【課題】炉体の小型化と熱効率の向上を実現した回転式熱処理炉を提供する。
【解決手段】閉鎖された円筒状の炉体１と、当該炉体１の中心に垂直姿勢で設けられて間欠的に回転させられる回転軸２と、当該回転軸２の周方向の複数位置に設けられて回転軸２の回転とともに炉体１内を間欠的に旋回移動する棚板２５と、周方向の一箇所で炉体１に設けられ、対面位置に至った棚板２５から炉体１外へワークＷを搬出するとともに新たなワークＷを炉体１外から棚板２５へ搬入するための開口３と、当該開口３を開閉するための扉体４１〜４４と、開口３を除く炉体１の内周に沿って配設された加熱ヒータ５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】安価な支持部材を使用して、ワークが大型化しても支持部材とワークの接触面積を増やすことなくワークの外周部でワークの底面を確実に支持することが可能なワーク積載装置を提供する。
【解決手段】ワーク積載装置１０は、複数の支柱、および支持部材を含む。複数の支柱は、矩形の板状体であるワークの底面に当接する複数の支持部材を、上下方向に沿って等間隔に配置された複数の支持位置の各々で保持するものであり、各々が水平面内でワークＷより大きい矩形状の領域Ｒの対向する１対の辺の各々の一端および他端にそれぞれ配置される２本の第１の支柱２１Ａ，２１Ｂおよび２本の第２の支柱２２Ａ，２２Ｂからなる。支持部材は、第１の支持部材３１Ａ，３１Ｂおよび第２の支持部材３２Ａ，３２Ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セラミック基板焼成装置及びこれを利用したセラミック基板焼成方法に関する。
【解決手段】本発明によると、セラミック基板を装着するための焼成セッターと、上記セラミック基板の上部に位置する焼成加圧板と、上記焼成加圧板と上記セラミック基板との間に一定間隔を置くように上記焼成セッターと上記焼成加圧板との間に配置され、上記セラミック基板より焼成時の厚さ収縮率が大きいセラミック支柱と、を含むセラミック基板焼成装置が提供される。本発明によると、セラミック基板より収縮率が大きいセラミック支柱と焼成加圧板を用いて大型セラミック基板を加圧焼成することにより、反りを生じさせることなく焼成することができる。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハの表裏に電極を設ける際の焼成工程に利用される熱処理装置を改良するものであり、焼成に際して理想的な温度プロファイルを実現する。
【解決手段】熱処理部を有しており、熱処理部は、断熱筐体内に棚状部材（設置部及び熱源部）１１が設けられたものである。棚状部材１１は、７段の棚部材１６ａ〜１６ｇを有し、棚部材１６ｂの内部は、上下のユニット室２５，２６に仕切られている。上下のユニット室２５，２６には、それぞれ９本の横列用ハロゲンランプ２７と、３６本の縦列用ハロゲンランプ２８が縦横格子状に配列されていて熱源ユニット３５が構成されている。各熱源ユニット３５の照度は、個々に制御され、上下の熱源ユニット群４７の照度を異ならせたり、一つの段の上側の熱源ユニット３５と、他の段の上側の熱源ユニット３５の照度に変化を付けることもできる。また点灯中に照度を変えることもできる。 （もっと読む）

【課題】 １２００℃以上といった高温環境を与える加熱炉内において、被加熱材の下に介挿されて使用されるスキッドのような大なる荷重を支える炉内用耐荷重支持部材を提供する。
【解決手段】 高温環境を与える加熱炉内において大なる荷重を支える加熱炉用Ｃｏ被覆耐荷重支持部材である。質量％で、Ｃｒ：１５〜４５％、Ｗ：１３〜２０％、残部Ｃｏ及び不可避的不純物を含む合金からなる。 （もっと読む）

