【課題】クリーンルーム環境または装置内からフォトマスク表面に付着する成分を効率的にモニタリングし、フォトマスク表面を形成する各種膜の汚染状態をリアルタイムで把握することができる。よって、環境または装置内でトラブルが発生した場合においても瞬時に対応することが可能となり、歩留りの低下を最小限に食い止めることができる化学物質検出用センサーおよびそれを用いた化学物質検出装置が求められていた。
【解決手段】表面弾性波素子もしくは水晶振動子の表面に、フォトマスクの遮光部もしくは反射部の構成膜と同一組成の表面膜が形成されていることを特徴とする化学物質検出用センサーおよびそれを用いた化学物質検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、質量印加の効果と表面応力の変化による効果とを同時に定量的に分析可能なマルチサイズの圧電マイクロカンチレバー共振子アレイを用いた物理／生化学センサー及びその製作方法を開示する。
【解決手段】圧電マイクロカンチレバー共振子を用いた物理／生化学センサーにおいて、前記圧電マイクロカンチレバー共振子は、感知過程で発生する吸着された感知対象物質によるセンサー表面の質量変化だけでなく、表面応力の変化を区別して定量分析することができるように、互いに異なるサイズの多数の圧電マイクロカンチレバー共振子らが配列される構造で構成されることによって、質量印加の効果と共に表面応力の変化による効果とを同時に定量的に分析することができるようにした。 （もっと読む）

３つの変数（密度（ρ）、粘度（η）、及び弾性率（ｃ））のうちの２つに関する情報を提供するシステム及び方法。一つの変数が独立して分かれば、残りの２つの変数を単一のセンサで測定することができる。本発明は、ほぼせん断水平の音波デバイス（“準せん断水平”）と流体との相互作用に依存する。マルチモード共振器又は導波路の２以上の音響共振状態又は導波モードの相互作用での微妙な差異を測定し、そこから、所望の流体特性を導き出す。最良の実施形態は、一方の共振モードが高度の対称性を有し且つ他方が高度の反対称性を有するデュアルモード結合共振器フィルタージオメトリである。マルチモードの動作の追加の情報と、流体環境で動作する水平偏波準せん断水平音波デバイスの固有の能力との組み合わせによって、マルチモード準せん断水平（ＭＭＱＳＨ）共振器が得られる。 （もっと読む）

マイクロキャンチレバー検出ユニットを備えた人体組織液中被検成分含有量感知用センサであって、前記マイクロキャンチレバー検出ユニットは、第1の基板と、前記第1の基板に略平行し、一端が前記第1の基板に支持されたマイクロキャンチレバーと、前記マイクロキャンチレバーの少なくとも1つの側面に形成された金膜と、前記金膜に形成され、その表面において人体組織液中のブドウ糖分子を吸着するための蛋白質層と、前記第1の基板に設けられた駆動電極と、前記第1の基板における前記マイクロキャンチレバーを支持するための位置に形成され、前記駆動電極に結合して、前記マイクロキャンチレバーを前記第1の基板に垂直する方向において共振させるように駆動するマイクロキャンチレバー電極と、前記第1の基板に設けられ、前記マイクロキャンチレバー電極に結合して前記マイクロキャンチレバーの共振周波数を検出する検出電極とを含む。本発明はさらに、流体通路ユニット、センサシステム及び人体組織液中被検成分含有量の検出方法を提供する。
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【課題】乾性不溶解沈着物、乾性溶解沈着物、湿性不溶解沈着物、並びに、湿性溶解沈着物の捕集物質量時間推移を定量的に計測できる大気降下物の連続捕集装置を提供する。
【解決手段】ろうと状の乾性沈着物採取口と、上方に向けた開口を有する湿性沈着物採取口と、降雨を検出する降雨検出器及び煤塵採取口蓋と、煤塵採取口蓋開閉機構を備え、かつ、前記乾性沈着物採取口の後段に設けられ、前記乾性沈着物採取口から吸引された前記大気中粒子を粗大粒子と微小粒子とに分ける分級器と、粗大粒子用の乾性沈着物捕集器と、乾性沈着物捕集器交換装置と、微小粒子用の乾性沈着物捕集器と、循環気流路と、前記湿性沈着物採取口の下方に前記湿性沈着物採取口を通過した粒子を捕集する湿性沈着物捕集容器を備えた湿性沈着物捕集装置を備える。 （もっと読む）

