【課題】 耐熱性や耐久性に優れ、さらに作製が容易で製造コストの低い湿度センサ等の微量質量センサを提供すること。
【解決手段】 基板３と、該基板３上に成膜された金属の電極膜４と、該電極膜４上に成膜された感応膜２と、を備え、該感応膜２が、繊維表面を酸化処理して親水化した微細炭素繊維で形成されている。また、感応膜２が、微細炭素繊維の分散液を電極膜４上に塗布して乾燥させた膜である。なお、微細炭素繊維は、カーボンナノチューブであり、基板は、ランガサイト単結晶で形成されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 桁数の多いカウンタが不要であると共に簡易な演算でセンサ信号処理が可能なセンサ装置を提供すること。
【解決手段】 それぞれ振動子を有した第１のセンサ１Ａ及び第２のセンサ１Ｂと、第１のセンサ１Ａに接続されてその振動子を発振させると共に発振周波数を第１の周波数として検出する第１の発振回路部１２Ａと、第２のセンサ１Ｂに接続されてその振動子を発振させると共に発振周波数を第２の周波数として検出する第２の発振回路部１２Ｂと、第１の発振回路部１２Ａと第２の発振回路部１２Ｂとに接続され第１の周波数と第２の周波数との差を差分信号として出力する減算回路部１３と、該減算回路部１３に接続され差分信号から低周波成分を取り出してビート周波数として検出するローパスフィルタ回路部１５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成、低コストで、物質の検出を精度良く行うことのできる物質検出システムを提供することを目的とする。
【解決手段】物質検出システム１０では事前のサンプリングによりデータベース５７に蓄積したサンプリングガスのデータに基づき、測定処理部５０が主成分解析を行うことで、未知の物質を含んだガスの有無や、存在する物質種の特定、ガス混合比や濃度の特定を行う。
ここで、物質検出システム１０では、振動子４１の形式や、分子認識膜４２の材質を異ならせることで、その識別能を高める。 （もっと読む）

質量応答化学センサーであって、この化学センサーは、その検出表面に不活性化細胞が接着しており、分析物リガンドと接着した不活性細胞との間の相互作用を、分析物リガンドの細胞への結合に起因するセンサー表面の質量変化によって検出するのに適しており、このセンサーは、フローセルを備えるか、またはその一部分を形成している。 （もっと読む）

【課題】
「ＪＩＳ」の場合には、０．００１ｍｇ／ｍ^３以下の濃度の測定方法に関しては、設定されていなかったし、２０ｍｇ／ｍ^３以上の濃度の測定方法に関しても、設定されていなかったし、オイル分による汚染レベルの高さによって、二つの方法を使い分ける必要があったし、測定に際して、異物の混入を防止し正確性を高める意味から、色々な点で注意深い配慮を必要とした
【解決手段】 圧縮空気の流量を積算し、圧縮空気をノルマルヘキサン液４４に通すことでオイルミストをノルマルヘキサン液４４に溶解させ、オイルミストの溶解による増加量を計量し、それによって油分濃度を測定した。 （もっと読む）

２から２０ｎｍに及ぶ平均細孔径、ｐＨ７超の等電点により定義された基本表面特徴、および５０ｍ²／ｇ超の比表面積を有するメソ多孔質遷移金属酸化物をＮＯｘ膜としてＮＯｘ検出装置に組み込むことができる。このメソ多孔質遷移金属酸化物は、イットリウム、ランタンおよび／またはセリウムの酸化物を含み、界面活性剤鋳型自己組織化プロセスを使用して形成できる。
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【課題】高温ガス中の付着性物質の付着傾向をその場で容易にしかも的確に判定することができる方法と、この判定結果に基づいて付着物抑制剤の注入管理を適切に行うことができる方法とを提供する。
【解決手段】炉内又は煙道内の高温ガス中に、該ガス中の物質を付着させるための被着体１を挿入し、該被着体に付着した付着物の付着状況に基づいて付着物の付着傾向を判定する。この付着状況に基づいて付着物抑制剤の添加量を制御する。 （もっと読む）

【課題】圧電センサの検出能力の向上を図る。
【解決手段】圧電片の一面側及び他面側に各々密着層を介してスパッタリングにより金層からなる電極が形成され、前記一面側の電極の表面には抗体からなる吸着層が設けられ、他面側の電極は気密空間に臨むように設けられ、前記抗体に吸着された抗原を圧電片の振動数の変化に応じて検出する圧電センサにおいて、前記電極と発振回路とを接続する導電路と、前記電極を導電路に固定するために当該電極から導電路に跨って設けられ、前記金層に導電性フィラーが接合した状態でバインダーが硬化する導電性接着剤と、を備え、前記金層の厚さは３０００Å以上とする。 （もっと読む）

【課題】プレーナー技術を用いて作られる小型化されたセンサーを提案する。
【解決手段】（ａ）少なくとも１つの可動性の塊を形成する第１の厚さを示す、厚い領域と呼ばれる半導体材料の第１の領域、（ｂ）基板に対して可動性の塊における少なくとも１つのピボットリンクを形成する、半導体材料の第２の領域であって、基板の平面に平行に走るピボットリンクの軸を有する第２の領域、（ｃ）ピボットリンクの軸の周りにおける可動性の塊の運動の検出用の吊るされたタイプの歪みゲージを形成する第２の領域の厚さより薄い厚さを有する、薄い領域と呼ばれる第３の領域であって、ピボットリンクの軸を含まない、基板の面に平行な平面において延長し、ピボットのねじり軸に垂直な平面において延長し、一側部において可動性の塊に結合され、他側部において基板に結合される第３の領域、を有するという事実によって特徴づけられる表面タイプのＭＥＭＳセンサーを含む。 （もっと読む）

【課題】振動子の安定した振動を確保しながら振動子を支持する検出素子を提供する。
【解決手段】検出素子１０は、キャップ１，４と、支持部材２，３と、振動子５と、アンテナ６〜８とを備える。支持部材３は、キャップ４に接してキャップ４上に配置され、支持部材２は、支持部材３に接して支持部材３上に配置され、キャップ１は、支持部材２に接して支持部材２上に配置される。振動子５は、非振動部材５１、振動部材５２および連結部材５３からなり、非振動部材５１が支持部材２，３間に挿入されることによって固定される。アンテナ６，７は、支持部材３およびキャップ４間に挿入されることによって固定され、振動子５の下側に配置される。アンテナ８は、キャップ１および支持部材２間に挿入されることによって固定され、振動子５の上側に配置される。そして、アンテナ８は、その一方端が接地電位に接続されている。 （もっと読む）