【課題】精度の高い露点センサを提供する。
【解決手段】発熱抵抗素子１と、発熱抵抗素子１の発熱温度が一定となるように発熱抵抗素子１に電流を供給する電流供給装置２と、発熱抵抗素子１に接することにより、一定温度に保たれる湿度検出素子３と、発熱抵抗素子１に供給される電流に基づき、湿度検出素子３に接する気体の温度を特定する気温特定部と、を備える、露点センサ。 （もっと読む）

【課題】様々な測定条件が刻々と変化する場合であっても、ＰＩＤ定数を適切に修正することができる鏡面冷却式露点計を提供する。
【解決手段】鏡面冷却式露点計１００は、ＰＩＤ制御により、受光部５０が受光する照射光の測定光量ＰＶが目標光量ＳＶになるよう調温部２０に対する操作量ＭＶを算出し、その操作量ＭＶに基づいて調温部２０を制御する制御部６０を備えている。そして、制御部６０は、操作量ＭＶの振幅を前記ＰＩＤ制御の比例ゲインＫ_Ｐで割ったものが所定の振幅上限値よりも大きい場合には比例ゲインＫ_Ｐを減少させ、操作量ＭＶの振幅を比例ゲインＫ_Ｐで割ったものが所定の振幅下限値よりも小さい場合には比例ゲインＫ_Ｐを増加させる。 （もっと読む）

【課題】露点温度を精度良く短時間で測定することができる鏡面冷却式露点計を提供する。
【解決手段】被測定気体に鏡面２ａが晒される鏡２と、鏡面２ａの一端部Ａを冷却する第１の冷却器３と、この冷却器３とは異なる温度で鏡面２ａの他端部Ｂを冷却する第２の冷却器４と、鏡面２ａの一端部Ａから他端部Ｂまでの温度を測定するために鏡２に付された複数の温度センサ５_１、５_２、・・・５_１１と、鏡面２ａの一端部Ａから他端部Ｂまで照射位置を走査させて光を照射する光走査部６と、鏡面２ａで反射した光の反射光を受光する受光部７と、受光部７の受光する光強度の変化、光走査部６の照射位置に基づいて、一端部から他端部Ｂまでの間の結露の開始位置を特定し、その結露の開始位置に近傍する温度センサ５から取得した温度を露点温度とする測定処理部とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】露点計測装置の製造工程において、温度較正工程を必要とせず、コストを抑えることができ、かつ、高い精度を維持することのできる露点計測装置および気体特性測定装置を提供する。
【解決手段】露点計測装置に相変化物質６を設け、相変化物質６を加熱して、相変化物質６を相変化させ、その相変化を温度変化、相変化物質６の電気抵抗変化、固有振動数変化などにより検出する。そして、相変化物質６が相変化したときの温度測定部の温度を、既知の上記相転移温度とする温度較正を行う温度較正を行う。 （もっと読む）

【課題】露点計測装置の製造工程において、温度較正工程を必要とせず、コストを抑えることができ、かつ、高い精度を維持することのできる露点計測装置および気体特性測定装置を提供する。
【解決手段】露点計測装置に相変化物質６を設け、相変化物質６を加熱して、相変化物質６を相変化させ、その相変化を温度変化、相変化物質６の電気抵抗変化、固有振動数変化などにより検出する。そして、相変化物質６が相変化したときの温度測定部の温度を、既知の上記相転移温度とする温度較正を行う温度較正を行う。 （もっと読む）

【課題】露点計測装置の製造工程において、温度較正工程を必要とせず、コストを抑えることができ、かつ、高い精度を維持することのできる露点計測装置および気体特性測定装置を提供する。
【解決手段】露点計測装置に相変化物質６を設け、相変化物質６を加熱して、相変化物質６を相変化させ、その相変化を温度変化、相変化物質６の電気抵抗変化、固有振動数変化などにより検出する。そして、相変化物質６が相変化したときの温度測定部の温度を、既知の上記相転移温度とする温度較正を行う温度較正を行う。 （もっと読む）

【課題】分子程度の大きさの液化分子の凝縮を容易に検出することができる結露検出装置、結露促進装置および結露検出方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る結露検出装置は、光源と、結露促進部１２と、受光部と、液体凝縮解析部と、を有する。結露促進部１２は、基板４１と、基板４１の上面に形成され所定の金属に表面の少なくとも一部を覆われた周期構造４２と、所定の金属により構成され周期構造４２の周期より小さい直径を有し周期構造４２の表面に付着した複数の金属微粒子４３と、を有し、所定の金属の周期構造の表面プラズモン共鳴および複数の金属微粒子の表面プラズモン共鳴により光源が照射した光の一部をプラズモン吸収する。受光部は、結露促進部による反射光を受光する。液体凝縮解析部は、受光部により受光された反射光にもとづいて結露促進部１２の上面の液体の凝縮を解析する。 （もっと読む）

【課題】鏡面の汚れや検出系の劣化を知ることができるようにする。
【解決手段】第１の熱電冷却素子（鏡面冷却用のペルチェ）への供給電流の制御を中断し、露点計測を休止する。所定時間の経過を待つことによって、鏡面に結露が生じていない状態を作り出し、この時の鏡面からの反射光の光量（受光量）Ｒｐｖを求め、この求めた受光量Ｒｐｖが予め定められている受光量基準範囲から外れていた場合、アラーム表示を行う。 （もっと読む）

【課題】応答性を犠牲にすることなく、簡単かつ小型な構成で、低露点の測定を可能とする。
【解決手段】熱伝導体１７（センサボディ１３、冷却ブロック１５、冷却板１６）の一端に鏡面冷却用の熱電冷却素子（第１の熱電冷却素子）２を取り付ける。熱伝導体１７の他端に補助冷却器として冷却能力の大きい熱電冷却素子（第２の熱電冷却素子）１８を取り付ける。第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御はメインコントローラ２４で行い、第２の熱電冷却素子１８への供給電流の制御はサブコントローラ２５で行う。 （もっと読む）

【課題】メインコントローラ側での制御状況と関連付けたサブクーラの動作制限を行う。
【解決手段】熱伝導体１７（センサボディ１３、冷却ブロック１５、冷却板１６）の一端に鏡面冷却用の熱電冷却素子（第１の熱電冷却素子）２を取り付ける。熱伝導体１７の他端に補助冷却器として冷却能力の大きい熱電冷却素子（第２の熱電冷却素子）１８を取り付ける。第１の熱電冷却素子２への供給電流の制御はメインコントローラ２４で行い、第２の熱電冷却素子１８への供給電流の制御はサブコントローラ２５で行う。この構成において、サブクーラ制御ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２９からのＯＮ／ＯＦＦの指令は、メインコントローラ２４を経由してサブコントローラ２５へ与える。メインコントローラ２４は、各種の異常診断を行い、異常と判断した場合、サブコントローラ２５の起動を阻止したり、サブコントローラ２５の動作を停止させたりする。 （もっと読む）