【課題】感熱素子の周囲温度と、感熱素子の温度補償のための処理を行う処理手段（処理回路）の周囲温度とが互いに無関係に変化しても、適切な温度補償が行えるようにする。
【解決手段】検出対象の温度に関する情報から感熱素子１の温度補償を行う一方、前記感熱素子１の温度補償のための処理および検出対象に対する所望の検出を行う処理手段（これには、例えば差動増幅器７が含まれる）に対してもそれ自身の温度に関する情報から温度補償を行うようにした。前記処理手段は、当該処理手段のオフセット調整および／またはゲイン調整をするための感温素子Ｒ９，Ｒ２を有していることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】コストを低減しつつ簡素な回路を用いて応答性を向上させることができる風速センサ、このような風速センサを用いた風量センサ、及びこのような風量センサを用いる燃料電池システムを提供する。
【解決手段】風速を検出しようとする気体中に配置されるダイオードＤ１，Ｄ２と、ダイオードＤ１，Ｄ２に、順方向電流を供給する抵抗Ｒ１，Ｒ２と、ダイオードＤ２を加熱するツェナーダイオードＺＤ１と、ダイオードＤ１で生じる順方向電圧Ｖｄ１とダイオードＤ２で生じる順方向電圧Ｖｄ２との差を示す差分信号Ｓ１を、風速を示す信号として出力する差動増幅回路５３１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】前記計測休止期間をなくし効率の良い計測を可能とするだけでなく、流速０でも計測を可能とする流体の流速計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】通電によりヒータ３は発熱を開始して、ヒータの温度は上昇し、感温体１及び感温体２に熱移動が生じ、感温体１の温度上昇による出力電圧１０がＶ２に到達することで比較機６からトリガー信号が出力され、論理素子８の出力がＬｏｗになり、ヒータ制御回路９はヒータ３への通電を停止する。これによって、感温体１及び感温体２に移動する熱が減り、感温体２で出力電圧がＶ１に到達することで比較機７からトリガー信号が出力され、論理素子８の出力がＨｉｇｈになり、ヒータ３への通電が開始される。この動作が繰り返し行われ、論理素子８から出力パルスが出力される。この出力パルスのパルス間隔Ｔ１及びＴ２を計測する。 （もっと読む）

本発明は、流量センサの測定装置、特に流速測定装置に関する。当該の測定装置は、カバーまたは中空体の内部の１つまたは複数の開口部に層抵抗体を含む。当該の層抵抗体は１つまたは複数の開口部に固定されている。各層抵抗体の抵抗値は１〜３オーダー異なっている。本発明の流速測定装置では、支承部材内に温度センサおよび加熱力センサが挿入されており、温度センサは温度測定抵抗および加熱導体を薄膜抵抗または厚膜抵抗としてセラミック基底部上に有する。当該の流速測定装置を自己洗浄するには温度センサを付加的な薄膜抵抗により加熱する。当該の流速測定装置を製造するにはカバーまたは中空体の開口部内に抵抗値の１〜２オーダー異なる層抵抗体を配置する。
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【課題】個体毎の特性にばらつきが生じている場合であっても、目詰まり検出制御を精度よく実施できる電子機器を提供する。
【解決手段】電子機器１の制御装置８は、目詰まり検出制御部８６による目詰まり検出制御を校正する制御校正部８８を備える。制御校正部８８は、電子機器１のモードを切り替えるモード切替部８８１と、校正モード時に校正モード用電圧で冷却ファン５１を駆動させるとともに風速測定装置７に風速を測定させる校正モード制御を実施する校正モード制御部８８２と、校正モード制御部８８２にて風速測定装置７に測定させたパラメータ生成用風速値と校正モード用風速値とに基づいて風速補正パラメータを生成する風速補正パラメータ生成部８８４と、校正モード時に冷却対象に送風される風速値の基準となる校正モード用風速値に関する校正モード用風速情報、および風速補正パラメータを記憶する第２のメモリ８８６とを備える。 （もっと読む）

