【課題】
半導体製造工場やフラットパネルディスプレイ製造工場の使用側において、アルミニウムのエッチング液の硝酸濃度、水分濃度、燐酸濃度および酢酸濃度が一定に調合できるエッチング液調合装置を提供すること。
【解決手段】
調合槽内のエッチング液を純水で希釈した希釈液の導電率を検出する導電率計またはエッチング液の硝酸濃度を検出する吸光光度計と、エッチング液の水分濃度を検出する吸光光度計と、エッチング液の燐酸濃度を検出する吸光光度計または密度計と、硝酸濃度を検出する導電率計の導電率値と水分濃度を検出する吸光光度計の吸光度値と燐酸濃度を検出する吸光光度計の吸光度値または密度計の密度値とから多成分演算法によりエッチング液の成分濃度を演算する成分濃度演算手段と、単酸原液、混酸原液及び純水の少なくとも一つを調合槽に補給する液補給手段とを備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 チタンを主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層とを含んでなる積層体中のチタンを主成分とする層及びアルミニウムを主成分とする層の両層を所望のエッチング速度で安定的にエッチングできる方法を提供する。
【解決手段】 珪フッ化水素酸、珪フッ化水素酸塩及び水を含有するエッチング液によりチタンを主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層とを含んでなる積層体中のチタンを主成分とする層及びアルミニウムを主成分とする層を同時にエッチングする方法であって、エッチングの進行に伴い、エッチングされたチタン及びアルミニウムの量に対して当量以上の珪フッ化水素酸を補充することを特徴とするエッチング方法。 （もっと読む）

【課題】電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチングに際し、前処理によって良好なエッチング性を確保する。
【解決手段】エッチング処理に先立って、表面にＡｌ−Ｎｉ系析出物を有するアルミニウム材を次亜リン酸または／および次亜リン酸塩を含む水溶液中で浸漬処理する。次亜リン酸はＮｉを触媒とし還元作用を生じ、アルミニウム材表面では酸化反応が起こらず、余分な皮膜は成長させる。この結果、アルミニウム材表面に形成されている酸化皮膜を前記水溶液で効果的に除去できるとともに、水和物の成長やアルミニウム素地の溶解、Ａｌ−Ｎｉ系析出物の脱落が起こらず、後処理工程のエッチング処理において優れたエッチング性が得られる。 （もっと読む）

【課題】 チタンを主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層とを含んでなる積層体中のチタンを主成分とする層及びアルミニウムを主成分とする層をエッチングするのに好適なエッチング液及びエッチング方法を提供する。
【解決手段】 珪フッ化水素酸、水、及び珪フッ化水素酸塩を含有するエッチング液。及び、珪フッ化水素酸、水、及び珪フッ化水素酸塩を含有するエッチング液により、チタンを主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層とを含んでなる積層体を一括エッチングする方法。チタンを主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層とを含んでなる積層体中のチタンを主成分とする層及びアルミニウムを主成分とする層を珪フッ化水素酸、水、及び珪フッ化水素酸塩を含有することを特徴とするエッチング液により同時にエッチングする方法。 （もっと読む）

【課題】ほぼ同じ酸化皮膜を有するほぼ同じサイズのアルミニウムまたはその合金部材を溶解処理する際に、処理液単位量当たりの有効処理面積が大幅に向上したアルミニウム又はアルミニウム合金溶解除去処理方法および処理液を提供する。
【解決手段】酸化皮膜を有するアルミニウム又はアルミニウム合金部材の、アルミニウム又はアルミニウム合金部のみを除去する方法であって、少なくとも、
（１）アルミニウムよりもイオン化傾向の低い元素単体、または該元素を有する化合物、および
（２）上記（１）の化合物と酸化化合物を形成しうる酸、
を含む処理液を用いて、アルミニウム又はアルミニウム合金部のみを除去することを特徴とする、処理方法。 （もっと読む）