【課題】酵母を用いて実際に発酵試験を行うことなく、迅速かつ簡便に原料となる麦芽に含まれる酵母凝集活性を測定する方法を提供すること。
【解決手段】本発明による麦芽の酵母凝集活性の測定方法は、被検麦芽から分離し濃縮された高分子多糖分と、コンカナバリンＡを固定化した水晶発振子とを緩衝液中において接触させ、高分子多糖分とコンカナバリンＡとの結合により生じる水晶発振子の振動周波数の変化を測定することを含んでなる。 （もっと読む）

【課題】安価且つ高感度の半導体センサ及び当該半導体センサの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板上に積層された複数の圧電薄膜と、前記複数の圧電薄膜の内、少なくとも上下１対の圧電薄膜の界面に形成された表面弾性波励起用の１対の電極と、最下層の圧電薄膜と当該最下層の圧電薄膜の直下の薄膜との界面に形成されると共に、最上層の圧電薄膜の表面における凸凹部の生成を促進させる金属薄膜と、前記最上層の圧電薄膜上において少なくとも前記凸凹部上に形成された分子吸着用の感応膜と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来のＱＣＭセンサー装置の構造では、容器体に入った溶液を攪拌する際に、容器体自体を揺り動かす方法もしくは容器体内の溶液にプロペラを浸漬する方法などが考えられるが、容器体内の溶液の攪拌条件が安定せず、容器体の底部に設けたＱＣＭセンサーに対して検出したい物質の遭遇確率が低下し、安定した性能を有するＱＣＭセンサー装置を得ることが難しかった。
【解決手段】本発明のＱＣＭセンサー装置は、攪拌体を圧電振動子に接触しない位置に規制することができ、マグネチックスターラーにより攪拌体を回転させることで攪拌条件を一定に保つことが可能となっており、基板上に設けたＱＣＭセンサーに対して検出したい物質の遭遇確率を低下させることなく、安定した性能を有するＱＣＭセンサー装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電センサ間において、測定対象物が吸着することによる圧電振動子の発振周波数の変化分のばらつきを抑え、測定対象物の量を高精度に検出することができる技術を提供すること。
【解決手段】本発明の圧電センサは、配線基板において圧電振動子の裏面側の引出電極と配線基板側の電極とが対向する部位に、導電性接着剤を収容するための凹部を備え、前記圧電片の周縁部が前記配線基板と密着した状態で前記凹部内の導電性接着剤と前記引出電極とが接着し、前記引出電極と前記電極とが電気的に接続されるように構成している。このようにすれば、水晶押さえ部材によって圧電片に加わる応力が圧電片の面内において均一に加わるようになり、圧電センサ間において水晶押さえ部材によって圧電片に加わる応力にばらつきが生じるといったおそれがない。 （もっと読む）

【課題】ランジュバン型の９ＭＨｚ以下の圧電振動子を用いて試料液中の測定対象物を検知する圧電センサにおいて、小型化を図り、且つ高い測定精度を確保できると共に、圧電センサ間におけるＣＩ値のばらつきを抑えて高精度な測定を行うこと。
【解決手段】円形状の圧電片の一面側及び他面側に円形状の励振電極と、当該励振電極から引き出され、前記電極に電気的に接続された帯状の引出電極と、が夫々設けられると共に、他面側の励振電極が前記凹部に臨むように当該凹部を塞いだ状態で配線基板に設けられ、前記圧電片の厚さに対する圧電片の直径の比が５０以下、主振動の周波数が９ＭＨｚ以下である圧電振動子を備えた水晶センサにおいて、前記圧電片に対する前記励振電極の面積の割合を６０〜７０％とし、前記引出電極の横幅の大きさを、前記励振電極の直径の大きさの０．３以下とする。 （もっと読む）