【課題】小型で且つ振動漏れの少ない振動素子、およびそれを用いたセンサーを提供する
。
【解決手段】振動素子１００は、第１支持部２０ａおよび第２支持部２０ｂと、第１支持
部２０ａに一端が接続され、Ｙ軸に沿って延出する第１振動腕１０ａと、第２支持部２０
ｂに一端が接続され、Ｙ軸に沿って延出する第２振動腕１０ｂと、第１振動腕１０ａおよ
び第２振動腕１０ｂの他端に接続され、第１振動腕１０ａと第２振動腕１０ｂとの間に配
置された揺動体３０と、開口部３０ｂ、３０ｃを備えた揺動体３０の開口部３０ｂ、３０
ｃの内壁３０ａからＹ軸に直交するＸ軸に沿って延出する検出腕４０ａ、４０ｂと、を備
えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プロセス変動、温度変動、周波数変動による特性の変動が小さく、回路規模が小さいπ／２位相シフト回路を提供する。
【解決手段】一対の差動入力端子を構成する反転入力端子２０３ａ、非反転入力端子２０３ｂを有し、差動入力端子の一方に入力信号が、他方に基準電圧が与えられるコンパレータ２０３、コンパレータ２０３から出力される出力信号を積分し、積分信号である第１出力信号と基準電圧に係る第２出力信号とを出力する積分器２０４と、積分器２０４から出力された第１出力信号と、第２出力信号とを入力し、入力信号に対してπ／２位相をシフトしたシフト信号を出力するコンパレータ２０５と、によってπ／２位相シフト回路を構成する。 （もっと読む）

【課題】従来に比して高感度且つ高精度であり、しかも、耐久性を向上させることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本発明による角速度センサ装置１は、正多角形状の枠体６と、その枠体６に接続された複数のマス７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとを有する駆動部を備えている。枠体６は、多角形の辺に相当する複数の駆動梁５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄから構成されており、角速度センサ装置１は、多角形の中心点に相当する中心基部２と、多角形の頂点とを結ぶ直線に相当する複数の検出梁３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを含む検出部を更に有している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、温度センサからの出力信号のＸ軸切片が変化しても、補正後の出力信号にオフセットが発生するということのない、出力特性の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、温度補正回路１３６におけるＲＯＭ１３４に所定の基準温度でオフセット調整する補正データを格納するとともに、この補正データにより角速度出力信号の温度変化による変動を補正する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、タイミング信号にジッタを持つことにより、そのジッタ分だけセンス回路における検波動作に位相ズレΦが発生しても、出力信号が変動するということのない、出力特性の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ＰＬＬ回路１２１に位相監視手段１２６を設けてタイミング信号の位相の変動を監視するとともに、タイミング信号の位相の変動により生じる出力信号の変動値をキャンセルするジッタキャンセル値算出回路１３０を設ける構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】外形形状の小型化が可能なモーションセンサーの製造方法及びモーションセンサーを提供する。
【解決手段】モーションセンサーの製造方法は、センサー素子が収納されたパッケージ３０を複数用意する工程と、複数のパッケージ３０を、複数のリードフレーム１０５に個々に接続する工程と、複数のリードフレーム１０５の少なくとも一つのリードフレームのリード１０１部分を曲げる工程と、リード１０１をベース基板としてのリードフレーム５０が有するリード１１ａ〜１１ｄ、４１ａ〜４１ｄの接続面に接続する工程と、リード１１ａ〜１１ｄ、４１ａ〜４１ｄの一部が食み出すように複数のパッケージ３０を封止する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】絶縁溝と絶縁部材とで構成された絶縁部を有する半導体基板において、反りの発生を抑制する。
【解決手段】ミラーアレイデバイス１は、電極基板４を備えている。電極基板４は、その厚み方向に導通し且つ絶縁部５で囲まれることによって周辺の部分から絶縁された駆動電極４１を有している。絶縁部５は、電極基板４の表面４ａから形成された絶縁溝５１と、電極基板の裏面４ｂから埋め込まれて絶縁溝５１内に突出する絶縁部材５２とで構成されている。電極基板４には、電極基板４の応力を緩和するための応力緩和溝６が絶縁部材５２が埋め込まれた裏面４ｂ側から形成されている。 （もっと読む）

【課題】捩れ振動する振動片を備えた精度の高い物理量センサーを提供する。
【解決手段】振動片１００は、捩れ振動モードで振動し、且つ、互いに並んでＸ軸方向に伸長した第１駆動梁１１および第２駆動梁１２と、第１駆動梁１１および第２駆動梁１２の一端同士および他端同士を結合する支持部２１，２２と、Ｘ軸方向に対し直交するＹ軸方向に第１駆動梁１１および第２駆動梁１２の各々から伸長した第１検出腕３１と第２検出腕３２と、を備え、駆動モードにおいて、第１駆動梁１１および第２駆動梁１２は互いに逆方向に捩れ振動し、第１検出腕３１および第２検出腕３２は、Ｚ軸方向に振動し、且つ、第１検出腕３１および第２検出腕３２は、互いに同じ方向に振動し、検出モードにおいて、Ｙ軸方向まわりに角速度が加わったときに、第１検出腕３１および第２検出腕３２は、Ｘ軸方向に振動する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な回路構成を用いながら電荷／電圧変換およびバッファアンプの飽和を防止することにより、０点変動を低減させることができ、これにより、角速度の測定精度の向上を図ることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを可撓部２２の内周部から外周部にわたって設けるとともに、前記検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄの幅を質量部２３の中心からの距離に応じて大きくすることにより、検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄのコリオリ力に起因しない電荷分をキャンセルまたは極めて小さくなるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、陽極接合時に可動部がガラス基板へ張り付くことを防止し、製造コストを抑制し、且つ接合不良を防止するＭＥＭＳデバイスの製造方法及びＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係るＭＥＭＳデバイスの製造方法は、半導体基板に固定部と前記固定部の内側あるいは外側に位置する可動部を形成し、ガラス基板の一方の面上に前記半導体基板と対向させたときに前記可動部の周囲に位置する領域に導電部材を配置し、前記ガラス基板の他方の面を前記可動部と対向させた状態で前記半導体基板と前記導電部材の間に電圧を印加して前記半導体基板と前記ガラス基板の陽極接合を行う、ことを特徴とする。 （もっと読む）