【課題】半導体基板の洗浄に使用される洗浄装置に付設される抵抗率計の電極において、気泡が発生し難く、仮に気泡が存在してもその気泡が滞留することを無くし、高い計測精度と安定性を得る。
【解決手段】円管状の外電極１内に棒状の内電極２を配置し、絶縁ホルダ３を介在させて本体４で保持する。本体４のネジ山４１により洗浄装置の測定配管内にネジ止めする。外電極１の先端は開口部１１とし、外電極１の基部１ａに流出孔１２を形成する。絶縁ホルダ３の流出孔１２に対応する位置の形状を、内電極２から流出孔１２にかけて傾斜する傾斜面３Ａを有する形状とする。内電極２の先端を円錐台部２１とし、その側面により傾斜面２１Ａを形成する。内電極２の基部２ａを円錐台部２２とし、その側面により傾斜面２２Ａを形成する。傾斜面２１Ａ、２２Ａ、３Ａにより流水の流れをスムースにする。 （もっと読む）

【課題】 構成のシンプル化及び装置全体の低コスト化を図りつつ、少流量、高粘度、高温度の試料液でも測定部の通過流量を安定よく一定に維持して長時間に亘る連続使用時にもＴＯＣ濃度を常に高精度な測定状態に保つことができる連続式ＴＯＣ濃度測定装置を提供する。
【解決手段】 測定対象となる試料液の測定フロー７に、チュービングポンプ６の逆転により空気を吸い込み、その後の正転復帰により順方向に流動する試料液の二つのフォトセンサ１４ａ，１４ｂ間での流動に要する時間から現在の流量を計測する流量計測部５と、その計測流量に基づいて試料液流量を自動補正するフィードバック式流量制御系８とを組み込み、それらによる流量計測及び流量自動補正動作を、連続測定中に定期的かつ自動的に行うように構成している。
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【課題】 装置全体の小型化及び低コスト化を図りつつ、長時間に亘る連続使用時にも圧力変動にかかわらず流量を安定化し、かつ、微少異物や気泡による影響もなくしてＴＯＣ濃度を高精度に測定できる連続式ＴＯＣ濃度測定装置を提供する。
【解決手段】 測定対象となる試料液を収容するオーバーフロー槽２、該オーバーフロー槽２から試料液を吸引するチュービングポンプ６と、このチュービングポンプ６により吸引された試料液にＵＶを照射して試料液に含まれる有機成分を酸化させ、ＵＶ照射前後の導電率の差に基づいて有機成分中のＴＯＣ濃度を測定する測定部と、試料液の流量を計測する流量計測部５と、試料液の圧力を正圧に維持する単一キャピラリー６とにより形成されるサンプリング測定フロー７に試料液を連続的に流動させることにより、該試料液中のＴＯＣ濃度を連続測定するように構成している。
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【課題】給水系または復水系配管に銅系材料が使用され、復水が脱気後再度補給水と共に
給水される純水給水ボイラ水系において、銅に腐食の影響を与えない給水・復水用ｐH調
整剤としてアンモニア以外の中和性アミンを使用して添加量を決定する際、ｐＨ計を使用
せずに管理できるボイラ水系の運転方法を提供すること。
【解決手段】脱気後の給水の電気伝導率を測定することにより、その値そのままか、また
はｐＨ値に換算し、設定値と比べて中和性アミンの添加量を増減することにより、腐食ト
ラブルなしにボイラ水系を運転することが出来る。 （もっと読む）

【課題】低コスト化、長寿命化および小型化を図ることが容易である上、汎用性、サニタリー性および信頼性に優れた導電率検出器を提供すること。
【解決手段】被測定流体が流れる流路１を内部に有する絶縁体２と、この絶縁体２に装着され前記流路１の周方向に間隔をおいて配置される四極以上の電極６〜９とを備え、当該電極６〜９によって被測定流体の導電率を得るようにしてあり、また、各電極６〜９はその先端部が流路側に向くように配置されていると共に、その先端面が前記絶縁体２の内周面とほぼ面一に連続するように構成されている。 （もっと読む）

