【課題】薄膜メンブレン構造体において、ヒータを含むセンサを搭載する際に、薄膜メンブレンの熱絶縁性をさらに向上させながら、薄膜メンブレンの保持性をさらに向上させることである。
【解決手段】薄膜メンブレン構造体１０は、薄膜メンブレン２０と、薄膜メンブレン２０を保持する保持基板３０とを備える。保持基板３０は、薄膜メンブレン２０の上下面のいずれか一方側の面を保持面として保持面の周縁部を保持する周壁部と、薄膜メンブレン２０の周縁部の内側である内側部の少なくとも１箇所で薄膜メンブレンの保持面を保持する内側保持部と、周壁部と内側保持部とを接続しながら薄膜メンブレンの保持面との間に空隙３１を有する接続部とを含む。 （もっと読む）

【課題】屋外装置が浸水しているか否かを精度よく検出することができる屋外装置の浸水検出方法を提供する。
【解決手段】屋外装置内の湿度を取得し、取得した湿度に基づいて単位時間当たりの湿度変動量を演算し、前記湿度変動量と予め設定された閾値とを比較し、前記湿度変動量が前記閾値を上回った場合に前記屋外装置が浸水していると判断することで浸水検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 従来の半導体式ガス検知素子を使用した呼気ガス検知計測器では呼気中のガスに含まれる検知目的のガス以外にも反応してしまうため、検知目的のガスを検知する正確性に欠けており、検知目的のガス以外のガスとの区別がつきにくいものであった。
【解決手段】 本発明は呼気中の支配的なガスを検知目的のガスと、検知目的のガス以外のガスとに判別することにより、支配的なガスが検知目的のガスであればそのガスの濃度を表示し、検知目的のガス以外のガスが支配的であれば検知目的のガスを計測することが不可能な環境である旨の表示や警告をすることで、誤った結果を表示することなく、呼気中のガスを的確に判定し計測することが可能になるものである。 （もっと読む）

【課題】望ましい多数のセンサー素子を収容し、さらに、自動車用途に使用するための実質的にすべての適用可能なサイズ制限、またはその他の望ましい工業環境に適合する、ガスセンサーデバイス中の部品として使用するためのガス検知装置および／または導電性装置を提供する。
【解決手段】（ａ）センサー素子と、（ｂ）センサー素子に電流を供給する導体とを含むガス検知装置であって、導体数対センサー素子数の比が約０．５８５以下である、ガス検知装置。 （もっと読む）

【課題】化学センサを具備する半導体装置の製造コストを低減し、あるいは、複数の測定原理によって精度の高い検出をする。
【解決手段】半導体装置は、第１のセンサ素子及び第２のセンサ素子を具備し、第１のセンサ素子は、第１の導電層と、第１の導電層上に形成された第１の感応膜とを有し、第２のセンサ素子は、第１の導電層とは異なる第２の導電層と、第２の導電層上に形成された第２の感応膜とを有する。センサ素子の製造方法は、センサ素子のうち導電層を半導体基板に又は半導体基板上に形成する工程（ａ）と、感応膜を構成する成分を含む液体を導電層上にインクジェット装置によって吐出して、感応膜を形成する工程（ｂ）と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】ウエハをメタルマスクで覆ってスパッタリングを行う際に、ウエハを覆うメタルマスクの位置を精度良く定めることができるダイヤフラム構造体を有する半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化性ガスを検知するガスセンサ素子の製造工程において、周知の方法によりシリコンウエハ１００の第二面１０１に電極５０，発熱体４０等を形成した後に、第一面１０２に、空洞部１２と、メタルマスクを保持する保持部材を取り付ける孔部７０を形成するための空洞部１４のパターニングを行う。そして、エッチング処理を行い空洞部１２，１４を形成し（図３（ａ）参照）、空洞部１４の底部をなす絶縁層２０を針等の貫通部材で貫通することにより、シリコンウエハ１００のデッドスペースに孔部７０を形成する（図３（ｂ）参照）。 （もっと読む）

【課題】衝撃や振動等によるダイヤフラム構造体上に設けられた層状部の剥離を抑制すると共に、生産性に優れたガスセンサを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム構造体３９Ｄ、４９Ｄと、ダイヤフラム構造体の絶縁層上に形成されたガス検知層を含む層状部３１、４１と、ガス検知層を介して互いに接続する一対の検知電極３６Ａ，３６Ｂ、４６Ａ，４６Ｂと、電極取出し辺３Ｐ、４Ｐに沿って設置されて検知電極に接続する一対の検知パッド３３、４３とを有するガス検出素子３、４と、検知パッドに接続する基板側パッド２３が表面に形成され、複数のガス検出素子が一列に並ぶよう実装された配線基板２とを備え、ガス検出素子の下面Ｒ１と配線基板の表面との間に介装される第１接着層６１，６２と、隣接するガス検出素子の下面Ｒ２同士を跨ぐように当該下面と配線基板の表面との間に介装される第２接着層６３とを備えるガスセンサ１０である。 （もっと読む）

【課題】 リチウムイオン電池および乾電池の両方を利用することができて使用上の利便性が高く、また、リチウムイオン電池が事故等により短絡した場合であっても、電源部について信頼性の高い防爆構造の得られる可搬型ガス警報器を提供すること。
【解決手段】 この可搬型ガス警報器は、複数のガスセンサおよび環境雰囲気の空気を吸引してガスセンサの各々に供給するガス吸引手段を備えたメインユニットに対して、リチウムイオン電池電源ユニットおよび乾電池電源ユニットのいずれか一方の選択されたものがメインユニットに対して他方と交換可能に装着される構成とされている。リチウムイオン電池電源ユニットは、リチウムイオン電池および保護回路基板が電池収容ケース内に充填された熱硬化性樹脂に埋設されてなるバッテリーパックを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサの検出精度が高められたときを精確に被験者に通知するガス分析装置を提供する。
【解決手段】本発明のガス分析装置は、検体ガスに含まれるガス成分を検出するためのガスセンサと、該ガスセンサの抵抗比を算出するための演算処理部と、該演算処理部で算出した抵抗比が１−２×１０^-3以上１＋２×１０^-3以下になり、かつその抵抗比が１０秒以上継続すると、検体ガスを導入すべきことを被験者に通知する通知手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）