【課題】 紫外線感受材料として酸化亜鉛を使用して、なおかつ従来に比べて紫外線に対する感度が高い、新規な紫外線検出素子と、それを用いた紫外線検出方法とを提供する。
【解決手段】 紫外線検出素子１は、単結晶、または結晶軸配向性を有する多結晶の酸化亜鉛の、結晶のａ面を、紫外線が照射される受光面１１ａとした。また上記素子は、酸化亜鉛の結晶の圧電軸であるｃ軸の方向に電場を印加する電極１２、１３を有しているのが好ましい。 紫外線検出方法は、上記電極１２、１３に、酸化亜鉛の結晶の、圧電効果における反共振周波数に相当する周波数の電場を印加しつつ、そのインピーダンスの変化を測定する。 （もっと読む）

【目的】 段差表面の被覆性に優れ、膜厚ばらつきが小さいイリジウム薄膜、酸化イリジウム薄膜を堆積する薄膜形成方法、並びにこれらイリジウム薄膜又は酸化イリジウム薄膜を用いる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【構成】 Ｉｒ（ＤＰＭ）₃を原料に用いた化学気相成長法により、イリジウム薄膜又は酸化イリジウム薄膜を成膜する。表面凹凸がある下地基板上にも、被覆性に優れたイリジウム薄膜及び酸化イリジウム薄膜を形成することができる。また、膜厚のばらつきを小さく抑えることができる。 （もっと読む）

【目的】 水熱合成法による単結晶の育成に際し、種結晶の溶解を抑制し育成効率を向上したＺｎＯ単結晶の育成方法を提供する。
【構成】 ＺｎＯを溶解させたアルカリ溶液を育成容器に注入し、水熱条件下でＺｎＯ単結晶を育成する。
【効果】 種結晶が育成中に溶解せず、歩留り良くＺｎＯ単結晶を育成できる。小さな種結晶を用いることが可能となる。 （もっと読む）

【構成】 酸化亜鉛を還元性雰囲気中、高温加熱域で加熱して昇華させ、ついで該還元性気体を高温加熱域よりも低温の基体に接触させて該気体上に透明酸化亜鉛を析出させる方法に於て、該基体を回転させる。
【効果】 簡単な装置と簡単な操作で、肉厚で比較的大きく、均質な透明酸化亜鉛の結晶体を高速度で製造することができる。また、高純度の透明酸化亜鉛が得られる一方、ドーピング剤を選ぶことによって所望の元素をドーピングすることもでき、任意に特性を変えることができる。 （もっと読む）