【課題】フルブリッジ回路を構成する２つのハーフブリッジ回路の内、１つのハーフブリッジ回路が故障している場合においても、故障に依存せずに圧力を検出できる圧力センサを提供する。
【解決手段】第１ハーフブリッジ回路（２０）及び第２ハーフブリッジ回路（３０）を有するフルブリッジ回路（１０）と、第１ハーフブリッジ回路（２０）の第１中点、及び、第２ハーフブリッジ回路（３０）の第２中点が入力端子に接続される主オペアンプ（４１）と、第１中点及びグランドが入力端子に接続される第１オペアンプ（４２）と、第２中点及びグランドが入力端子に接続される第２オペアンプ（４３）と、オペアンプ（４２，４３）それぞれの出力信号に基づいて、第１ハーフブリッジ回路（２０）、及び、第２ハーフブリッジ回路（３０）それぞれの故障を判定する判定部（５０）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】隔膜気圧計における標準圧室の真空を含む標準気圧の経時変化の問題を根本的に解決するために、隔膜気圧計の標準圧室の気圧が経時変化などで変動しても、標準圧室の標準気圧を計測し、この標準気圧が校正できる隔膜気圧計を提供する。
【解決手段】標準圧室を有する隔膜気圧計において、標準圧室内に熱型気圧センサを備え、その標準圧室内の気圧を常時または必要に応じて計測して、この計測した気圧を標準気圧として利用するようにした。熱伝導型センサとしてシリコン基板を利用し、絶対温度センサを備える。標準圧室の気圧を所望の気圧付近に調整することもできるようにする。 （もっと読む）

【課題】ＥＭＣ耐量を高めたセンサ装置を提供する。
【解決手段】増幅回路５全体の増幅率を必要な高い値に保ちつつ、増幅回路５の２段目（最終段）の増幅回路５２の増幅率Ｇ２を１段目（最終段より１段前）の増幅回路５１の増幅率Ｇ１よりも相対的に低く設定する。これにより、出力電圧Ｖｐを適正な信号レベル範囲にまで高めながら、出力用のパッド１ｃから侵入した誘導ノイズが最終段の増幅回路５２の入力側に回り込む量を低減でき、圧力センサ１のＥＭＣ耐量を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】モールドＩＣの接地状態を安定且つ長期に亘って維持可能にする。
【解決手段】シールドカバー１８に、ハウジング１２およびリードフレーム１６１を溶接することにより、モールドＩＣ１６は、シールドカバー１８、ハウジング１２、およびインジェクタボデー１０を介して接地される。シールドカバー１８は、モールド樹脂との密着性やボンディングワイヤの接続性を考慮する必要がなく、また高い強度も必要ではないため、ハウジング１２やリードフレーム１６１との溶接性が良好な材料を選定することができる。そして、そのような材料のシールドカバー１８に対してハウジング１２およびリードフレーム１６１を溶接することにより、良好な溶接状態が得られる。 （もっと読む）

【課題】歪抵抗薄膜全体としてのＴＣＲ値を低く抑えることが可能であると共に、温度サイクルに対して、比抵抗ρに代表される電気特性が安定で、かつ優れた高温安定性と高いゲージ率とを実現可能な歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサの提供。
【解決手段】積層膜からなる歪抵抗薄膜１０、２０であって、上記積層膜が、クロム薄膜、酸化クロム薄膜または窒化クロム薄膜からなる第一の薄膜１１、２１と、第一の薄膜１１の両主面のうち第一面１１１または第一面２１１と第二面２１２に積層され、薄膜の膜厚を同一としたときのＴＣＲ値［ｐｐｍ・Ｋ^−１］が第一の薄膜より小さい第二の薄膜１２、２２、２３とを少なくとも一層以上有し、上記積層膜を構成する第二の薄膜１２、２２の一つが上記積層膜の表出面Ｓとして表出している歪抵抗薄膜とする。 （もっと読む）