【課題】さや内のセラミック成形品を均一に焼成することができる焼成炉を提供する。
【解決手段】焼成炉１では、炉床板３の上面３ａにおいて、下方に窪む窪み面Ｋが炉床板３の長手方向に沿って延在している。この窪み面Ｋにより、炉床板３の中央部分からヒータ５までの距離と炉床板３の端部からヒータ５までの距離との差が小さくなる。したがって、焼成炉１では、ヒータ５の輻射熱の伝わり方のばらつきを緩和でき、さやＳ内のセラミック成形品を均一に焼成することができる。また、炉床板３上で搬送されるさやＳには、自重によって窪み面Ｋの窪み中心Ｋａに向かう力が常に作用する。したがって、炉床板３上で搬送されるさやＳの蛇行の抑制が図られる。これにより、さやＳ内のセラミック成形品をより均一に焼成することが可能となる。また、さやＳが炉２の内壁や他のさやＳに衝突することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】金属リングに対して熱処理を施す際、該金属リングに歪みが発生する懸念を払拭するとともに、該金属リングから奪取される熱量を抑制する。
【解決手段】保持軸１４ａ〜１４ｊに、金属リングＲ１、Ｒ２に臨む載置用突起部３０と、隣接する載置用突起部３０、３０同士の間に介在する堰止用突起部３２とを設ける。この中、堰止用突起部３２は、金属リングＲ１、Ｒ２を直径方向内方に押圧する。このため、金属リングＲ１、Ｒ２は、拡張力が生じた状態で堰止用突起部３２に押圧保持される。一方、載置用突起部３０は、金属リングＲ１、Ｒ２の下端面に当接し、これにより、該金属リングＲ１、Ｒ２が鉛直下方に落下することを防止する。 （もっと読む）

【課題】通気性が高く、カスタマイズでき、強固に一体を成した熱処理設備用の一体型多層式焼成載置装置の提供する。
【解決手段】複数本の直立棒２、複数本のＸ方向横棒３１、複数本のＹ方向横棒３２と少なくとも２つのセッター４を含み、前記各直立棒２は外側壁面に相互に垂直なＸ方向孔２１とＹ方向孔２２が相互の間にそれぞれ設けられ、前記複数本のＸ方向横棒３１と前記複数本のＹ方向横棒３２は前記Ｘ方向孔２１と前記Ｙ方向孔２２に固定して設置され、前記直立棒２は前記Ｘ方向横棒３１と前記Ｙ方向横棒３２を介して連結され、しっかりと一体として組み立てられ、前記セッター４は前記直立棒２の間の前記複数本のＸ方向横棒３１が構成する多層水平面上に収容でき、層間距離を連続処理炉内の縦方向と横方向の通気性の要求に基づいて設計できる、通気性が高く、カスタマイズでき、強固に一体を成した実用的で進歩性を備えた焼成載置装置。 （もっと読む）

【課題】熱源の省エネルギ化が可能で、スペース効率が高く、被処理物の搬送効率が高く、設備コストが低く、熱損失が小さいバッチ式熱処理炉を提供することを課題とする。
【解決手段】バッチ式熱処理炉１は、低温被処理物Ｗｆが載置される低温部３００ｆと高温被処理物Ｗｒが載置される高温部３００ｒとを有する載置部３０と、低温部３００ｆと高温部３００ｒとを仕切って載置部３０に立設される仕切部３１と、を有する台車３と、台車３が出入り可能な熱処理室５００を有し、熱処理室５００に台車３が収容されることにより、熱処理室５００に、低温被処理物Ｗｆに熱処理を施す低温室５００ｆと、高温被処理物Ｗｒに熱処理を施す高温室５００ｒと、が仕切部３１を境に区画されるハウジング５と、を備えてなる。低温室５００ｆの熱源と高温室５００ｒの熱源との少なくとも一部は、熱媒体となるガスが流通することにより、共用化される。 （もっと読む）

【課題】本発明の一実施例によると、本発明は、内部に断熱材が内入された炉本体と、上記炉本体の内部に配置され、セラミック成形体が上部に積載された１つ以上のセッターと、上記セラミック成形体に熱を供給する発熱体と、上記炉本体の内部が均一な温度勾配を維持するように上記セッターの下部または上記発熱体の周辺に配置されるガス供給装置とを含むセラミック製品用焼成炉及びこれを利用した焼成方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施例によると、焼成炉内部の温度偏差を最小化することによって焼成時に温度勾配の差によるセラミック製品の特性の変化を防止することができるセラミック製品用焼成炉及びこれを利用した焼成方法を提供することができる。 （もっと読む）