【課題】処理をするその装置その場において、処理に必要なガス以外の、製造には不必要なガスを導入することなく、ガスの種類、粘性等に左右されず、簡単かつ正確にプラズマ装置の供給ガスの分解率を測定するプラズマ装置の供給ガスの分解率測定装置及び方法を実現する。
【解決手段】プラズマ装置の反応装置３内における、プラズマ装置の反応装置３への供給ガスの物性値及びプラズマ発生後のプラズマ装置の反応装置３内のガスの物性値（粘性及び分子量等）を、所定の圧力下で水晶振動子センサ１で測定して、この物性値に依存する物性依存出力を生成し、供給ガスの物性依存出力に対するプラズマガスの物性依存出力の変化量から供給ガスの分解率を求める。 （もっと読む）

【課題】伝搬路に細胞が疎らに負荷されている場合であっても、細胞の物理的特性を正確に測定することができる細胞特性測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】細胞特性測定装置１０は、入力電極２１（２２、２３）、出力電極３１（３２、３３）間に細胞４４が負荷された培地４６が載置される短絡伝搬路４１（４２、４３）が形成された複数の弾性表面波素子１１、１２、１３を備え、弾性表面波素子１１、１２、１３は並列に配列され、入力電極２１（２２、２３）から信号を入力し、出力電極３１（３２、３３）から出力された出力信号に基づいて細胞４４の物理的特性を求める。 （もっと読む）

【課題】標準測定法に近い測定値を高精度に得ることができ、濾紙の詰まりを防いで圧力損失の低減を可能にしたダスト計を提供する。
【解決手段】試料大気が検出部に供給され、この検出部内の濾紙上のスポットにより試料大気中のダストを捕集すると共に、ダスト捕集前後の濾紙の質量変化をβ線吸収法により計測してダストの質量濃度を測定するダスト計において、試料大気が交互に供給され、かつ、それぞれ個別に配置された濾紙３３Ａ，３３Ｂによりダストを捕集する二つの検出部Ａ，Ｂを備え、一方の検出部、例えば検出部Ａがダストを捕集している期間において、他方の検出部Ｂが、ダスト捕集後の調湿動作、β線計測動作、ダスト捕集前の調湿動作、β線計測動作を順次実行する。 （もっと読む）

【課題】長期間交換する必要のないセンサを備える物質検出装置及び携帯電話機を提供する。
【解決手段】２次元マトリックス状に配置された複数のセンサ部２０と複数のセンサ部２０それぞれを外部から遮断する封止部１７とを有し、持ち運び可能な携帯電話機４の筐体４ａに着脱自在なマトリックスセンサ１０を備え、所定のセンサ部２０を指定し、指定されたセンサ部２０に対応する封止部１７を除去し、指定されたセンサ部１０による検出データを取得し、取得された検出データに基づいて、検出対象物質の濃度を算出し、算出された検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であるか否か判断し、検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であると判断された場合に、当該検出対象物質が検出された旨を報知し、複数のセンサ部１０の全てが指定された場合にマトリックスセンサ１０を交換するよう報知し、センサ部２０が劣化しているか否か判断するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体に吸着されるガスを高精度に検出する。
【解決手段】表面に第１の潤滑剤層が形成されている磁気記録媒体、及びガスセンサが、筐体内に配置されている。ガスセンサ２０は、検出面にガスを吸着することによってガスを検出する。この検出面に、第１の潤滑剤層に用いられている潤滑剤と同じ潤滑剤により第２の潤滑剤層２３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】周波数安定性の高い圧電振動子及びこの圧電振動子を用いた感知センサを提供する。
【解決手段】圧電振動子１は、第１の発振周波数を取り出すために圧電片１００に設けられた第１の振動領域１０５と、第２の発振周波数を取り出すために、弾性的な境界領域１０７を介して第１の振動領域１０６とは異なる領域１０５に設けられた第２の振動領域と、を有し、これらの各振動領域１０５、１０６に、前記圧電片１００を挟んで一面側と他面側とに設けられた励振電極１０１〜１０３を備えており、第１の発振周波数と第２の発振周波数との周波数差は、これらの発振周波数の０．２％以上、２．２％以下である （もっと読む）

【課題】圧電片の一面側に互いに離間して計測用の第１の電極と、参照用の第２の電極とが、他面側にこれらの電極に対向する共通電極が夫々設けられた圧電センサにおいて、第１の電極と第２の電極との間における電気的結合の影響を抑えて、信頼性の高い発振を行うことのできる圧電センサを提供すること
【解決手段】前記圧電片の一面側に互いに離間して設けられた計測用の第１の電極及び参照用の第２の電極と、前記圧電片の他面側に、第１の電極及び第２の電極に対向して設けられ、当該第１の電極及び第２の電極に対して共通な共通電極と、前記共通電極における第１の電極の投影領域内に形成され、試料流体中の感知対象物を吸着するための吸着層と、を備えるように圧電センサを構成して、試料流体のインピーダンスによる第１の電極、第２の電極の電気的な結合を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハの薄膜への微粒子の吸着を低減させ、ケミカル汚染物質の汚染濃度をより正確に測定できる汚染濃度計測装置を提供すること。
【解決手段】一端部に計測対象となる空気を導入する空気導入部２１を設け、他端部に導入した空気を排出する空気排出部２２を設けたケーシング２と、該ケーシング２の内部に装填された水晶振動子３とを備えた汚染濃度計測装置であって、導入する空気から微粒子を除去するフィルタ２１ａを空気導入部２１に備えたので、導入する空気から塵芥のような微粒子が除去される。したがって、シリコンウエハへの微粒子の吸着が低減され、ケミカル汚染物質の汚染濃度をより正確に測定できる。 （もっと読む）

プロセスの水媒体に浸漬された表面上への微生物学的堆積物を含む１つ以上の堆積物を監視するための方法が開示される。微生物学的堆積に関して所望の結果を達成するために、この方法は、（ａ）水媒体と接触するＱＣＭ（ｑｕａｒｔｚ ｃｒｙｓｔａｌ ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃｅ：水晶振動子微量天秤）であって、該ＱＣＭは水媒体と接触する頂部側表面、及び水媒体とは分離される第２の底部側表面を有するＱＣＭを提供すること；（ｂ）抗原又は抗体を使用することなく、微生物学的堆積物を含む１つ以上の堆積物の種類に選択的な組成物を提供すること；（ｃ）前記組成物を前記ＱＣＭ表面の頂部側面に塗布すること；（ｄ）水媒体からの前記ＱＣＭ表面の前記頂部側面への前記堆積物の堆積速度を測定すること；及び（ｅ）随意に、１つ以上のプロセスのパラメータ又はプロセスに加えられる化学的成分若しくはそれらの組み合わせを変更するための修正活動をとることを含む。 （もっと読む）

【課題】従来よりも容易かつ安価に製造することができる水晶振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】分子状又はガス状の汚染物質を吸着するシリコンウエハの薄膜７Ａを表面に設けられた電極３２に積層した水晶振動子３の製造方法であって、導電性を有する導電性接着剤６によりシリコンウエハの薄膜７Ａを電極３２に貼付する工程を含むので、蒸着、スパッタリング、あるいは化学気相成長法等のように高価な設備を必要とせず、水晶振動子３を容易かつ安価に製造することができる。 （もっと読む）