【課題】 より少ない数の基準原器を用いて計測誤差を較正し、高精度に被計測面の形状を計測する。
【解決手段】 被計測面からの光と参照光との干渉により被計測面形状を以下のように計測する。マークが設けられている基準原器について被計測面形状の回転対称成分データを取得する。
基準原器を計測対象として基準原器の光軸回りの回転角度を変えて複数回、基準原器の被計測面を計測する。回転角度毎の計測データを用いて基準原器の被計測面形状の回転非対称成分を算出し、回転対称成分と回転非対称成分とを回転角度毎の計測データから差し引いて計測装置による被計測面の法線方向の計測誤差を算出する。回転角度毎の計測データに含まれる前記マークの位置に関するデータを用いて計測装置による被計測面の接線方向の計測誤差を算出する。被計測物の被計測面を計測する。被計測物の被計測面の計測データを算出された各計測誤差を用いて較正する。 （もっと読む）

【課題】大量のスループットを可能にする高速プロセスを有する光学検査システムを提供する。
【解決手段】レーザ光源１０１からの光ビーム１５１は、活性領域を有し、複数の移動レンズを活性領域に選択的に生成するようにＲＦ入力信号に対して応答する移動レンズ音響光学デバイス１０４に適用される。該音響光学デバイスは、生成された移動レンズの各々の焦点のそれぞれで、光ビームを受け、複数のフライングスポットビームを生成するように動作する。該ポットビームは半導体ウェハ１０８を走査する。使用可能な走査データを生成するために、複数の検出器セクションを有する光検出器ユニット１１０が使用され、各検出器セクションは、複数の光検出器と、複数の光検出器からの入力を並列に受けるように動作する少なくとも１つのマルチステージ格納デバイスとを有する。格納デバイスの各々に格納された情報は、複数のステージから同時に連続して読み出される。 （もっと読む）

【課題】計測対象物を撮像した画像に固有の特徴量情報に基づいて計測条件を特定することができる画像計測装置及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】計測対象物が載置されるステージ上に照射した光の透過光又は反射光を撮像素子に結像させて得られる画像に基づいて、計測対象物の形状を計測する。計測対象物の計測条件に関する情報に対応付けて、該計測対象物の形状に固有の特徴量情報を記憶しておく。撮像素子にて結像して得られた計測対象物の画像を視野の範囲内で表示し、計測対象物の画像に基づいて特徴量情報を抽出する。抽出された特徴量情報と略一致する特徴量情報が記憶されているか否かを判断し、略一致する特徴量情報が記憶されていると判断した場合、該特徴量情報に対応付けて記憶されている計測条件に関する情報に基づいて計測対象物の形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】物体の位置姿勢を少ない計算時間で、かつ、正確に推定すること。
【解決手段】本発明に係るロボット装置１は、作業環境内に存在する物体との距離を計測してレンジデータを生成する距離センサ１０１と、生成したレンジデータを形状データ１０３と照合することによって、物体の形状と位置姿勢を推定する初期照合部１０２と、物体を撮像した画像データを生成するカメラ部１０４と、画像データの特徴を抽出する特徴抽出部１０５と、初期照合部１０２により推定した物体の形状と位置姿勢を初期値として、特徴抽出部１０５で抽出した画像データの特徴と、物体の形状と位置姿勢との誤差を評価関数とした最小化問題を解くことで、物体の位置姿勢を推定する姿勢推定部１０６と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】ＳＷＴプロセスにおいて、パターン形状を高精度で検査可能なパターン形状検査方法、及び半導体装置の品質を向上可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に周期的に形成された第１のパターンの側壁を被覆する側壁部よりなる第２のパターンの断面形状を検査するパターン形状検査方法であって、第２のパターンが形成された基板に入射光が回折反射される反射光の振幅比スペクトル及び位相差スペクトルよりなる測定データを得る測定ステップＳ２１と、前記側壁部の断面形状を決定する形状パラメータが異なる複数の断面形状モデルについて、計算上の振幅比スペクトル及び位相差スペクトルよりなる複数の計算データを計算し、計算データが第２のパターンの測定データと最もマッチングするように形状パラメータを決定することによって、第２のパターンの断面形状を決定する決定ステップＳ２２〜Ｓ２５とを含むことを特徴とするパターン形状検査方法。 （もっと読む）

