【課題】改良された漏れ検出装置および方法を提供する。
【解決手段】蓄積法による漏れ検出のための方法および装置が提供される。本装置は、テストピース12を受け入れるよう構成された密封可能室10であって、テストピース12が室10内にある間、トレースガスを収容するものである室10と、室10と気体流通可能なトレースガス透過性部材30と、透過性部材30と気体流通可能でありかつ、室10から透過性部材30を通過してきたトレースガスを検出するよう構成されたトレースガスセンサ20とを含む。透過性部材30は石英であってもよい。トレースガスセンサ20はイオンポンプを含んでいてもよい。 （もっと読む）

【課題】漏れ検出に対して改良された方法や装置を提供する。
【解決手段】密封品における大規模漏れの検出方法および装置が提供される。本漏れ検出装置は、トレースガスを収容するテストピースを受け入れるよう構成された密封可能な第１室と、密封可能な第２室と、第１室と第２室との間に結合された第１弁と、テスト口を有する漏れ検出器と、第２室と漏れ検出器テスト口との間に結合されたトレースガス透過性部材と、入口を有する真空ポンプと、第２室と真空ポンプ入口との間に結合された第２弁とを含む。透過性部材は石英であってもよく、この石英は、加熱されたときにヘリウムを透過可能である。漏れ検出器は、イオンポンプであってもよいし、または、ヘリウム質量分光計による漏れ検出器であってもよい。 （もっと読む）

【課題】大規模漏れテストの方法と装置とが提供される。
【解決手段】本装置は、トレースガスを含有するサンプルを受け入れるよう構成されたテストラインと、トレースガスを受け入れる入口を有するとともに、トレースガスを検出するよう構成された質量分光計と、軽いガスに対して比較的高い逆流流量を与え、重いガスに対して比較的低い逆流流量を与えることを特徴とする第１真空ポンプであって、ポンプ入口とフォアラインとを有し、ポンプ入口が質量分光計入口に結合されている第１真空ポンプと、第１真空ポンプをバックアップするよう構成された第２真空ポンプとを含む。本装置は、（i)ポンプ入口、(ii)フォアライン、または(iii)第１真空ポンプがターボ分子ポンプの場合は中間ステージライン、のいずれかと、テストラインとの間に結合されたトレースガス透過性部材を更に含む。 （もっと読む）

対向流の原理による漏れ検出装置（１０）が高圧真空ポンプ（２２）を有しており、この高圧真空ポンプ（２２）の入口（２１）は質量分析計（２４）に接続されている。さらにまた真空ポンプ（２０）が設けられており、この真空ポンプ（２０）の入口（２１）は、前記高圧真空ポンプ（２２）の出口（２３）に及び漏れ検出装置の入口（１２）に接続されている。また、漏れ検出装置の入口（１２）と高圧真空ポンプ（２２）の中間入口（２８）との間の接続導管（３０）が設けられている。該接続導管（３０）の途中に、コンダクタンスに関連して調節可能な第１の弁（３２）が配置されている。大きい内径を有する弁は高価であり、これに対して、小さい内径を有する弁は、完全に開放された場合でも有効な抵抗を有している。本発明によれば、調節可能な第１の弁（３２）に対して平行に配置された第２の弁（３４）が接続導管（３０）の途中に設けられている。これによって接続導管（３０）内の２つの弁（３２，３４）のために、比較的小さい内径を有する安価な弁を使用することができる。この場合、２つの開放された弁（３２，３４）の全コンダクタンスは著しく大きくなる。
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漏れレート測定装置は、各々のガスのイオン経路（２１）が少なくとも１つの可変の作用量によって影響を及ぼされるイオントレース（飛跡）型スペクトロメータ（Ｂａｈｎ−Ｓｐｅｋｔｒｏｍｅｔｅｒ）（８）を有している。質量Ｍ４のガスが検出される必要があるが、スペクトロメータの選択度が十分にないために、質量Ｍ２又はＭ３のガスの特性の末端部が、質量Ｍ４のガスの検出期間に重畳している場合、作用量を正弦波状に変調し、それに続いて、有効信号をロックイン増幅器で選択することが提案されている。従って、「ウォータベース」（”Ｗａｓｓｅｒｕｎｔｅｒｇｒｕｎｄ”）、つまり、測定結果に及ぼす水分の影響の妨害となる作用を、テストガスとしてヘリウムを用いて漏れレートを測定する際に除去することができる。
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