本願の発明は、ウェブ検査において較正するシステム及び方法に係り、ウェブの第１のクロスウェブ部分の第１の特性を示す信号を受信し、上記第１の特性を表す第１の応答信号を測定較正単位で提供するように構成される、少なくとも１つのウェブセンサであって、上記第１のクロスウェブ部分が上記ウェブの幅未満であるウェブセンサと、上記ウェブの上記第１のクロスウェブ部分及び少なくとも第２のクロスウェブ部分の上記第１の特性を示す信号を受信し、それぞれ、上記第１のクロスウェブ部分及び上記第２のクロスウェブ部分の上記第１の特性を表す、第２及び第３の応答信号を提供するように構成される上記ウェブ検査システムと、第１の較正モデルを上記第２の応答信号に適用して、上記第２の応答信号を上記第１の応答信号の測定単位に変換するために、上記第１の応答信号及び上記第２の応答信号を分析するセンサ−検査システム較正モジュールと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサカメラの視野位置と視野全体の分解能を、簡便に調整することのできる較正方法、較正装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】下記（ａ）〜（ｃ）の３つの条件を満足するパタンを有する基準板をラインセンサカメラで撮像して1次元画像を得るステップと、（ａ）仮想の基準線と交差する５本以上の直線要素を有する、（ｂ）直線要素が全て平行ということがない、（ｃ）直線要素の延長線が全て一点で交わることがない、撮像して得られた１次元画像において直線要素に対応する画像アドレスを検出するステップと、検出した直線要素に対応する画像アドレスと基準板上での直線要素の位置と向きの情報を用いて、任意の画像アドレスを基準板上の対応する点へ写像する座標変換パラメータを推定するステップと、推定した座標変換パラメータに基づいて基準板上でのラインセンサカメラの視野位置と各画像アドレスでの分解能を算出するステップと、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。 （もっと読む）

【課題】 画像検査工程における照明の明度のバラツキの防止である。
【解決手段】 保持台１に載置した検査対象物２を照明手段４によって照明し、該検査対象物２からの反射光を反射画像として撮像手段６で撮像し、該撮像画像を画像処理手段７で画像処理して良否を判定する画像検査装置において、照明の明度を測定及び調整するために、反射標準部材３を前記検査対象物２の検査面あるいは近傍に設置したことを特徴とする画像検査装置の照明明度の測定及び調整方法に関する。 （もっと読む）

【課題】パターンマッチングによる複数種類の組付部品の合否判定に共通に使用でき、かつ信頼性の高い合否判定ができるマスター画像の選択を可能とする。
【解決手段】１つの種類の撮影画像（組付部品）のグループにおける各撮影画像の相関値を算出してその相関値の平均値Ｘ、分散値σｘ及び相関値の最下限値Ｘｍｉｎ（＝Ｘ−３＊σｘ）を算出し、他の種類の部品グループ対しても同様に相関値の平均値Ｙ、分散値σｙを算出し、また最上限値Ｙｍａｘ（＝Ｙ−３＊σｙ）を算出する。そして、各々最下限値Ｘｍｉｎと最上限値Ｙｍａｘとの差（＝Ｘｍｉｎ−Ｙｍａｘ）を算出し、その差が最大となるときの画像をマスター画像に選択するようにした。最下限値Ｘｍｉｎと最上限値Ｙｍａｘの算出に３σの考え方を導入して組付部品のばらつきが考慮された信頼性の高い合否判定を可能とした。 （もっと読む）

【課題】リニアアレイカメラが正反射光を受光しているか否かを判断して、被検査体の長手方向の視野調整を行うことができる基準板、表面検査装置の光軸調整方法、及び表面検査装置を提供する。
【解決手段】視野基準線３３を含む第一の表面性状領域３１と、第二の表面性状領域３２とから形成された基準板３０を用いて、視野基準線３３の長手方向に直交する方向におけるあおり角が所定範囲内になるようにリニアアレイカメラ１２のあおり角を調整するステップと、リニアアレイカメラ１２の視野を、視野基準線３３の長手方向に直交する方向に略平行移動させて、予め決定された許容範囲内の輝度となる撮像素子数が所定値以上となるように調整するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、同種画像間の画像認識に用いられるテンプレートと同等の情報を、設計データに基づいて形成されるテンプレートに付加することで、実画像を取得することなく、設計データに基づいてテンプレートを作成することのできる容易性の維持と、テンプレートと実画像の一致度を高めることによる画像認識技術性能向上の両立にある。
【解決手段】
上記目的を達成するために、以下に設計データに基づいて、画像認識用のテンプレートを作成する際に、当該テンプレートによって特定される領域の材料情報に基づいて、当該テンプレート内の各位置の輝度情報を設定する方法，装置、及びプログラムを提案する。また、その一例として、材料の情報に加えて、上記領域上に配置されたパターンの大きさ，画像取得装置の装置条件，試料の層情報，パターンの線分情報の少なくとも１つの情報に基づいて、輝度レベルを設定する。 （もっと読む）

【課題】所定の領域内に視野を害する欠陥があるか否かを容易かつ確実に検査することができ、また検査者の検査結果への影響を低減することができるようにした眼鏡レンズ外観検査用欠陥限度見本具およびその製造方法を提供する。
【解決手段】眼鏡レンズの外観検査に用いる欠陥限度見本具１の凸面側光学面１ａに、光学中心Ｏを中心とする直径Ｄ₁ の突状体からなり外観検査基準の領域を示す領域境界線２と、この領域境界線２によって仕切られた領域毎にサイズが異なる複数の微小な点状の突部からなるブツ見本部３ａ〜３ｃ、４ａ〜４ｃをそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】
球面収差がある光学系では、焦点校正の試料がパターン形状の場合、検出信号が最大となるフォーカス位置がシフトし、正確な焦点校正ができない。
【解決手段】
検査装置として、被検査物を載置するウエハチャックと、載置した被検査物の検出画像信号を得る撮像系と、撮像系から得られる画像信号から欠陥を検出する画像処理部と、被検査物の表面位置を検出する高さ検出部と、焦点あわせを行う焦点制御部と、高さ検出部の焦点位置を決定するために、点像として検出される校正試料とを有することを特徴とする。前記校正試料は、標準粒子を具備してもよい。また、前記校正試料は、ウエハチャックの近傍に配置されることとしてもよい。 （もっと読む）

【目的】カードの全面を検査可能にする。
【構成】同一の絵柄が複数印刷されたシートを打抜くことによって得られるカードの画像が読み取られる。被検査カード画像と基準画像とが比較されることによって，カード検査が行われる。カード検査に用いられるカード基準画像は，上記カードよりも大きく，許容される打抜きずれの幅を超える余裕幅分，適正な打抜き範囲から外方に拡張している。カードの打抜き時に打抜き位置のずれが生じても，カードの全面を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】基準対象物から基準データを作成する場合、低コストで、かつ、簡単な操作で全体像を把握しながら、基準データを作成できるようにする。
【解決手段】基準対象物から取得された画像に基づいて基準データ作成する場合、ディスプレイに、基準対象物から取得された広域画像を表示させる第一表示領域と、当該広域画像の一部の領域を表示させる第二表示領域と、当該第二表示領域に表示された画像に基づいて基準データを作成する基準データ作成領域とを設ける。そして、第二表示領域に表示された画像に基づいて基準データの作成を受け付け、また、その第二表示領域に表示された画像の一部の選択を受け付け、当該選択された領域の画像を前記第一表示領域に表示させるとともに、当該選択された一部の領域の画像を前記第二表示領域に表示させて基準データの作成を受け付ける。 （もっと読む）