【解決課題】被処理水の水質又は水温が変動しても測定値が安定しており且つメンテナンスが簡便なイオンセンサーを提供することにある。また、携帯性があるイオン分析装置又は安価であり且つ連続監視が可能なイオン分析装置を提供することにある。
【解決手段】処理水（試料水）が通水されるイオン交換体層、該イオン交換体層に通水される前の該処理水（試料水）の電気化学的測定値を測定する第一電極、該イオン交換体層の電気化学的測定値を測定する第二電極、及び該イオン交換体層の電気化学的測定値に対する該処理水（試料水）の電気化学的測定値の比を計算し、該比が設定値になると再生時期告知信号を発信する演算部（該比からイオン濃度を算出する演算部及び表示部）を有するイオンセンサー（イオン分析装置）。 （もっと読む）

【課題】絶縁性流体中に混入した導電性流体を検出することが可能な導電性流体検出装置を提供する。
【解決手段】冷媒３０に混入した水分を検出するための導電性流体検出装置１０は、冷媒３０が流通可能な管状部材２１１、ステンレス等から構成されたメッシュ部材１２２、１２４、及び、冷媒３０を通過可能であるが水分を保持可能な濾紙１２３、を有し、メッシュ部材１２２、１２４及び濾紙１２３は管状部材１２１の内部に積層して設けられ、濾紙１２３はメッシュ部材１２２、１２４の間に介装されているフィルタユニット１２と、メッシュ部材１２２、１２４間の抵抗値を測定する抵抗値測定回路１６と、メッシュ部材１２２、１２４間の抵抗値が低下したらポンプ１４への電力供給を停止させるリレー１７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ポンプなど機構的に複雑な試料供給手段を必要とせず、単純な構造でメンテナンスが容易、かつ、高感度な微生物検査チップを提供する。
【解決手段】 検査対象となる微生物を含む試料液を保持するリザーバ部３と、リザーバ部３に保持された試料液を回収する回収部６と、リザーバ部３が保持する試料液を、毛細管現象により回収部６へ導入する細管部５と、細管部５に設けられた、微生物を測定するための誘電泳動電極４と、誘導泳動電極４に交流電圧を印加してインピーダンス変化の測定を行う測定本体８との電気的接続を行う外部端子７とを備える。 （もっと読む）

【課題】
装置の小型化及び測定精度を向上させることのできる全有機体炭素測定装置を提供する。
【解決手段】
本発明の全有機体炭素測定装置は、酸化用流路９、試料水流路３、ガス透過膜１、測定水流路５および導電率測定電極７を複数の基板を積層して形成することにより、有機物酸化ユニット、二酸化炭素分離ユニットおよび導電率測定ユニットが一体化されている。試料水中の二酸化炭素はガス透過膜１を介して試料水流路３から測定水流路５へ透過し、測定水が導電率電極７に面した流路３３を流れることで導電率が測定され、全有機体炭素量に換算される。 （もっと読む）

【課題】 容器に採取した試料液の極一部を使うだけで測定でき、容器に残った試料液は汚染されないため他の水質測定に使うことが可能となる、小型で簡便に使用できる水質計を提供する。
【解決手段】 独立した概略筒状の本体１を有し、その本体１には、先端の吸引部４に連続して試料液の流路５と、試料液の流路５に設けた比較電極７及びガラス電極８のようなセンサー部とが設けてあり、試料液を吸引部４を通して流路５内に吸引し又は吐出するプランジャ６を備えている。センサー部からの信号の演算処理を行う制御部は本体１に内蔵されるか、又は別体に設置してケーブル２又は無線で本体１と接続する。また、本体１には、測定データを表示する表示部を備えることができる。 （もっと読む）