【課題】メンブレンが薄くなり過ぎて割れてしまうことを防止できる物理量センサの製造方法を提供する。
【解決手段】熱式流量センサを形成するために用いるＳＯＩ基板の埋め込み層をＳｉＯ₂の一層のみによって構成せずに、シリコン基板１０の表面１０ｂに配置したシリコン窒化膜１１も備えた構成とする。これにより、シリコン基板１０をエッチングする際に、シリコン窒化膜１１がエッチングストッパとして機能し、シリコン酸化膜１２が除去されないようにすることができる。このため、シリコン酸化膜１２がエッチングされることによるメンブレンの薄厚化を防止することができ、メンブレンが薄くなり過ぎて割れてしまうことを防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高性能な感熱式流量検出素子の提供。
【解決手段】計測流体の流れ方向に間隔を開けて並置される１組の感熱抵抗体１１ａ及び１１ｂである発熱抵抗部と、感熱抵抗体１１ａ及び１１ｂに接続され電力を供給する配線部材２１、２２、３１、３２と、を有し、加熱された前記発熱抵抗部及び前記計測流体の間の熱伝達現象に基づいて該計測流体の流量又は流速を計測する素子である。そして、前記１組の感熱抵抗体１１ａ及び１１ｂにおける、中央部における間隔が端部における間隔よりも広くなる形状であることを特徴とする。本発明の感熱式流量検出素子においては配線部材が感熱抵抗体に接続される位置が計測流体の流れに対して直交する方向の両端部である。感熱抵抗体から配線部材に熱が伝達されるので配線部材に近い部位の方が、配線部材から遠い中央部よりも温度が低いので、端部よりも中央部における間隔を広くしている。 （もっと読む）

【課題】温度の変化を伴う流動する流体の中で、常に流体の温度変化に追随した流体の温度を高精度で測定し、かつ流体の温度と流速を同時に測定可能な、温度の測定方法及び該温度の測定方法に利用される温度計を提供することを課題とする。
【解決手段】測定方法１は、センサを加熱するセンサ加熱工程Ｓ２と、加熱されたセンサのセンサ温度を測定するセンサ温度測定工程Ｓ３と、測定時間帯に加えられたセンサに対する加熱量、及び測定時間帯前後の測定ポイントにおけるセンサ温度に基づいて、測定時間帯のセンサの放熱量を算出する放熱量算出工程Ｓ４と、算出された少なくとも二つ以上の測定時間帯に対する放熱量に基づいて、流体の温度を算出する温度算出工程Ｓ５と、流体の流速を算出する流速算出工程Ｓ６とを主に具備する。 （もっと読む）

【課題】デフロスタ装置から窓部材へ向って吹き出されるエアーの風速の測定方法に関し、従来では、測定の作業性の問題や、風速分布を正確に把握できないといった問題がある。
【解決手段】デフロスタ装置１によって、ダッシュボード２０のエアー吹出し口２１・２１からフロントガラス２（窓部材）の内側表面２ａに向けて吹き出されるエアー３・３の風速分布を測定する風速分布測定システムであって、前記フロントガラス２の内側表面２ａの複数の各測定点４ａ・４ｂ・・・における前記エアー３・３の風速を、独立して同時に測定するための複数の熱線風速計測部５ａ・５ｂ・・・を具備する構成とするものである。 （もっと読む）

【課題】量産に困難をきたすことなく、発熱体と感熱抵抗体との熱的結合を高くし、高流速を検出可能とする。
【解決手段】上流側温度センサ３Ｕおよび下流側温度センサ３Ｄを、ヒータ２の両側に、その櫛歯形状の凹凸方向を被検出流体の流れ方向Ａとほゞ平行にして配置する。この場合、ヒータ２からの熱が、まず櫛歯形状とされた温度センサ３Ｕ，３Ｄのクランク形状の連結部Ｊを加熱し、さらにそのクランク形状に沿って直線部Ｓを被検出流体の流れ方向とほゞ平行な方向へと伝わって行く。 （もっと読む）