【課題】一回の投影で多くのパターン光情報を得ることができ、高速かつ高精度の三次元情報を得ることができる三次元計測装置および三次元計測方法ならびに三次元計測プログラムを提供する。
【解決手段】本発明の三次元計測装置は、計測対象物Ａにパターン光を投影する投影手段としてのパターン投影機１と、パターン光が投影された計測対象物Ａを撮像して画像を撮像する撮像手段としてのカメラ２と、このカメラ２により撮像した画像のデータを処理するコンピュータ３とから構成される。コンピュータ３により、撮像された画像から検出された投影パターン光の強度値から投影パターン光を形成している個別パターン光の方向角が算出されるとともに強度分布が分割され、分割されたパターンの各計測点における位相値から奥行き距離が算出されるので、精度の高い三次元情報を得ることができる。 （もっと読む）

ガスタービンエンジンのベーンリング（８）のスロート領域（１０）などの対象を反射によって測定する改良された方法および装置（２０）は、反射の質を向上させ、それによって質の悪い反射に関連した問題を軽減させるために、改良された照明配置（３０）を使用する。質の悪い反射は、像処理に不利な影響を与える可能性があり、従って測定の正確さを低減させる可能性がある。
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【課題】
表示されたプリント基板のレイアウト上で印刷はんだされた状態が基準のデータに対してどの程度差があるか定量的に一瞥して分布或いは傾向が認識できるようにすることが目的である。
【課題を解決するための手段】
差演算手段９により、測定された印刷はんだ状態を表す、印刷はんだの高さ、面積又は体積を、予め記憶した基準との差を偏差値として求め、階調割振手段１０により、偏差値を表示上の階調で表現し、各印刷はんだ箇所毎に階調表示することで分布状態が認識できる構成にし、かつ階調表示がどの程度の偏差値かの目安となる階調スケールを表示する構成にした。さらに、より大きな目で全体の傾向が認識できるようにレイアウトを複数の領域に分けて領域毎に偏差値の平均をとり、その平均値を階調表示する構成にした。
【解決手段】 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度で、パターン欠陥の分類及び定量化を行うパターン欠陥分類方法およびパターン欠陥分類装置を提供する。
【解決手段】マスク（１）の製造に使用された設計データの画像と検査対象マスクの画像とを取得し、検査対象マスクのパターンの位置と検査範囲を設定し（２３）、検査範囲内で設計データ画像に対するマスク画像の面積比を算出し（２４）、検査対象マスクの画像のパターン円形度を算出し（２７）、設計データの画像と検査対象マスクの画像の各パターンの重心座標をそれぞれ算出する（３３）ことによってマスクの欠陥の種類を判断し分類する方法、およびかかる方法を実施する欠陥分類装置。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありつつも、実際の液滴を１滴ごとに高速に計測可能な液滴計測装置および液滴計測手段を提供すること。
【解決手段】 液滴１８０の飛翔経路にレーザ光１３０を発生するレーザ光発生部１２０と、レーザ光１３０の強度を電気信号に変換する光電変換部１５０と、該電気信号を処理する信号処理部１６０とを備え、該信号処理部１６０は、前記液滴が前記レーザ光を通過するときの前記光電変換部１５０の信号強度と該液滴の重量との関係式を記憶しており、該関係式に基づいて、前記光電変換部１５０から入力された信号強度に対応する液滴の重量を計算する。 （もっと読む）

基板上に堆積された物質の画像を分析する方法であって、画像は複数の画素を含み、この方法は、画像内で興味の対象となる領域を規定するステップと、第１および第２の垂直な軸に、興味の対象となる領域を関連付けるステップとを含み、画像内の１組の画素は、第１の軸に沿って位置し、この方法はさらに、興味の対象となる領域内の画素を、第１の軸にアライメントされかつ第２の軸に沿って突出する一次元アレイに変換するステップと、一次元アレイに少なくとも１つのしきい値を適用するステップとを含み、しきい値は、予め定められた限度に少なくとも部分的に基づく。
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試料の面積またはコンフルエンスは、試料と試料の周りのバックグラウンドに関する定量的位相データを得ることにより決定される。試料の境界は、位相データ測定値のヒストグラムを作成し、ヒストグラムの導関数を取って、それにより最大スロープの点を決定することにより、定量的位相データから決定される。境界に適用可能なデータ値を求めるために、既定のデータ値を上回るか下回るデータ値は試料内にあると見なすように導関数上の最もよく適合する線が使用される。
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【課題】 磁気テープの耐久性を容易に、しかも定量的に測定することが可能な磁気テープ検査方法を提供する。
【解決手段】 先ず、検査対象の磁気テープを複数の磁気ヘッドのテープ摺動面に摺動させる。その後、各磁気ヘッドのテープ摺動面内の少なくとも一部の領域を撮影し、撮影された画像を構成する画素のうち、磁気テープからの粉落ちによって磁気ヘッドに付着した粉末が写った画素の割合を摺動面粉落ち率として求めるとともに、各磁気ヘッドのテープ摺動面外の少なくとも一部の領域を撮影し、撮影された画像を構成する画素のうち、磁気テープからの粉落ちによって磁気ヘッドに付着した粉末が写った画素の割合を非摺動面粉落ち率として求める。そして、摺動面粉落ち率が最も大きかった磁気ヘッドの摺動面粉落ち率と、全磁気ヘッドの非摺動面粉落ち率の平均値とに基づいて、磁気テープの良否を判別する。 （もっと読む）