【課題】振動子の安定した振動を確保しながら振動子を支持する検出素子を提供する。
【解決手段】検出素子１０は、キャップ１，４と、支持部材２，３と、振動子５と、アンテナ６〜８とを備える。支持部材３は、キャップ４に接してキャップ４上に配置され、支持部材２は、支持部材３に接して支持部材３上に配置され、キャップ１は、支持部材２に接して支持部材２上に配置される。振動子５は、非振動部材５１、振動部材５２および連結部材５３からなり、非振動部材５１が支持部材２，３間に挿入されることによって固定される。アンテナ６，７は、支持部材３およびキャップ４間に挿入されることによって固定され、振動子５の下側に配置される。アンテナ８は、キャップ１および支持部材２間に挿入されることによって固定され、振動子５の上側に配置される。そして、アンテナ８は、その一方端が接地電位に接続されている。 （もっと読む）

【課題】水溶性金属フタロシアニン錯体、センサー素子、センサー及びセンサー素子の製造方法の提供。
【解決手段】水溶性金属フタロシアニン錯体。


ここで、Ａはイオン性親水性基、Ｍは金属元素、ｎは１〜８から選択される整数を表す。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子を保持する水晶振動子保持装置、および、水晶振動子保持装置を備える電極処理システムを提供する。
【解決手段】１対の電極から水晶片の両主面に平行に伸びるリードが固定部材９６に固定された水晶振動子９の電極に所定の処理を行う電極処理システムにおいて、水晶振動子９を保持するホルダ８１が、固定部材９６に形成された第１嵌合構造９６０と嵌り合う第２嵌合構造８１０を備え、第２嵌合構造８１０に設けられた開口から吸引が行われることにより第１嵌合構造９６０と第２嵌合構造８１０との嵌合状態が維持される。これにより、水晶振動子９を強固かつ位置精度良く保持することができる。また、水晶振動子９を保持する際に第１嵌合構造９６０と第２嵌合構造８１０との摩擦により発生するパーティクルが、第２嵌合構造８１０の開口から吸引されるため、水晶振動子９に対するパーティクルの付着を防止しつつ水晶振動子９を保持できる。 （もっと読む）

【課題】フェライト皮膜形成作業が終了するまでに要する時間を短縮できるプラント構成部材の表面へのフェライト皮膜の形成方法を提供する。
【解決手段】プラント構成部材であるＢＷＲプラントの再循環系配管に皮膜形成装置を接続する（ステップＳ１）。皮膜形成装置から、ｐＨ調整剤、鉄（II）イオンを含む薬剤及び酸化剤を含む皮膜形成水溶液を再循環系配管に供給する（ステップＳ４〜Ｓ６）。再循環系配管の皮膜形成水溶液と接触する内面にフェライト皮膜が形成される。皮膜形成装置の皮膜形成水溶液を供給する皮膜形成液配管内に配置された水晶振動子電極装置によって、フェライト皮膜の形成量を計測する（ステップＳ７）。計測されたフェライト皮膜量に基づいて得られたフェライト皮膜の厚みが設定厚みになったかを判定する（ステップＳ８）。皮膜の厚みが設定厚みになったとき、フェライト皮膜形成作業を終了する。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の電極に薄膜を再現性よく形成するとともに、成膜処理を効率よく行う。
【解決手段】主感応膜形成部６は、処理液を貯溜するとともに、処理液中に水晶振動子が浸漬されることにより、水晶振動子の電極に対して成膜処理を行う処理槽６１、処理液を貯溜するとともに、供給ライン６３および排出ライン６４を介して処理槽６１に接続される処理液タンク６２、並びに、成膜処理が行われている間に、処理液タンク６２内の処理液を設定温度に調整する温度調整部６５を備える。主感応膜形成部６では、成膜処理毎に処理槽６１内の処理液を、処理液タンク６２内の設定温度の処理液に交換することにより、水晶振動子の電極に薄膜を再現性よく形成するとともに、成膜処理が行われている間に処理液タンク６２内の処理液を一定の設定温度に調整することにより、成膜処理を効率よく行うことが実現される。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の電極に対して所定の処理を行う電極処理装置、および、特定物質の検出用の水晶振動子を製造する水晶振動子製造システムを提供する。
【解決手段】キャリア９では、所定の方向に一列に並ぶ水晶振動子８１を振動子列８０として、複数の振動子列８０が当該方向に垂直な配列方向に配列した状態で保持される。主感応膜形成部６では、複数の処理槽６１の内部に複数の振動子列８０がそれぞれ配置され、複数の処理槽６１において複数の振動子列８０の電極に対する処理が同時に行われる。このように、振動子列８０毎に処理槽６１が設けられることにより、３次元的流動が抑制され、不均一、あるいは、不良水晶振動子の発生が抑制され、また、処理中の各振動子列８０において他の振動子列８０からの不要物の付着が防止され、各水晶振動子８１への他の水晶振動子８１からの影響が制限される。 （もっと読む）