【課題】高圧発生装置の加圧室内の圧力測定を、加圧室内にルビー片を入れずに、ルビー蛍光シフト法よりも安価で手軽に行うことができ、かつ、必要な測定精度を安定かつ簡便に得ることを課題とする。
【解決手段】ダイヤモンドアンビル１１Ａ，１１Ｂにそれぞれ支持された２つのダイヤモンド１２Ａ，１２Ｂ間の加圧室Ｒ内に試料Ｓ及び圧力媒体Ｔを充填し、圧縮バネ１７によって両ダイヤモンドに互いが近付く向きの付勢力を伝達することにより圧力媒体を介して加圧室内の試料に高圧を付与するダイヤモンドアンビルセル１０において、上ダイヤモンドアンビルのひずみ量をひずみゲージ１にて計測し、その計測結果に基づいて加圧室内の圧力を測定する。 （もっと読む）

【課題】ＨＰＬＣ／ＳＦＣ／ＳＦＥのポンプ・自動圧力調整弁等に取付けられる圧力計の溶媒置換性の改善、及び測定精度を改善する。
【解決手段】配管継手に類似した形状の六角材２６０に内径１．０ｍｍの貫通穴２６６を開ける。その一片を削り、貫通穴外周との距離が０．５ｍｍとなるようにし、その表面を研磨して歪測定用歪ゲージ貼付面２７０とする。貫通穴両端には配管接続用の孔２６４を作成する。歪ゲージは、点線で囲まれた歪測定用歪ゲージ貼付面２７０の中央に１枚と、温度補正用として平面内もしくは六角材外面の温度測定要歪ゲージ貼付面２７２に別に２枚とを貼り付ける。それぞれの歪ゲージにてブリッジ回路を組み、信号を出力するようにする。 （もっと読む）

【課題】歪受感部の面積を小さくでき、且つ、抵抗値を調節しても歪みに対する検出感度や抵抗特性が変化しない歪ゲージの抵抗値調節方法を提供することを目的とする。また、その抵抗値調節方法で抵抗値を調節した歪ゲージと、その歪ゲージを用いたダイヤフラム型の圧力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】歪ゲージ２０は、歪受感部２０Ｂ、２０Ｄがダイヤフラム１４の中央部１４Ｘに配置され、歪受感部２０Ａ、２０Ｃがダイヤフラム１４の周辺部１４Ｙに配置される。歪受感部２０Ａ〜２０Ｄの抵抗値調節は、歪受感部２０Ａ〜２０Ｄの表面全体を覆うように導電性ゲル２２を配置した後、歪受感部２０Ａ〜２０Ｄを陽極として電圧を印加し、歪ゲージ２０の表面全体に陽極酸化膜を形成し、さらに、陽極酸化膜の厚みを調節することによって、歪受感部２０Ａ〜２０Ｄの抵抗値を調節する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動に抗して真の信号電圧を適切に取り出すことができるセンサ電圧処理回路を提供する。
【解決手段】燃焼圧センサ２０のピエゾ抵抗素子２３は、定電流源２２を介して電源に接続されている。センサ電圧処理回路３０では、接地されている第１コンデンサ３２と、定電圧源３４を介して電源に接続されている第２コンデンサ３３とが、電圧保存配線３７によって接続されている。第１コンデンサ３２と第２コンデンサ３３との容量比は、保存電圧Ｖｋの想定される変動範囲のほぼ中間値である基準保存電圧と、電源の定格電圧から基準保存電圧を減算した電圧との比となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】深い穴を有する金属部材を備えた圧力センサにおいて、金属部材中を透過するおそれの有る気体の圧力を精度良く検出することが可能な技術を提供する。
【解決手段】圧力センサは、気体の圧力を検出するために用いられるものである。この圧力センサは、一端が開口し他端に底を有する穴部であって前記気体が導入される穴部を備えた金属部材と、金属部材の外面の、穴部の底に対向する位置に設けられた圧力検知部と、穴部の底に配置され、気体の透過を抑制する金属製の透過抑制層と、透過抑制層を穴部の底に固定する樹脂層と、備えている。 （もっと読む）