【課題】フィルム表面形状を定量的に測定する場合に、フィルムの固定方法などによる測定データへの影響を最小限に抑制することのできるフィルム表面形状測定用固定治具とその測定方法を提供すること。
【解決手段】フィルム表面の形状又はフィルム表面に形成された構造物の形状を測定する際に使用するフィルム固定治具であって、フィルム表面の測定領域の周囲部をフィルムの上下両側方向から挟持する機構、及びフィルムのＸＹ平面の両外側方向に引張る機構を有し、好ましくはフィルムの上下両側方向から挟持する機構が、平行平板の固定冶具でフィルムの上下両側から挟持するものであるフィルム表面形状測定用固定冶具。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状を短時間で測定する。
【解決手段】本発明は、光源から発する光を物体光と参照光とに分離し、物体光と参照光との光路差によって得られる干渉縞を解析する干渉計を用いて自由曲面を有する被検物の表面形状を測定する方法であって、参照面を参照光の光軸上の第１位置に固定して、物体光を被検物に照射し、複数の第１干渉縞を取得する第１工程と、参照面を第１位置と異なる第２位置に固定して、複数の第２干渉縞を取得する第２工程と、参照面を第１位置及び第２位置と異なる第３位置に固定して、複数の第３干渉縞を取得する第３工程と、第１干渉縞と、第２干渉縞と、第３干渉縞とを用いて干渉縞の位相解析を行う位相解析工程Ｓ３とを備え、第１工程、第２工程、及び第３工程の少なくとも１つにおいて、被検物の表面全体を走査するように干渉計が被検物に対して相対移動し、所定距離移動するごとに断続的に複数の干渉縞が取得される。 （もっと読む）

【課題】曲面部材計測システム及び方法を提供する。
【解決手段】十字状レーザービーム計測器２０８の移動を制御する移動制御部２０６と、境界計測移動方向を決定する境界追跡制御部２０２と、移動制御部２０６により制御されるガントリの位置情報及び十字状レーザービーム計測器２０８から出力される計測値を用いて曲面部材の境界面に対する３次元計測データを算出する境界計測データ生成部２０４と、曲面部材内で内部計測のための両軸の経路を生成する内部経路生成部２１０と、内部計測移動方向を決定する内部高さ追跡制御部２１２と、移動制御部２０６により制御されるガントリの位置情報及び十字状レーザービーム計測器から出力される計測値を用いて曲面部材の内部に対する３次元計測データを算出する内部計測データ生成部２１４と、境界計測データと内部計測データを用いて曲面部材の３次元形状データを生成する３次元曲面生成部とを含む。 （もっと読む）

【課題】干渉計の複雑化、コスト高を招くことなく、短時間で非球面形状の評価を精度良く行うことのできる非球面レンズの形状評価方法を提案すること。
【解決手段】非球面レンズの形状評価システムＳは、平行測定光の一部の光成分を参照面５ａに照射し、残りの光成分をヌルレンズ６を介して非球面レンズ７の被検非球面７ａに照射する。被検非球面７ａで反射してヌルレンズ６を介して戻る戻り測定光と、参照面５ａで反射して戻る戻り参照光とを干渉させて干渉縞を形成する。干渉縞に基づき被検非球面７ａの形状を評価する。ヌルレンズ６は単レンズからなり、その第１レンズ面６ａが被検非球面７ａの規格非球面と略相似の非球面であり、その第２レンズ面６ｂが当該ヌルレンズのレンズ光軸６ｃに垂直な平面である。 （もっと読む）

【課題】表面を透明膜で覆われた測定対象物の透明膜の表面高さ、透明膜の裏面高さ、透明膜の膜厚、及び測定対象物の表面形状を求める。
【解決手段】参照面を光の進行方向に対して任意角度の斜め傾斜姿勢で配備して測定対象面と参照面から同一光路を戻る反射光により干渉縞を発生させる。干渉縞の各画素の強度値をＣＣＤカメラで１回撮像し、ＣＰＵは算出対象画素毎とその近傍画素の強度値において、当該画素とその近傍画素の干渉縞波形の直流成分、正弦成分の振幅、及び余弦成分が一定であると仮定することで、干渉縞波形の直流成分、正弦成分の振幅、及び余弦成分の振幅を求めて測定対象物のパラメータおよび装置のパラメータに基づいて当該画素の光の強度値を参照面からの参照光の強度値と測定対象物からの物体光の強度値に分離する。両強度値から未知パラメータである透明膜の表面高さ、裏面高さ、膜厚、及び測定対象物の表面形状を求める。 （もっと読む）