【課題】吸着または付着した分子の脱離を速やかに行い、測定時間を大幅に短縮して測定効率を高めることのできる検出センサを提供することを課題とする。
【解決手段】検出膜２０への分子の吸着の有無またはその量を測定した後は、金属膜配線２９を介してヒータ２５に通電を行い、ヒータ２５の加熱により検出膜２０で吸着した分子の脱離を行うようにした。ヒータ２５により吸着物質を強制脱離させることにより、測定後必要であった数分単位の長いクリーニング時間を、秒単位にまで短くする。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の電極上にて処理蒸気を確実に凝縮させることにより、電極に対する処理を効率良く行う。
【解決手段】有機膜形成装置１６では、処理蒸気が配管１６３２内にて飽和温度よりも高い温度まで加熱されて処理チャンバ１６１の内部空間１６１０へと供給され、チャンバ加熱部１６７により飽和温度よりも高い温度のまま維持される。処理チャンバ１６１の内部空間１６１０では、電極冷却部１６５により処理蒸気の飽和温度よりも低い温度まで予め冷却されている水晶振動子９の電極上にて処理蒸気が凝縮し、凝縮した処理蒸気が電極の表面に付着することにより、処理蒸気による電極に対する有機膜の成膜処理が行われる。有機膜形成装置１６では、水晶振動子９の電極を冷却することにより、処理蒸気を電極上にて確実に凝縮させ、処理蒸気による電極に対する有機膜の成膜処理を効率良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】複数のカンチレバー型の振動子を用いつつ、振動子間の干渉を回避し、検出を高精度かつ効率よく行うことのできる検出センサを提供することを目的とする。
【解決手段】互いに長さの異なる振動子３０Ａ、３０Ｂ、…を備える検出センサ１０において、任意の振動子の長さをＬ、共振周波数をｆ_０としたとき、長さＬの振動子と、他の振動子との長さの差ΔＬを、
２（ΔＬ／Ｌ）＞１／Ｑ
となるように与える。このように互いに長さの異なる振動子３０Ａ、３０Ｂ、…を、互いに異なる周波数で動作させることで、同時に動作させても互いの干渉がなく安定して動作する。振動子３０Ａ、３０Ｂ、…のうち任意の一つを単独で動作させた場合にも他とは周波数が違うため機械的結合が小さくなり、影響が小さくできる。 （もっと読む）

【課題】表面弾性波素子に電気信号を印加したり、表面弾性波素子から信号を検出したりする過程で漏れ電流が発生することを防止することができる表面弾性波素子、表面弾性波装置、及びこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】表面弾性波素子１０は、圧電物質からなる基板２０と、上記基板上に位置し互いに離間する複数の第１電極２２と、上記基板上に上記第１電極２２と離間して位置し互いに離間する複数の第２電極４０、及び上記複数の第１電極２２及び上記複数の第２電極４０のそれぞれに位置する酸化膜２４とを含んでなる。 （もっと読む）