【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性が良好で、また、エッチング装置内のプラズマの発光状態が正常かどうかを容易にモニタできる安価な分光器を提供する。
【解決手段】固定形の回折格子３０で分光された分光光に対応した複数のスリットを有する固定形のスリット部３を設置するとともに、特定波長の分光光のみ透過可能なマスクをスリット部３の入射側前面に設置し、さらに複数の前記分光光のすべての検出が可能な大きさを有する検出器を備える。また、回折格子で反射されたゼロ次光を検出するゼロ次光検出器を設置することにより、ゼロ次光の信号出力がプラズマの発光状態と対応しているという性質を利用して、取得したゼロ次光の信号出力から、プラズマの発光状態をモニタする。 （もっと読む）

【課題】分光光度計において、良好なＳ／Ｎ比や測光値の広いダイナミックレンジを実現することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る分光光度計１００は、光源１と、集光ミラー２と、マスク３を有するマスク機構４と、回折格子１０および駆動モータ１１を有する分光器７と、光検知手段２６と、駆動モータ５（マスク移動手段）と、を備える。マスク機構４におけるマスク３を移動させ、集光ミラー２の反射面に入射する光の面積を調節することで、回折格子１０の回折面に入射する光の面積を調節し、良好なＳ／Ｎ比や測光値の広いダイナミックレンジを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光モジュール１では、分光部４に進行する光Ｌ１が光通過孔５０を通過するに際し、分光部４側に向かって先細りとなる光入射側部５１を抜け、光入射側部５１の底面５１ｂと対向するように形成された光出射側部５２に入射した光のみが光出射開口５２ａから出射される。このため、光入射側部５１の側面５１ｃや底面５１ｂに入射した迷光Ｍは、光出射側部５２と反対側に反射されるので、光出射側部５２に迷光が入射することを抑制することができる。従って、分光モジュール１の信頼性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】サイズと、重量と、コストとに関して、大幅に簡素化された、気体の検出用の３チャネルの分光計を提供する。
【解決手段】３チャネル分光計１００は、入射放射線１０１を受け取って、入射放射線の第１の部分と、第２の部分と、第３の部分とを透過するビームスプリッタ要素１０５と、第１の部分を受け取って、第１の波長の範囲の第１のスリット出力放射線を透過する第１のスリットと、第２の部分を受け取って、第２の波長の範囲の第２のスリット出力放射線を透過する第２のスリットと、入射放射線の第３の部分を受け取って、第３の波長の範囲の第３のスリット出力放射線を透過する第３のスリットと、第１と、第２と、第３のスリット出力放射線を受け取って、平行にする共通の光学フォーム１１１と、共通の光学フォームから、平行にされた第１と、第２と、第３のスリット出力放射線を受け取って、反射する分散要素１１３とを含む。 （もっと読む）

【課題】キセノンフラッシュランプを光源とし、測定波長範囲の各波長で異なるパルス発光時間を設定可能とし、取得信号がＡＤ変換回路において飽和しないように積算時間を設定可能な分光光度計を実現する。
【解決手段】キセノンフラッシュランプ１からの光の波長を選択するとともに、その選択した波長に応じた積算時間をＡＤ変換機回路１３に設定する。発光強度が強い波長に対しては、ＡＤ変換回路１３が飽和しない積算時間を設定する。キセノンフラッシュランプを光源１とし、測定波長範囲の各波長において異なるパルス発光時間を設定可能とし、取得信号がＡＤ変換回路１３において飽和しないように積算時間を設定可能とし、良好なＳ／Ｎ比であり、かつＡＤ変換回路１３の飽和を回避可能な分光光度計及び分光方法を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】本願の目的は、優れた波長分解能を有する光処理デバイスを提供することである。
【解決手段】複数の光ファイバを含むビーム放出部分と、複数の光ファイバのうちの１つの光ファイバから放出されたビームを分散させる分散要素と、分散要素を通過するビームを合焦する集光レンズと、ビームが複数の光ファイバのうちの他の光ファイバの１つに入射するように集光レンズを通過するビームの光路を変換する光路変換光学系と、光路変換光学系から他の光ファイバの前記１つに入射するビームの光路長を調整する光路長調整部分と、を含む光処理デバイスが提供される。光路変換光学系は、第１の反射点でビームを反射するミラー要素と、ミラー要素から反射されたビームを中間反射点で反射する中間ミラーと、を含む。ミラー要素は中間ミラーから反射されたビームを第２の反射点で反射する。集光レンズはビームの焦点を第１の反射点で形成する。光路長調整部分は空気よりも高い屈折率を有し、ビームは光路長調整部分を通って送出され得る。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで波長分解能の高い分光ユニット、及び、この分光ユニットを有する走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡に用いられる分光ユニット１４０は、光を略平行光束にするコリメータ光学系１４１と、この略平行光束を複数の光束に分割する光路分割部１４８と、光路分割部１４８により分割された複数の光束を分光する分光素子である回折格子１４３（１４３１〜１４３３）と、この分光素子で分光された分光光を受光する受光器であって、分光光の波長分散方向と該波長分散方向に直交する方向に複数の受光素子が２次元状に配置された受光器１４５と、分光素子からの分光光を受光器１４５の受光素子面に結像させる集光光学系１４４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光モジュール１では、分光部４に進行する光Ｌ１が光通過孔５０を通過するに際し、分光部４側に向かって先細りとなる光入射側部５１を抜け、光入射側部５１の底面５１ｂと対向するように形成された光出射側部５２に入射した光のみが光出射開口５２ａから出射される。このため、光入射側部５１の側面５１ｃや底面５１ｂに入射した迷光Ｍは、光出射側部５２と反対側に反射されるので、光出射側部５２に迷光が入射することを抑制することができる。従って、分光モジュール１の信頼性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】波長分解能と回折効率をともに向上し、しかも反射損失を低減できる透過型回折格子を用いた分光装置、検出装置及び分光装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】入射光を透過する透過型回折格子を含む分光装置であって、透過型回折格子は、基材１００より第１方向Ｘに沿って周期的に突出する複数の突起１１０を有し、複数の突起が傾斜面１４０を有し、傾斜面は、基材に垂直な基準線に対して傾斜し、透過型回折格子への入射光の入射角度を基準線に対して角度αとし、回折光の回折角度を基準線に対して角度βとする場合に、入射角度αは、傾斜面に対するブラッグ角度θよりも小さい角度であり、回折角度βは、ブラッグ角度θよりも大きい角度であり、複数の突起の各々は、傾斜面からの第１方向での距離が異なるに従い、複数の突起の各々と空気との界面に至る基材からの突出高さが異なる第１反射防止構造１５０（１６０）を有する。 （もっと読む）

【課題】 入射光の偏光方位に偏りがなく、かつ、回折層の偏光依存性が高くても、高い回折効率が得られる透過型回折格子及びそれを用いた検出装置を提供すること。
【解決手段】 透過型回折格子１０は、偏光変換層２０と、偏光変換層の一面側に配置される第１回折層３０と、偏光変換層の他面側に配置される第２回折層４０と、を有する。第１回折層３０及び第２回折層４０は共に、第１方向Ａに沿って周期Ｐで配列される屈折率変調構造３２，４２を有し、かつ、ＴＥ偏光成分に対する回折効率がＴＭ偏光成分に対する回折効率よりも高い。 （もっと読む）