【課題】パターンエッジを正確に抽出することが可能なキャリブレーション方法、検査方法、及び半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一形態のキャリブレーション方法は、被処理基板上に形成されたパターンの画像からパターンエッジを抽出する際にスレッショルド（Ｓ）のキャリブレーションを行う方法であり、前記パターンにおいて不具合が予測される部分（２１，２２）を含む画像のコントラストを算出し、前記コントラストから前記不具合が予測される部分でパターンエッジを抽出しないようスレッショルドのキャリブレーションを行う。 （もっと読む）

【課題】実際のフィレットの形状に適した検査基準データを、自動的に設定する。
【解決手段】部品種毎に、その部品種の部品に発生するフィレット形状を複数のタイプに分類し、タイプ毎にしきい値導出ルールなどの検査基準データが登録された検査基準データベースを作成する。このデータベースの各フィレットタイプには、それぞれフィレット形成前のクリームはんだの高さ範囲が対応づけられる。ティーチングの際には、教示対象の部品に対応するランド毎に、ランドウィンドウを設定するとともに、ＣＡＤデータや部品形状データを用いてランドに塗布されるクリームはんだの高さを算出する。さらに、算出されたはんだ高さに対応するフィレットタイプの検査基準データを検査基準データベースから読み出し、ランドウィンドウの設定情報に対応づけて、検査装置のメモリに登録する。 （もっと読む）

【課題】装置自身の異常を検出することができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】記憶部２０７には、予め基準被写体を撮像して得られた基準情報が保存されている。欠陥抽出部２０５は、基準情報の取得後に基準被写体を撮像して得られた比較対象情報と、記憶部２０７に保存されている基準情報とを比較し、両者が異なる部分を欠陥として抽出する。欠陥判定部２０６は、欠陥の抽出結果に基づいて、装置自身の異常の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】基板の端部を光学的に検査する端部検査装置を最適かつ一定の検査条件で検査することが可能な端部検査装置の校正方法を提供する。
【解決手段】被検査基板の端部に検査光を照射する発光部と、被検査基板の端部で反射した反射光の光学的特性を検出する検出部とを備え、検出部で検出される反射光の光学的特性に基づいて被検査基板の端部に生じた欠陥を検出する端部検査装置の校正方法であって、基準となる校正用基板の端部に、厚さ方向の位置、形状、及び、寸法の少なくともいずれか１つが異なるように設定した複数の擬似欠陥を周方向に形成する擬似欠陥形成工程Ｓ１と、それぞれの擬似欠陥に検査光を照射し、検出部によって反射光の光学的特性を検出する検出工程Ｓ２と、擬似欠陥のそれぞれから検出された反射光の光学的特性に基づいて、端部検査装置の校正を行う調整工程Ｓ３とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査基準決定方法、検査基準決定装置、及び外観検査装置において、簡単な構成により、心理測定曲線を求めるための試行回数や検査員の負担を低減し、高い効率で精度よく、かつ、低コストで簡便に検査基準を決定することを可能とし、その検査基準を用いて外観検査の自動化を図る。
【解決手段】検査基準決定装置１は、試料の欠陥候補領域が有する外観的特徴量により欠陥であるかどうかを判定する検査基準を、その特徴量からなる刺激に対する検査員Ｍの応答を数値化した心理測定曲線、に基づいて決定する。心理測定曲線をステアケース法を用いて求める。検査基準決定装置１は、画像生成手段２と、画像呈示手段３と、入力手段４と、呈示画像決定手段５と、統計処理手段６と、記憶手段７と、外部入出力手段８と、中央制御手段１０と、を備えている。心理測定曲線を用いることにより、検査基準に、人間の感性、すなわち、知覚特性や感覚特性を加味できる。 （もっと読む）

【課題】帯状被検査体に開口を設けたり、溶接線を利用したりして検査性能を診断する場合の不具合を避け、ラインを停止させることなく安定的に検査性能を診断できるようにする。
【解決手段】搬送される鋼板１０２の表面に光を照射する光源１０３と、鋼板１０２からの反射光を受光して撮像するカメラ１０７と、光源１０３と鋼板１０２との間に配置され、光源１０３の光の透過率を変化させることのできる液晶パネル１０５とを備える。表面検査システムの検査性能を診断するときに、鋼板１０２の搬送速度に応じて液晶パネル１０５による投影時間を変えたり、液晶パネル１０５による透過率を変化させて影の輝度を変えたりすれば、様々な大きさや形状、輝度の疵に対する検査性能を保証することができる。 （もっと読む）

【課題】帯状被検査体に開口を設けたり、溶接線を利用したりして検査性能を診断する場合の不具合を避け、ラインを停止させることなく安定的に検査性能を診断できるようにする。
【解決手段】搬送される鋼板１０２の表面に光を照射する光源１０３と、鋼板１０２からの反射光を受光して撮像するカメラ１０４と、鋼板１０２の表面にレーザー光を照射するレーザーポインタ１０５とを備える。レーザーポインタ１０５の点灯時間及び点灯強度の制御パターンを変えることにより、点状、線状、点線状のように照射パターンの形状、輝度を変えることができるので、診断部１１１において、レーザー光の照射による画像が輝度の適正な点状、線状、点線状であると正しく判定できたとき、表面検査システムの検査性能が正常であると判定する。 （もっと読む）

【課題】画像形成装置用のブレード等の板状体の欠陥を検出する欠陥検出装置において、測定条件を一定にするための装置校正を迅速に行う。
【解決手段】投光装置１３よりの測定光を、移動ステージ１１上の透明または半透明の板状体に照射し、その透過光を撮像して得られた画像を用い画像処理を行うことで欠陥を検出する。この欠陥検出装置において、投光装置１３の位置ずれ等を補正するために、移動ステージ１１上に校正基準物１２を設置する。校正基準物１２の基準位置情報と、撮像装置１６による画像を基に、投光装置１３と撮像装置１６間の相対位置ずれを検出し、投光装置１３や撮像装置１６の相対位置を調整する装置校正を行う。 （もっと読む）

【課題】空間フィルタを備えたＤＦ欠陥検査装置において、事前に空間フィルタの設定状態を把握して補正し、欠陥検査精度を格段に向上させて信頼性の高い欠陥検査を実現することを可能とする。
【解決手段】空間フィルタ部１２を有するＤＦ欠陥検査装置１及び欠陥検査補正装置２を含み欠陥検査システムが構成される。欠陥検査補正装置２は、光強度の閾値Ｔ_Hを設定する閾値設定部２１と、閾値Ｔ_Hが設定されており、補正用反射光の強度の閾値Ｔ_Hとの大小を判定する判定部２２と、判定部２１により補正用反射光が閾値Ｔ_H以上と判定された場合に、補正用反射光が閾値Ｔ_Hより小さくなる空間フィルタ１２ａの設定状態を決定する決定部２３とを含む。 （もっと読む）

【課題】校正サンプル、パターン検査装置および方法において、被検物に形成されるパターンに応じて、適切な検出感度が得られるように校正を行うことができるようにする。
【解決手段】パターン検査装置５０に、被検物である基板２０に形成されるべきパターンに応じて複数の校正用パターンを基板２０と同様の製造方法により形成したキャリブレーションサンプル１を検査位置に移動するサンプル移動機構２と、検査位置を照明する照明光学系３と、キャリブレーションサンプル１を撮像する撮像光学系５を設ける。そして統合制御手段１０により、キャリブレーションサンプル１の画像読取条件を調整できるようにする。 （もっと読む）