【課題】熱応力や外部応力によって、力学量の検出精度が低下することが抑制された半導体装置を提供する。
【解決手段】バンプを介して、センサチップと基体とが接続された半導体装置であって、センサチップは、基板と、絶縁層と、半導体層と、が順次積層されて成る半導体基板を有し、半導体基板に形成されたセンシング部は、絶縁層と半導体層から成る、基板に固定されたアンカ部と、絶縁層が除去されて、半導体層から成る、基板に対して浮いた遊動部と、を有し、アンカ部は、固定アンカ部と、可動アンカ部と、を有し、遊動部は、固定アンカ部に支持された固定電極と、可動アンカ部に支持された可動部と、該可動部に設けられた可動電極と、バンプが接続される接続部と、を有し、接続部は、固定アンカ部を介して、固定電極と接続された固定接続部と、可動アンカ部を介して、可動部と接続された可動接続部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】パッケージに剪断歪みが作用しても、検出信号に不要信号が混入することを抑止できる振動ジャイロの提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ５０は、振動子１と蓋板５０Ａとを備える。振動子１は、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃ、駆動梁、検出質量部１７Ａ〜１７Ｄおよび支持梁を備える。駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃは駆動により振動する。駆動梁は、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃを支持し、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃから作用する力により撓み振動する。検出質量部１７Ａ〜１７Ｄは、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃの振動により作用するコリオリの力に対して変位自在な状態で、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃに支持される。支持梁は、駆動梁を撓み振動の節となる位置で支持する。蓋板５０Ａは、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃの振動方向および検出質量部１７Ａ〜１７Ｄの変位方向に平行であり、振動方向に平行な振動子１の中心線に対向する領域で、振動子の固定を行った構成である。 （もっと読む）

【課題】装置全体が小型でありながら、検出感度の高いセンサを製造することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明は基板上に形成される可動体として具現化される。その可動体は、第１枠体と、前記第１枠体に対して、互いに対向して、かつ部分的にあるいは完全に重なり合うように配置されている第２枠体と、第１ばね部を介して前記第１枠体と接続しており、かつ第２ばね部を介して前記第２枠体と接続している結合部と、第３ばね部を介して前記結合部と接続している、前記基板に固定された固定部を備えている。前記第１ばね部、前記第２ばね部および前記第３ばね部は、一方向のばね定数が他の方向のばね定数に比べて顕著に低く、実質的に当該一方向のみの相対変位を許容する。前記第１ばね部、前記第２ばね部および前記第３ばね部が相対変位を許容する方向は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】加工誤差によって、角速度変化に対するサーボ電圧変化が低下することが抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】基板と、対を成す振動子と、互いに直交する振動軸と検出軸との２軸方向に変位可能となるように、対を成す振動子同士を連結すると共に、それぞれを基板に連結する梁部と、対を成す振動子を、振動軸方向に互いに逆位相で振動させる駆動部と、振動子の振動、及び被検出軸方向の周りの角速度によって、振動子に発生したコリオリ力による、振動子の検出軸方向への変位を静電容量の変化として検出する検出部と、静電容量の変化に基づいて、対を成す振動子それぞれの検出軸方向への変位を抑制する抑制部と、を備え、抑制部は、第１抑制電極と第２抑制電極を有し、その電極間隔が、検出部の構成要素である検出電極の検出軸方向の幅の２倍となっている。 （もっと読む）

【課題】センサチップと基板との機械的な接続強度が向上され、且つ、力学量センサの体格の増大が抑制された力学量センサを提供する。
【解決手段】センサチップと、該センサチップと機械的及び電気的に接続される基材と、を備え、センサチップは、半導体基板と、センサ部と、半導体基板と基材とを機械的及び電気的に接続するための第１パッドと、半導体基板と基材部とを機械的に接続するための第１ダミーパッドと、を有し、基材は、基板と、バンプを介して第１パッドと機械的及び電気的に接続される第２パッドと、バンプを介して第１ダミーパッドと機械的に接続される第２ダミーパッドと、を有し、第１パッドは、半導体基板の中央領域内にて交差する十字線上に配置され、第１ダミーパッドは、十字線上を除く半導体基板の端に配置されている。 （もっと読む）

【課題】カメラからの映像を、地図情報と自車位置とのマップマッチング以外の用途にも利用することが可能なナビゲーション装置を提供する。
【解決手段】自車両の周辺を撮像し撮像信号を出力するリアカメラ２４と、自車両の走行状態を表す信号を出力する振動ジャイロ１４ａおよび速度センサ１４ｂと、リアカメラ２４が出力する撮像信号に基づいてキャリブレーション情報を演算する演算部３５と、キャリブレーション情報に基づいて、振動ジャイロ１４ａおよび速度センサ１４ｂのキャリブレーションを行うキャリブレーション部３６とを備えるナビゲーション装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、駆動振動時に水平方向のバランスを取ることができ、不要信号が発生しにくい角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサ素子は、上側基体２２の下面と下側基体２６の上面を接合し、上側基体２２および下側基体２６に対して、上側駆動部２３、２４および上側検出部２５と、下側駆動部２７、２８および下側検出部２９とを互いに対称配置させるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】回転に関する物理量を検出する物理量検出部を基体に固定するための固定構造であり、その物理量検出部に対する外部からの衝撃を緩和しながらも検出対象となる回転をその物理量検出部に選択的に伝達可能な固定構造を提供すること。
【解決手段】回転運動に関する物理量を検出する物理量検出部１０を基体１２に固定するための物理量検出部固定構造１００は、物理量検出部１０と基体１２との間に配置され、物理量検出部１０の並進運動をもたらし得る基体１２からの衝撃エネルギーを吸収する衝撃吸収部１４と、物理量検出部１０と基体１２との間に配置され、物理量検出部１０の回転運動をもたらす基体１２からの回転エネルギーを物理量検出部１０に伝達する回転エネルギー伝達部１６、１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】構造が簡素であり、低消費電力、低コストで応答速度の速い力検出センサーを得る。
【解決手段】圧電基板、及び該圧電基板の少なくとも一方の主面上に電極膜を形成した圧電振動素子１０と、圧電振動素子１０を片持ち支持する基台５と、圧電振動素子１０の自由端部に搭載した質量部２０と、を備えた振動型力検出センサー１である。圧電基板は、振動部１４ａ、１４ｂと、該振動部の両端部を夫々支持する支持部１２ａ、１２ｂと、を備えており、質量部２０は、一方の前記支持部１２ｂに搭載されている。圧電振動素子１０は、基台５の一方の主面と直交する方向の力が作用した際に振動部１４ａ、１４ｂと前記主面との間隙が変化して振動部１４ａ、１４ｂの等価抵抗が変化するように基台５の一方の主面と並行に粘性を有する接着剤２５を介して片持ち支持されていることを特徴とする振動型力検出センサーである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、傾斜した面に設置することが出来るとともに、小型な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ケース２１と、このケース２１の内底面に設けたＩＣ２７と、ケース２１の内底面に対して傾斜する傾斜面３１を有する基台２９と、基台２９の傾斜面に設けられるとともにＩＣ２７からの駆動信号により傾斜面に対して平行に駆動振動する振動子とを備え、ＩＣ２７の上面に基台２９の下面を接合する構成とした。 （もっと読む）