【課題】貫通孔が形成された金属製の有孔板であって、開孔形状が角部を含んでいる貫通孔が精度良く形成された有孔板を提供する。
【解決手段】有孔板１０は、第１面２０ａおよび前記第１面とは反対側の第２面２０ｂを有する金属板２０を備える。第１面側から、線状に延びる第１の溝３２が形成され、第２面側から、線状に延びる第２の溝３４が形成されている。第１の溝および第２の溝は、金属板の板面の法線に沿った方向から見た場合に交差する位置関係にある。第１の溝と第２の溝とは交差する部分において互いに通じており、これらの第１の溝と第２の溝とによって金属板を貫通する貫通孔３０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム膜のウェットエッチングは、等方性のエッチング特性が知られているが、ウエハを高速回転させているため、回転に伴う異方性が現れるため、ウエハ外周部の配線形状を管理することが困難であった。
【解決手段】アルミニウム膜のウエット・エッチングにおいて、フルコーンノズルを２本搭載し、１本のノズルをウエハ全面へ薬液が塗布可能な位置に設置し、もう１本のノズルを薬液濃度が薄くなるウエハ中心部（ウエハ直近の位置）に設置し同時に薬液を塗布することにより、回転数依存が少なくエッチングレート均一性を向上することが可能とするものである。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム膜やアルミニウム合金膜などの金属膜を制御性よく、かつ、レジスト滲みの発生を抑制、防止しつつエッチングし、意図するテーパー形状と、優れた平坦性を有する金属膜を得ることができるようにする。
【解決手段】リン酸、硝酸、有機酸塩を含有する水溶液を、基板上の金属膜をエッチングするためのエッチング液組成物として用いる。
前記有機酸塩として、脂肪族モノカルボン酸、脂肪族ポリカルボン酸、脂肪族オキシカルボン酸、芳香族モノカルボン酸、芳香族ポリカルボン酸、芳香族オキシカルボン酸からなる群より選ばれる少なくとも１種の、アンモニウム塩、アミン塩、第四級アンモニウム塩、アルカリ金属塩からなる群より選ばれる少なくとも１種を用いる。
また、前記有機酸塩の濃度を、０．１〜２０重量％の範囲とする。
また、本発明のエッチング液組成物を、前記金属膜がアルミニウムまたはアルミニウム合金である場合に用いる。 （もっと読む）

【課題】低抵抗値のアルミニウム系導電性薄膜、あるいは該アルミニウム系導電性薄膜やモリブデン系導電性薄膜を備えた積層導電性薄膜を、効率よくエッチングして、良好な順テーパ形状の側面が形成されるようにする。
【解決手段】アルミニウム系導電性薄膜１２と、モリブデン系導電性薄膜１１，１３を備えた積層導電性薄膜１５を、(ａ)リン酸と、(ｂ)硝酸塩と、(ｃ)有機酸と、(ｄ)水とを含有するエッチング液、またはさらに硝酸を含有するエッチング液と接触させる。
硝酸塩としては、硝酸のアンモニウム塩、アミン塩、第４級アンモニウム塩、アルカリ金属塩などを用いる。
また、有機酸としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、マレイン酸、フマル酸、安息香酸、フタル酸、トリメリット酸、ヒドロキシ酢酸、乳酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸などを用いる。 （もっと読む）

【課題】処理されたアルミニウム合金板の材料特性、表面特性及び耐食性に優れ、更に処理効率の良好な連続処理方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム合金板に熱処理と表面処理とを含む一連の連続処理を施す方法であって、溶体化処理後にアルミニウム合金板を４０〜１３０℃に冷却する工程と、冷却したアルミニウム合金板をアルカリ溶液で処理することによって、１０ｍｇ／ｍ^２以上のエッチング量でアルカリエッチングを施す工程と、アルカリエッチングを施したアルミニウム合金板を酸溶液で処理することによって、１０ｍｇ／ｍ^２以上のエッチング量で酸エッチングを施す工程と、酸エッチングを施したアルミニウム合金板を５０℃以上で熱処理する工程と、を含むアルミニウム合金板の連続処理方法。 （もっと読む）