【課題】 この発明は、テーパノッチの利点を十分に活かしながら、テーパノッチの欠点である流体力の発生を軽減することを目的にする。
【解決手段】 スプール１に環状溝２を形成し、この環状溝２の側壁にテーパノッチ３を形成するとともに、このテーパノッチ３のテーパ面３ａに流体力軽減用凹部４を形成している。このように流体力軽減用凹部４を形成することによって、例えば、図２，３のグラフも明らかなように、開度９０％における流量を得るのに、図２の第１実施形態では、パイロット圧が低い特性線ａとパイロット圧が高い特性線ｂとの間のパイロット圧の差が小さくなり、図３の従来例では、パイロット圧の差が大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】特に、大型の真空用ゲート弁において、複数個のシリンダ装置を使用して弁体を移動させる場合に、これらシリンダ装置の同期のずれを確実に防止し、弁体を長期に亘り円滑に移動させることができるとともに、耐久性も良好で、開閉の動作時間も短くすることができる真空用ゲート弁における弁体の開閉方法を提供する。
【解決手段】複数個のシリンダ装置６，８を有し、該シリンダ装置６，８の駆動によりゲート開口部１２を開放または遮断する方向に弁体１０を直線的に往復移動させることにより、前記ゲート開口部１２を開閉するように構成した真空用ゲート弁２０における弁体１０の開閉方法であって、第１行程を一方のシリンダ装置８でゲート弁の開閉操作を行い、閉栓近傍及び開栓近傍の第２行程を両シリンダ装置６,８で操作する。 （もっと読む）

マイクロボールバルブを含む微小流体デバイスが提供される。このマイクロボールバルブは、微小流体デバイスを通じて流れる流体を防ぐか、または中断し得る。この微小流体デバイスは、基板層、およびこのマイクロボールバルブを含む微小流体経路を含み得る。この微小流体デバイスを用いて流体を操作するための方法が提供される。本発明は、一方向性マイクロボールバルブを含む微小流体デバイスが提供する。この一方向性マイクロボールバルブは、微小流体デバイスの通路内に位置され得、そして微小流体デバイス中またはその上に形成される微小流体特徴間の流体流れを制御し得る。
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緊急遮断弁（１０４）は加圧流体を用いて作動させる。圧力送信機（２００）は加圧流体源（１０６）に作動自在に連結可能であるとともに、緊急遮断弁の診断に関する指令を受信するように構成されている。圧力送信機（２００）は、選択された期間、加圧流体源（１０６）に関する圧力の読みを応答的に取り込む。ある実施形態では、取り込まれたデータに関する診断を圧力送信機（２００）が実行する。他の実施形態では、取り込まれたデータは解析のため外部装置に送られる。
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可変容量形コンプレッサを制御するためのデバイスが、開示される。このデバイスは、マイクロバルブ作動制御バルブを含む。流体流量を制御するためのマイクロバルブ・デバイス、およびマイクロバルブとして使用するためのマイクロ・スプール・バルブも、開示される。
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