【課題】製造ライン内に組み込まれたインライン基板検査装置の光学系の校正作業を製造ラインを停止させることなく実施できるようにする。
【解決手段】この発明は、上流ラインから下流ラインヘ基板の受け渡しを行う機能を有する検査ステージもしくは搬送コンベア等の検査エリア以外の場所に光学系の校正作業を実施するための校正作業（メンテナンス）エリアを設け、光学系の移動ストロークをこの校正作業エリアまで移動可能とし、光学系の校正作業を検査エリア外で実施可能とした。校正作業エリアでは、実際の基板の移動と同じ状態で移動する標準粒子付基板を用いて検査することによって光学系の校正作業を正確に行なうようにした。標準粒子付基板の高さを検査エリア内の基板の高さに合わせるようにして、校正作業を正確に行なえるようにした。 （もっと読む）

【課題】印刷物検査装置の機種差および個体差によらずに印刷物検査装置の性能を定量的に評価することができる印刷物検査装置の性能評価シートを提供すること。
【解決手段】本発明に係る印刷物検査装置の性能評価シート３１は、印刷物の欠陥を検査する印刷物検査装置２０の性能の評価又は校正を定量的に行うために片面又は両面に絵柄又は文字が印刷にされた印刷物検査装置の性能評価シートである。本発明に係る印刷物検査装置の性能評価シート３１は、性能評価の基準となる絵柄又は文字が印刷された第１の基準領域５１１を有する基準部５１と、基準部５１１に対応するように配置され、前記第１の基準領域を同じ絵柄又は文字が印刷された第２の基準領域５２１と擬似的な欠陥を施された欠陥印刷領域５２２とを有する異常部５２と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】照明系と検出系、温度・気圧と言った環境をモニタリングする情報収集機能、モニタリング結果と設計値、理論計算値もしくはシミュレーション結果により導出した理想値を比較しモニタリング結果と理想値を近づけるように装置を較正するフィードバック機能を有する装置状態管理機能、を含むことで、装置状態及び装置感度を一定に保つ手段を提供する。
【解決手段】制御部８００を記録部８０１、比較部８０２、感度予測部８０３、フィードバック制御部８０４、を含む構成とする。比較部８０２において、記録部８０１から送信されたモニタリング結果とデータベース８０５に格納された理想値を対比する。理想値とモニタリング結果との差分が所定の閾値を越えた場合には、フィードバック制御部８０４が照明系と検出系の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】高精度に反射率が均一な状態での標準画像を生成することを目的とする。
【解決手段】複数の状態、複数個の被写体を撮像し、それらを平均化して標準画像を生成することにより、高精度に反射率が均一な状態での標準画像を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】表面検査装置の検査しきい値およびカメラの設置角度の調整を的確かつ短時間で行なうことができる、表面検査装置の調整方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】検査対象物の表または／および裏面をカメラで撮像し、その全幅全長画像を保存するステップ１０と、保存した画像から欠陥確認が可能かどうかの判断を行なうステップ１２と、該ステップ１２で欠陥確認が可能な場合には、確認された欠陥部と地合部の画像のグレイ値差分が大きいかどうかの判断を行なうステップ１４と、該ステップ１４でグレイ値差分が小さい場合には、カメラ角度調整を行なうステップ１５と、前記ステップ１４でグレイ値差分が大きい場合には、しきい値調整を行なうステップ１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】暗視野検査装置の測定結果を微小領域まで保証できる技術を提供する。
【解決手段】表面に不規則な凹凸パターンのマイクロラフネスが精度よく形成され、その表面のマイクロラフネスの粗さが保証されたバルクウエハを基準ウエハとして暗視野検査装置の校正を行う。マイクロラフネスは、薬液による化学処理により精度よく形成することができる。このようなマイクロラフネスをＡＦＭを用いて測定し、測定値を基にヘイズ期待値を求める。その後、校正する暗視野検査装置で基準ウエハの表面のヘイズを測定してヘイズ実測値を求め、ヘイズ期待値とヘイズ実測値との差を求める。この差を基にヘイズ実測値がヘイズ期待値と合致するように暗視野検査装置のヘイズ測定パラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】撮像画像に基づいて算出された評価値を利用しながらも、安定した校正が可能な評価装置を実現する。
【解決手段】
撮像装置１１０は、所定のパタンで配置された複数の撮像位置から特定評価対象物２００を撮像する撮像動作を、撮像位置全体をシフトしながら繰り返す。制御装置１２０は、複数組の撮像画像群の各々から高解像度画像を生成し、生成した高解像度画像の各々に基づいて評価値を算出する。そして、算出した評価値群と基準評価値群とを比較して、校正のために評価値乗じる係数を設定する。 （もっと読む）

【課題】 層間導通用ビアの外観検査の際に、種々の計測条件が変化しても、常に信頼性の高い検査結果を得ることができ、またその検査結果の信頼性を随時確認することのできるプリント配線板およびその製造方法ならびにプリント配線板のフィリングビアの外観検査方法を提供する。
【解決手段】 このプリント配線板は、絶縁性基板２に設けられたビア穴に層間導通用のめっき導体７を充填してなるフィリングビア４を有するプリント配線板であって、フィリングビア４とは別に、絶縁性基板２の各個片１の所定位置ごとに、めっき導体７を意図的に充填不良の状態とした充填不良サンプルビア６を形成してなることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】製造エラーが起こる前に機能不良のプリンターによりもたらされる印刷エラーを
特定し補正する方法、システムを提供すること。
【解決手段】取り込まれる画像および画像に基づくシミュレートされた基準ビットマップ
の設定パラメーターに基づき、カメラと画像を支持する二次元面を有してなる画像取り込
みシステムを較正する。二次元面における取り込まれる画像の位置は較正パラメーターに
基づき決定される。取り込み画像の品質の一貫性は各画像を取り込む際に画像の選択され
た特徴を検証することにより維持される。 （もっと読む）

【課題】ピンホール検査の検査精度を維持するために行う画像検査装置の校正に用いる校正用サンプルウエーハにおいて、表面にハードレーザーマークを施すことで、効率的に校正を行うことができる校正用サンプルウエーハを提供する。
【解決手段】シリコンウエーハのピンホール欠陥を画像処理により検査する画像検査装置の校正に用いる校正用サンプルウエーハであって、校正用サンプルウエーハの表面にハードレーザーマークが施されたものであることを特徴とする画像検査装置の校正用サンプルウエーハである。 （もっと読む）