【課題】大きな点検用基板を用いることなく、外観検査装置の機種による制約のない、欠陥を検出する機能の点検作業を簡便・容易な作業とするカラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具７０を提供する。
【解決手段】基板載置部３１に載置された点検用基板２５の検査開始位置ｈを外観検査装置の検査ラインＹ₁ に移動させる位置出し機構３０と、該位置出し機構を外観検査装置のパスラインＸ₁ と平行に移動し点検用基板を点検作業に供する搬送機構５０とで構成される。 （もっと読む）

物体が供給された後に該物体の品質管理を行う方法及びそのためのシステムが開示される。製造後に、物体は測定マシンビジョンシステムを用いてチェックされる。マシンビジョンシステムの測定結果は、対応する較正データと共にデータシステムに記録される。較正データがわかっている場合、実際の物体がすでに供給されておりかつ場合により最終製品に取り付けられたという時に、記録された画像から新しい測定を後で行うことができる。
（もっと読む）

【課題】従来、製造プロセスの不良対策は、該検査装置で検出された欠陥を分析することにより行われている。一方、光散乱方式の欠陥検査装置の検出結果として総検出個数や欠陥の検出座標、欠陥の寸法などの情報を出力している。光散乱方式の欠陥検査においては、散乱光を用いて欠陥の寸法を測定しているが、寸法が適切に算出できない場合があった。
【解決手段】光学的系により検査する欠陥検査装置において、欠陥検出とほぼ同時に欠陥の寸法を測定する。欠陥寸法の測定を高精度化するために、標準粒子などの標準試料を用いて欠陥寸法を校正する手段を備えた。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、試料の検査に用いられる検査システムの検出範囲を拡張する検査システムと方法に関する。一実施態様に準じ、検査システムは、散乱光を受け取り、出力信号に変換するように結合された複数のステージを有する光検出器と、少なくとも一つのステージを飽和させることで、それによって光検出器が非線形領域で作動するように強制し、光検出器の検出範囲（従って、検査システムの検出範囲）を拡張するように接続された電圧分割ネットワークを備え得る。このことは、光検出器が非線形的に作動することを強制する。しかしながら、測定の不正確さは、少なくとも一つのステージを意図的に飽和させることで生成され得るあらゆる非線形効果を除去するように光検出器の出力を較正することで避けられる。一例に於いて、光検出器の出力を散乱光の実際量に変換するように較正中に値表を生成可能である。 （もっと読む）

【課題】ディスクブレーキ用のキャリパボディに形成されたシリンダ孔内に設けられる溝部のように、切削加工後に切粉等の異物が残存する等の問題が生じる可能性が高い被検査物に対して、画像データを用いる検査によって異物検出を確実に行うことができるとともに、誤検出を防止できる製品検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る製品検査方法は、画像処理装置により較正用ダミー品を検査して装置較正を行うステップと、画像処理装置に予め入力されている判定用画像データを当該装置内で読み出してデータ処理により検査を行うことで閾値を調整するステップと、次いで製品の表面状態を検出し、閾値に基づき良否を判定するステップと、その判定が妥当であるか否かを目視により検証するステップと、判定が妥当でない場合に、製品の表面状態を判定用画像データとして画像処理装置に記憶させるステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】試料の被検査面を撮像した画像を検査することによりこの被検査面に存在する欠陥を検出する外観検査装置及び外観検査方法において、現在設定されている検査条件が、実際の試料に適した条件であるか否かを判定する。
【解決手段】外観検査装置１を、試料２の被検査面を撮像した画像を入力しこの画像に存在する欠陥を検出する欠陥検出部２０、２４と、検査対象である試料２の表面に予め設けられた既知の標準欠陥９の位置情報を記憶する標準欠陥データ記憶部６１と、標準欠陥９が設けられた試料２の表面を撮像した画像中の、標準欠陥データ記憶部６１に記憶された位置情報が示す位置に存在する標準欠陥９を欠陥検出部２０、２４が検出できるか否かを判定する検出感度判定部５０と、を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の誤検出を低減することができる欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】時間遅れ座標系変換部２４は、周期パターンが形成された検査対象物の画像を構成する各画素の画素値からなるデータを次元ｍ（ｍは２以上の整数）の時間遅れ座標系のデータに変換する。欠陥検出部２５は、ｍ次元空間上で時間遅れ座標系のデータの示す位置が所定領域に含まれるか否かを判定し、判定結果に基づいて欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、光計測に関し、より具体的には光計測装置のドリフト補償に関する。
【解決手段】 光計測装置のドリフトは、光計測装置上に設けられた第１校正用構造の第１測定回折信号及び第２測定回折信号を得ることによって補償される。第１及び第２測定回折信号は、光計測装置を用いて測定される。第２測定回折信号は、第１測定回折信号が測定された後に測定される。第１ドリフト関数は、第１測定回折信号と第２測定回折信号との差異に基づいて生成される。第１ウエハ上に形成された第１構造での第３測定回折信号は、光計測装置を用いて測定される。第１調節回折信号は、第１ドリフト関数を用いて第３測定回折信号を調節することによって生成される。 （もっと読む）

【課題】画像欠陥の検出精度を向上できる画像検査装置、画像検査装置システム、及び画像検査プログラムを提供する。
【解決手段】所定の画像を印刷した画像を読取って得た検査画像を構成する領域であり、かつ検査対象とする検査領域の近傍に位置する近傍領域から、所定の画像を構成する領域であり、かつ近傍領域に対応する対応領域の濃度分布と類似した濃度分布を有する領域を選択する選択手段と、選択手段が選択した近傍領域を濃度に基づいて特徴付ける特徴値と、検査領域を濃度に基づいて特徴付ける特徴値とを比較することで、検査領域が画像欠陥を有するか否かを検査する欠陥検査手段とを備える。全体的に不均一な検査画像の濃度、及び局所的に不均一な検査画像の近傍領域の濃度であって、検査画像の基となった所定の画像にない不均一な濃度の影響を軽減して画像欠陥の検出精度を向上できる。 （もっと読む）

【課題】鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上の、観察可能なあらゆる点での面歪分布を、定量的に、また高速・高精度に測定および評価できる、面歪の測定装置及び方法を提供することを課題とする。
【解決手段】複数種の明暗パタン５を切替えて表示することが可能なパタン表示手段２と
、鏡面乃至半鏡面状の測定対象１表面上に写る、前記パタン表示手段に表示された複数の
明暗パタンの鏡像を、撮影する撮影手段３と、撮影された、複数の明暗パタンの鏡像画像
を画像処理して、測定対象表面の面歪分布の演算、面歪の定量評価するパソコン１０とを備える。 （もっと読む）