【課題】回転軸を振動子の面内に有しながら、振動漏れの少ない精度の高い角速度センサーを提供する。
【解決手段】角速度により生ずるコリオリ力に応じた圧電効果により回転運動を検出する圧電振動素子であって、両端に支持部を備え、捩れ振動モードで振動する梁と、前記梁の捩れ振動中心軸に対して直交して延出し回転運動を検出する１以上の検出腕と、を備え、前記梁の梁側辺と前記検出腕の腕側辺との交接部と、前記梁側辺の一部と、前記腕側辺の一部とを含み、前記検出腕を残して延在する調整部を備える圧電振動素子。 （もっと読む）

【課題】 Ｚ軸周りの角速度に対する感度の低下がなく、他軸感度を低減し、量産性に優れた、複数の検出軸を有する振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 ＸＹ平面に平行な平板にＺ軸方向の貫通穴加工を施して形成された振動子を有し、Ｙ軸及びＺ軸周りの角速度を検出可能であり、Ｙ軸方向に長手方向を有する第１のアーム３ｂと、その一端に接続され、第１のアーム３ｂの中心軸に関して対称な形状の第１の連結部４ｂと、そのＸ軸方向の両端に一端を接続され、Ｙ軸方向に長手方向を有する第２のアーム５ｃ、５ｄとを有する第１の振動子２１を有し、第２のアームをＸ軸方向へ屈曲振動させる第１の駆動手段と、第１のアームのＸ軸方向の屈曲振動を検出する第１の検出手段、および、第２のアームのＺ軸方向の屈曲振動を検出する第２の検出手段を備え、第１の連結部４ｂに生ずる振動の最大変位量は、第２のアームに生ずる屈曲振動の最大変位量に比べて１０％以下である。 （もっと読む）

【課題】移動体のロール角を高い精度で推定することが可能なロール角推定装置およびそれを備えた輸送機器を提供する。
【解決手段】ロール角推定装置１０のカルマンフィルタ８０は、ロール角速度センサ５１、ヨー角速度センサ５２、上下加速度センサ５３、前後加速度センサ５４、左右加速度センサ５５および後輪速度センサ７の検出値ならびに前回の推定動作によるロール角φ、車両速度Ｖ_ｘ、ロール角速度センサオフセットｂ_ｒ、ヨー角速度センサオフセットｂ_ｙおよび上下加速度センサオフセットｂ_ｚの推定値に基づいて、車体のロール角φ、車両速度Ｖ_ｘ、ロール角速度センサオフセットｂ_ｒ、ヨー角速度センサオフセットｂ_ｙおよび上下加速度センサオフセットｂ_ｚを推定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、第１、第２の質量部の振動が固定部を介して外部へ漏れることを低減するとともに、第１、第２の質量部の振動振幅が過大とならないようにでき、これにより、安定で、高精度な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは第１の質量部２４を共振駆動する振動周波数と、第２の質量部２６の固有周波数とに差を設けるとともに、前記第１の質量部２４を共振駆動する振動周波数と前記第２の質量部２６の固有周波数との差を、前記第１の質量部を共振駆動する振動周波数の±３８％以内としたものである。 （もっと読む）

