【課題】ビーム部が錘部を取巻くように略Ｌ字状に形成された半導体加速度センサにおいて、簡単な構造で錘部の水平移動を制限し、ビーム部の破損を防止する。
【解決手段】錘部３を構成する平面視正方形の部分を取り巻くように形成した細長いＬ字状のビーム部４の基端部４ａに隣接して、固定部２側から錘部３へ突出する凸部１５と、錘部３側から固定部２へ突出し、凸部１５を囲む受止め凹部１６を形成する。凸部１５の外形と受止め凹部１６の内壁はほぼ同一形状になっていて、錘部３の上下方向に直交する水平方向のいずれの方向への移動も、凸部１５が受止め凹部１６に受止められることによって制限される。従って、側方からの衝撃が加速度センサ１に加えられても、錘部３は大きく変位することはなく、ビーム部４に過大な応力が掛かってビーム部４が破損してしまうことがない。 （もっと読む）

【課題】簡単な製造方法で耐衝撃性等を向上させる。
【解決手段】加速度センサは、錘固定部１３を可撓的に支持する周辺固定部１２と、錘固定部１３に固定された錘部２３と、この錘部２３をパッケージ底部６１等のセンサ搭載部から所定の間隔をおいて配置するために周辺固定部１２を前記センサ搭載部に固定する台座部２１と、前記センサ搭載部に対向する位置に配設され、錘部２３の変位を制限するストッパ部１５とを備えている。そして、ストッパ部１５上等に直接、硬化性の弾性接着剤（例えば、液体から弾性体に硬化するシリコン系ゴム５０等）をディスペンサ等を用いて一定量塗布している。これにより、ストッパ部１５に加わる衝撃力等を弾性接着剤により吸収及び抑制でき、ストッパ部１５を補強して耐衝撃性等の機械的強度を向上できる。 （もっと読む）

【課題】加速度センサ、特に微細加工プロセスによって製造される加速度センサにおいて感度を容易に調節するとともに、形成された加速度センサの形成不良に関して、良否判定を容易に行うことを可能にする加速度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、台座部と、台座部に接続される梁部と、梁部に接続される錘部とを有する加速度センサであって、梁部の直下に梁部を支持する突起部を有することを特徴とする加速度センサを提供する。さらに、突起部は梁部を支持する第１の突起部分と第１の突起部分に隣接する第２の突起部分を有することを特徴とする加速度センサを提供する。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジが広く高周波数応答を有する、加速度を測定する方法を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、磁性流体（２０４）を用いて慣性体（２０２）を浮遊させること、磁性流体内において磁場を生成すること、磁場の変調によって、加速が原因の磁場発生源に対する慣性体の位置の変化を相殺すること、この変調に基づいて加速度を算出することを含む。算出工程では、変調に必要とされる駆動コイル（３０２）を介した電流の量に基づいて加速度を導き出す。加速度には、線加速度および／または角加速度が含まれる。駆動コイルは、永久磁石、電磁石、または永久磁石と電磁石との組み合わせを含む。センシングコイル（３０４、３０６）によって、慣性体の変位が検出され得る。各センシングコイルは実質的に、対応する駆動コイルの内側に配置され得る。慣性体の磁性はないか、弱くあり得、または、慣性体は強磁性体コーティングを有し得る。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減できると共に、ゲル状組成物の体積変化があっても検出精度を維持できる加速度センサを提供する。
【解決手段】基板１５の載置面１５ａに接合される台座１２と、台座１２に接合され撓み可能なセンサ部材１３と、センサ部材１３の撓み量を検出する歪みゲージ１７とを備えた加速度センサ１１において、センサ部材１３は、センサ部材１３の外枠を形成すると共に台座１２に接合された枠部１３ａと、重りとして機能するマス部１３ｂと、センサ部材１３に貫通孔１６が形成されていることにより相対的に形成されると共に枠部１３ａとマス部１３ｂとを連結する梁部１３ｃとを備え、歪みゲージ１７は、梁部１３ｃの撓み量を検出し、センサ部材１３と台座１２とがなす空間Ｓ１に充填されたシリコーンゲル１４を備えた。 （もっと読む）

