説明

国際特許分類[G01L9/00]の内容

物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定 (8,098) | 電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示 (1,359)

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【目的】 鋭い共振特性で安定、かつ、安価で、信頼性が高く、しかも小型の振動型センサの振動子を提供する。
【構成】 両端固定梁となっている梁体5の長さ方向の中心線19から左右のA,B両側にずれた位置に梁体5の加熱駆動により、梁体5を熱変形させて振動させる駆動抵抗体11,12を設ける。また、梁体5の長さ方向の両端C,D側に前記駆動抵抗体11,12を挟んで振動検出抵抗体13〜16を設け、梁体5の振動を抵抗変化により検出する。 (もっと読む)



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