【課題】パッケージ内に圧電振動片を確実に気密封止することが可能な小型の圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの封止工程は、例えば、真空チャンバーなどの内部にパッケージを収容して行う。まず、パッケージの封止孔２５に、合金からなる球状の封止部材９９ａを配置する。次に、真空チャンバー内を減圧することによりパッケージ内部を減圧し、封止孔２５の内周と球状の封止部材９９ａとの隙間を介して、パッケージ内部のガスを外部に排出させる。このとき、パッケージの外底面を形成する外部側の平板状基材１１ａの外部側の面とカバー板７０との隙間ｔが、球状の封止部材９９ａの直径Ｄよりも小さくなるようにカバー板７０を配置する（ｔ≦Ｄ）。これにより、内部空間Ｔ１から排出される気体の圧力により封止孔２５から球状の封止部材９９ａが飛び出そうとした場合に、その封止部材９９ａをカバー板７０で受け止めることができる。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性が高い、小型の物理量検出装置を提供する。
【解決手段】パッケージ１０の凹部に接合されたＩＣチップ３０の上方には、ジャイロ振動片２０が接合された中継基板４０が、パッケージ１０の凹部の凹底部分との間に隙間を空けて、且つ、間にＩＣチップ３０を配置しながら架設されている。ジャイロ振動片２０が搭載された中継基板４０の下面（ジャイロ振動片２０が搭載された面の反対側の面）側の略中央には、ＩＣチップ３０上に設けられたブロック体４５の上端面が接合部材３９により接合されている。これにより、中継基板４０の中央部分がＩＣチップ３０およびその上に接合されたブロック体４５による支持部により支持されるとともにパッケージ１０内に強固に固定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自己診断機能を有する回路の小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、ＡＤ変換器１３のサンプリン
グ周波数を変化させる周波数可変回路１５と、ＡＤ変換器１３の出力信号に通過帯域を制限するフィルタ１６と、フィルタ１６を通過したＡＤ変換器１３の出力信号におけるノイズレベルの積分値を算出する出力電圧判定回路１７と、を備え、ＡＤ変換器１３のサンプリング周波数を前記フィルタ１６における通過帯域外まで変化させることにより、ＡＤ変換器１３の量子化ノイズレベルを変化させ、当該量子化ノイズレベルの積分値が所定の範囲内にあるか否かを前記出力電圧判定回路１７において判定することにより自己診断を行う電子機器としたものである。 （もっと読む）

【課題】１つで、複数の検出軸を有する小型の物理量検出装置を提供する。
【解決手段】ＩＣチップ３０は、パッケージ１０の凹部の凹底部分となる第１層基板１１上に設けられたダイパッド１５上に、ろう材２９によって接着・固定されている。また、ＩＣチップ３０に設けられた複数の電極パッド３５と、パッケージ１０の対応するＩＣ接続端子１６とが、ボンディングワイヤー２７により接続されている。ＩＣチップ３０の４つの側面のうち、図中（＋）Ｘ軸側の側面には、ジャイロ振動片２０が、その主面をＩＣチップ３０のＸ軸側の側面と平行に向かせた態様で中継基板４０を介して絶縁性の接着剤３９により接着・固定されている。また、ジャイロ振動片２０は、導電性の銀ペースト４９などにより接着・固定されている。このとき、ジャイロ振動片２０の検出軸は、図中（＋）Ｘ軸方向を向いている。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性が高い、小型の物理量検出装置を提供する。
【解決手段】ジャイロ振動片１００が接合された中継基板２５０は、導電性接着剤２９６により、パッケージ２０２の第３層基板２３１により形成された第１突部端子２３４、第２突部端子２３５、第３突部端子２３６、第４突部端子２３７、および第５突部端子２３８に接続・固定されている。パッケージ２０２の凹部において第３層基板２３１により形成された段差上の、第１突部端子２３４と第２突部端子２３５との間、第１突部端子２３４と第３突部端子２３６との間、第２突部端子２３５と第４突部端子２３７との間、第３突部端子２３６と第５突部端子２３８との間、および第４突部端子２３７と第５突部端子２３８との間の５箇所の領域と、それらの上部に位置する中継基板２５０の一部とが、接着剤２９９により接合されている。 （もっと読む）

【課題】キャップ−基板間への異物混入を防止するＭＥＭＳセンサ及びその製造方法を得る。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサ素子を形成した基板上に、該ＭＥＭＳセンサ素子の上方を覆うキャップを接合してなるＭＥＭＳセンサにおいて、基板とキャップを接合する接合部をキャップ全周縁に沿って設け、この接合部の外囲面を、キャップ周縁の外囲面の延長面を基準として、該延長面と面一に位置させるかまたは該延長面より外側に位置させる。 （もっと読む）