【課題】本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサユニットおよびその信号検出方法に関し、角速度センサユニットの検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、角速度を検出する振動型のセンサ素子１およびそれを制御するＩＣ２を内蔵するパッケージとからなる角速度センサユニットにおいて、センサ素子１は駆動アーム５にドライブ電極６、モニタ電極７、センス電極８を設けるとともに、駆動アーム５を支持する支持アーム１６に設けられたモニタ電極７の配線電極１９に補正電極２０を設け、不要振動によりモニタ電極７に形成された不要信号を、同じ不要振動により補正電極２０に形成された補正信号で減衰させる構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】駆動錘と検出錘とを有する振動子を２つ備えた振動型角速度センサにおいて、外部衝撃に対する各駆動錘の同調性および各検出錘の同調性を高める。
【解決手段】駆動錘１５０、２５０は、当該駆動錘１５０、２５０がそれぞれ対向する部分に開口部１５２、２５２をそれぞれ備えている。また、検出錘１４０、２４０は、駆動錘１５０、２５０の内側にそれぞれ配置されている。そして、駆動連成梁４００は、第１振動子１００の駆動錘１５０と第２振動子２００の駆動錘２５０とを直接連結している。一方、検出連成梁５００は、駆動錘１５０、２５０の開口部１５２、２５２を介して第１振動子１００の検出錘１４０と第２振動子２００の検出錘２４０とを直接連結している。これにより、外部からの衝撃に対する各駆動錘１５０、２５０の同調性および各検出錘１４０、２４０の同調性の両方を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】外来ノイズに対する耐性を維持しつつ、内部ノイズに由来するノイズを抑えられる構成とすることで、高精度な静電容量型物理量センサ及び角速度センサを提供することにある。
【解決手段】検出素子１０は、外界からの物理量により変位可能に支持された可動体１８と、検出電極Ｅｆとを有する。シールド配線１６は、容量検出回路３０の入力に接続された配線の周囲に配置され、低インピーダンスの直流電位に接続される。検出素子１０と容量検出回路３０の接続部の低インピーダンスの固定電位に対する入力容量の値Ｃｉｎが、１．５ｐＦ＜Ｃｉｎ＜２０ｐＦの範囲とする。 （もっと読む）

【課題】角速度センサと加速度センサの向きを精度良く決め、光学機器の内部で発生する振動が各センサに影響しないようにする。
【解決手段】光学機器は、角速度センサ３０２，３０３と、加速度センサ３０４と、これらセンサが実装されたフレキシブル基板３０１と、該フレキシブル基板を保持し、該光学機器の本体２２に取り付けられるセンサ保持部材３００とを有する。センサ保持部材は、互いに異なる方向を向く平面として形成され、フレキシブル基板における角速度センサの実装部分および加速度センサの実装部分をそれぞれ保持する角速度センサ保持面３００ｂ，３００ｃおよび加速度センサ保持面３００ｄと、本体に平面として形成された本体側取り付け面２２ｅに対向する平面として形成され、該本体側取り付け面に振動吸収部材３０５を介して取り付けられる保持部材側取り付け面３００ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】より高精度に変位量を検出する角速度検出装置を提供する。
【解決手段】角速度を検出する角速度検出装置であって、光源部から射出された光が入射する第１の振動子を備える振動部材と、前記第１の振動子を介した前記光のうち分岐された第１の光と第２の光とを干渉させる光学部材と、前記第１の光および前記第２の光に基づく干渉光を受光する受光部と、前記第１の振動子の回転運動によって生じる前記干渉光の干渉縞の変化をもとに、前記第１の振動子の変位を検出する検出部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサの検知精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、支持梁１１と、前記支持梁１１により一端を支持された圧電体からなる駆動梁１２と、前記支持梁１１により一端を支持された圧電体からなる検出梁１３と、前記駆動梁１２及び前記検出梁１３の他端に設けられた錘１４とを備え、前記支持梁１１がＸ軸方向及び前記Ｘ軸に直交するＹ軸方向へと伸びる略十文字形状をし、且つ前記略十文字形状の４つの先端が固定されている構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】正確で信頼性が高く広範囲の開発に適した、マイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープ及びマイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープの制御方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳジャイロスコープは、固定構造体６と、駆動軸Ｘに従って前記固定構造体６に関して可動な駆動質量体７と、前記駆動軸Ｘに従って運動状態になるように駆動質量体７に機械的に連結され、且つ、微細構造体２の回転に応答して、駆動軸Ｙに従って前記駆動質量体７に関して可動な検出質量体８とを有する微細構造体２、及び、駆動周波数で前記駆動質量体７を振動状態に維持するための駆動装置３を備える。前記駆動装置３は、前記駆動軸Ｘに関して駆動質量体７の位置を検出するための離散時間検出インタフェース２０と、前記駆動子質量体７の位置に基づいて駆動周波数を制御するための制御手段２１、２３、２４、２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】特別な部品を用いることなく、安定でかつ垂直実装が可能で、かつ製造の容易な回路モジュールを提供する。
【解決手段】少なくとも、主表面である第１の面１０Ａに配線導体層を有するとともに、素子搭載領域を有し、前記第１の面が鉛直方向に沿うように設置される垂直実装用の回路基板と、前記素子搭載領域に搭載される素子チップ２０Ａ，２０Ｂとを有する回路モジュールであって、実装面の中心を通りかつ、前記回路基板１０の前記素子搭載領域形成面に平行な中心面上に、回路モジュールの重心が位置するように形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの耐衝撃性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路（図示せず）と、前記駆動信号が入力されることにより慣性力が検出可能となる検出素子と１１を備え、前記検出素子１１は、基部１２と、前記基部１２にその一端が接続されるとともに前記駆動信号により振動するアーム１３と、前記アーム１３の他端に接続されるとともに前記アーム１３の振動に伴い振動する錘１４と、を有し、前記錘１４の振動方向には前記錘１４と空隙を介して第１の振幅上限部１６が設けられた角速度センサとしたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、互いに直交する３軸に対応する角速度をそれぞれ検出する多軸角速度センサユニットの製造方法に関し、多軸角速度センサユニットにおける検出レベルの測定工程を簡略化し生産性を高めることを目的とする。
【解決手段】本発明は、互いに直交する検出軸７，８，９として角速度を検出する多軸角速度センサユニットにおいて、パッケージ５の内部にセンサ素子１，２，３およびＩＣ４を配置した後に、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸で構成する座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）における（１，１，１）で示される軸を回転軸２４とし多軸角速度センサユニットを回転させて各センサ素子１，２，３の角速度を検出し、この検出結果を予めＩＣ４に格納しておいた基準値データと比較させ各センサ素子１，２，３の検出レベルの補正値を設定する。 （もっと読む）