【課題】半導体ウェーハ上に形成された回路パターンの欠陥検査感度を正確に調整する。
【解決手段】半導体ウェーハ上に回路パターンとともに所定寸法の作り込み欠陥からなる欠陥検査用パターンを形成し、該回路パターンの欠陥検査に先立って該欠陥検査用パターンを検出し、その検出結果に基づいて検査感度の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において「不良品を良品であると判定してしまう」ことをなくすことが可能な良品判定基準設定方法及び良否判定基準設定装置、検査を行っている過程で初期に設定された判定制度が維持されているかどうかを判定する判定処理の精度判定方法及び装置。
【解決手段】検査装置を用いてあらかじめ良品計量値の分布と不良品計量値の分布とを把握し両者を同一の画面上に表示して比較し良品判定基準を設定する。あらかじめ複数の良品から良品平均値ＭＧと良品標準偏差σＧとを求めておき複数の検査対象物について検査平均値ＭＳと検査標準偏差σＳとを求め良品平均値ＭＧを中心として予め定められている範囲に設定されている良品平均範囲と検査平均値ＭＳとを比較する及び／または良品標準偏差σＧを中心として予め定められている範囲に設定されている良品標準偏差範囲と検査標準偏差σ_Ｓとを比較する。 （もっと読む）

【課題】基板上に繰り返し設けられる単位領域のパターンの欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】欠陥検出装置１では、基準画像検査回路４２において基板９上の基準とされるダイのパターンを示す基準画像と、それぞれが選択されたダイのパターンを示す複数の選択画像とが比較され、基準画像が有する欠陥が検出される。続いて、被検査画像検査回路４４では、他のダイのパターンを示す被検査画像と基準画像とが比較され、被検査画像が有する欠陥候補が検出される。そして、欠陥検出部４５にて基準画像が有する欠陥の少なくとも位置情報に基づいて欠陥候補から基準画像が有する欠陥と重複するものが除外される。これにより、欠陥検出装置１では基準とされるダイのパターンの欠陥の影響を除きつつ、他のダイのパターンの欠陥を精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】画像周辺についても、画像中央部分と同等の特性を持つ、輝度平均を保証した好適なローパスフィルタを実現する。
【解決手段】元画像最外周部分のみにローパスフィルタ処理することにより、外挿時の誤差を防止するために画像最外周部のノイズ低減を図る。次に、画像の領域を外挿により拡張することで、最終のローパスフィルタ処理する際に画像周辺部分において境界処理を行う必要がなくなるようにする。最後に、元画像の存在範囲にローパスフィルタ処理することにより、画像中央部と画像周辺部とで同じ特性を持ったフィルタ結果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はフォトマスク欠陥検査装置の異物検査のアルゴリズム開発ならびに検査機の機能の確認や調整を行うための異物検査に用いるマスクおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、異物評価のマスクとしては使い易くした、新規な異物欠陥検査用マスク及びその製造方法であって、具体的には、フォトマスク上に、所望の大きさのパーティクルを凝集させずに分散させて配置したたこを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 数種類の透過率を有し、かつ各々の種類の透過率において寸法の異なるパターンを有するテストマスクにより半透明欠陥に対する欠陥検査装置の検出感度調整することを目的とする。前記テストマスクの製造方法とテストマスクを用いた欠陥検査装置の検出感度調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 テストマスクは、数種類の透過率を有し、かつ各々の種類の透過率において寸法の異なるパターンを有するようにしたものであり、テストマスクの製造方法は、ガラス基板上の遮光膜のパターン形成を行う工程と、パターンの遮光膜の膜厚を変える工程と、を備え、前記遮光膜の膜厚を変える工程を繰り返し、テストマスクを作製する。テストマスクをウェハーへ転写し、各種欠陥の保証欠陥寸法と決定し、欠陥検査装置にて、テストマスクにより半透明欠陥に対する欠陥検査装置の検出感度調整する。 （もっと読む）

【課題】 カメラで撮影した被検査物の画像データを、カメラおよびモニタのそれぞれの特性や機差に依存することなく、しかも人間の色彩感覚に合わせて被検査物の色彩を較正させて、同一色彩でモニタに表示することができる画像データの色彩較正装置を提供し、色コスレやインク飛び、見当ズレだけでなく色むらや色違い等の色彩欠陥を正確に自動検出することができる。
【解決手段】 カメラ１で撮像したカラー画像データを、このカメラ１の特性に合わせて色相、彩度および明度を要素とする色彩表色系の画像データに較正するカメラ側較正部２１と、このカメラ側較正部２１によって較正された色相、彩度および明度を要素とする色彩表色系の画像データを、表示すべきモニタ２の特性に合わせてカラー画像データに較正するモニタ側較正部２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 人間の主観に対応させて画像の階調性を定量的に評価する。
【解決手段】 人間の知覚特性に対応させて画像の階調性を定量的に評価する画質評価装置４００であって、階調が連続的に変化するグラデーション画像である被評価画像１００を、被評価画像として使用する、ことを特徴とする。このように、パッチ画像ではなくグラデーション画像を用いることで、階調ムラや階調飛び、つぶれといった現象との対応も可能になり、グラデーション画像の階調変化を視感比較した場合と対応をとることができる。 （もっと読む）