ける。投光部３が吐出空間２２外に配置されるように、投光部３を吐出空間２２よりも上方に設置し、吐出機構２の上方からガラス基板９に向けてレーザ光を照射する。制御部５は、受光部４から出力される受光量に基づいて、受光量が所定の閾値よりも増加した時点で、エッチング処理が終了したと判定する。 （もっと読む）

【課題】エッチング時に発生するガスによる表面置換性の低下を防ぎ、エッチングムラをなくし、ウエハを均一にエッチングすることができるエッチング方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るエッチング方法は、エッチング液６１によってウエハ６０の表面をエッチングするエッチング方法であって、エッチング液６１を貯えるエッチング処理槽６２内に、エッチング液６１の液面に対してウエハ６０の被エッチング面が水平となるように配置し、ウエハ６０を水平方向に所定の周期で揺動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の搬送時の損傷を防止できるエッチング装置を提供する。
【解決手段】第１の処理槽６および第２の処理槽７によるガラス基板３上の薄膜２のエッチング処理が所定数となる度に、第１の処理槽６および第２の処理槽７の搬送口８に純水シャワーノズル21から純水Ｗを散布する。搬送口８に付着したエッチング液Ｅや生成物を除去できる。搬送口８へのエッチング液Ｌの付着量を軽減でき、搬送口８での生成物の成長を抑制できる。搬送口８を通過するときに、搬送口８に付着して成長した生成物とガラス基板３との接触を防止でき、ガラス基板３の損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】非破壊検査方法等において、標準試料として必要な水素脆化チタン管を容易に作製する方法およびその装置を提供する。
【解決手段】本発明の水素脆化チタン管の作製方法は、チタン管の表面を溶液中で金属に擦り付けることを特徴とし、また作製装置は、溶液を入れる容器、該容器内に配置され、チタン管を挿入する孔を有する金属製バッフル、該金属製バッフルの孔に挿入されたチタン管の一端を保持し、回転させるための回転手段からなり、該金属製バッフルの孔の直径がチタン管外径より０．０４〜２ｍｍ大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 減圧手段、脱気手段を備えたエッチング方法及び装置では、しくみが大掛かりとなり、装置が大型化し、さらにはコスト高となる。
【解決手段】 多孔質体を超音波を印加しながらエッチングする方法において、印加する超音波を減衰材料を用いて、容易かつ継続的な方法で制御することにより、多孔質体を均一にエッチングすることができる装置を提供する。 （もっと読む）