【課題】フレーム部の一表面に直交する方向への重り部の変位量を制限するストッパ片の破損が起こりにくく耐衝撃性に優れた半導体加速度センサを提供する。
【解決手段】センサチップ１は、矩形枠状のフレーム部１１の開口窓内に配置される重り部１２がフレーム部１１の一表面側において撓み部１３を介してフレーム部１１に揺動自在に支持されている。重り部１２は、コア部１２ａと、コア部１２ａと一体に形成されコア部１２ａとフレーム部１１との間の空間に配置される付随部１２ｂとを有する。フレーム部１１は、上記一表面に直交する方向において付随部１２ｂと離間し上記一表面側への付随部１２ｂの変位量を制限する薄肉のストッパ片１５が各コーナー部１１ａそれぞれから一体に突設され、ストッパ片１５における付随部１２ｂとの対向面側においてストッパ片１５を補強する補強部１６が一体に突設されてなる。 （もっと読む）

【課題】 小型化、低価格化が可能である上に、構造が簡素で同規格のものを高い再現性で容易に製造することができ、しかも３６０度の方角の過大衝撃を記録することができる衝撃記録素子を提供する。
【解決手段】 重り体４と、重り体４を中央域３aと周辺域３bとの間で移動可能に収容する空洞３を有するケーシング２と、ケーシング空洞３の両側開口部にそれらを閉塞するように設けられると共に重り体４をその両側から弾力的に挟圧してなり、少なくとも一方が重り体４と嵌合する弾性振動板からなる第一保持体５及び第二保持体６と、ケーシング空洞３に収容された重り体４の位置を空洞３の外部から検知する重り体検知手段とから構成される。 （もっと読む）

本発明の側面によると、プロセスは、ボンディングされた、エッチ・バック絶縁体上シリコン（以降は、ＢＥＳＯＩと称する）方法に基づく。ＢＥＳＯＩ方法は、絶縁体上シリコン（ＳＯＩ）ウェハを含み、絶縁体上シリコン（ＳＯＩ）ウェハは、（ｉ）ハンドル・レイヤ、（ｉｉ）二酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）レイヤであることが好ましい誘電体レイヤ、及び（iii）装置レイヤを有する。最初、装置レイヤは、メサ・エッチングによってパターン形成される。装置レイヤがパターン形成された後、ＳＯＩウェハは、基板に面する、パターン形成された装置レイヤを有する基板にボンディングされる。ＳＯＩウェハのハンドル・レイヤ、及び誘電体レイヤは、エッチングによって除去される。更に、装置レイヤが、ＭＥＭＳ装置を定めるためにエッチングされる。ＢＥＳＯＩ方法では、誘電体ＳｉＯ₂レイヤが除去された後に構造エッチングが実行される。 （もっと読む）

直線加速度又は角加速度、速度、或いは傾斜角を測定することのできる対流加速度計が提供される。加速度計は、液剤を含むシールドハウジングの内側に位置する、対流に敏感な検知素子を備える。外部から加速度を加えることにより、液剤の強制対流が生じ、検知素子によって生じる電流において、加えられた加速度又は傾斜角に比例する変化が生じる。加速度計は、サイズが小さく、きわめて広い周波数範囲及びダイナミックレンジ、高い感度、単純なデザインを有し、大量生産に適している。この装置には、安定化システム及び制御システム、自国の保安、石油探査など、広範囲の用途がある。 （もっと読む）

【目的】加速度センサの感度の変化を優先して較正することができ、充分に信頼性の高いエアバッグ装置を提供すること
【構成】診断用変位力装置３から加速度検出器１に所定の変位を与えて感度の較正が行なえるようにし、マイクロプロセッサ５に第１の所定の周期で逐次動作する感度較正係数算定処理と、上記第１の所定の周期よりも小さい第２の所定の周期で逐次動作するセンサ出力補正処理とを実行させるようにしたもの。
【効果】 加速度センサの随時較正を可能にし、加速度センサを使用したエアバッグシステムの信頼性及び衝突検出の確度を向上することができる。 （もっと読む）