【課題】高精度の物理量検出信号を得ることを可能とした物理量センサを提供する。
【解決手段】外部から印加された物理量を電気信号に変換する振動子２０と、振動子を発振させる発振回路３０と、振動子からの被検波信号を発振回路からの検波信号に基づいて検波する検波回路６０を有する物理量センサ１００において、検波回路の前段で発振回路からの検波信号及び振動子からの被検波信号の何れか一方の信号をΔΣ変調し且つ変調信号Ｖ２６を出力するΔΣ変調器７０と、出力電圧が可変な可変電圧源と、可変電圧源の出力電圧を制御する制御部を更に有し、ΔΣ変調器は出力電圧を基準として作成されたフィードバック信号Ｖ２２を用いてΔΣ変調を行うことを特徴とする物理量センサ。 （もっと読む）

【課題】低駆動電圧化を図りつつ、物理量（例えば速度、加速度等）を高精度に検出することができる物理量センサー素子片、物理量センサー素子および物理量センサーを提供すること。
【解決手段】物理量センサー素子片２は、電圧の印加により捩り振動する４つの駆動用振動腕２２、２３と、駆動用振動腕２２、２３とは別体として設けられ、駆動用振動腕２２、２３が屈曲振動したときにその屈曲振動に伴って屈曲振動し、その屈曲振動の状態に応じた電荷を生じさせる２つの検出用振動腕１００とを有し、検出用振動腕１００で生じた電荷に基づいて、所定の物理量を検出し得る。 （もっと読む）

【課題】Ｚ軸方向に厚みを備えたダブルＴ型圧電振動片を有し、Ｘ軸回りの角速度を検出することができる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る物理量検出素子１００では、一対の駆動振動腕の一方３０ａと他方３０ｂとは、互いに逆位相でＸ軸方向に屈曲振動し、一対の駆動振動腕３０ａ，３０ｂの屈曲振動によって、一対の第１検出振動腕４０ａ，４０ｂと一対の第２検出振動腕５０ａ，５０ｂとは、互いに逆位相でＹ軸方向に振動し、Ｘ軸回りの回転の角速度により発生するコリオリ力によって、一対の第１検出振動腕の一方４０ａと他方４０ｂとは、Ｙ軸方向の振動に加えて、第１位相でＺ軸方向に屈曲振動し、一対の第２検出振動腕の一方５０ａと他方５０ｂとは、Ｙ軸方向の振動に加えて、第１位相と逆位相の第２位相でＺ軸方向に屈曲振動する。 （もっと読む）

【課題】電気的な接続信頼性が向上された力学量センサ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】力学量を測定するセンサ部と、該センサ部を収納するケースと、該ケースを収納する収納部と、を有する力学量センサであって、ケースは、複数のセラミックシートが積層されて成る有底筒状の絶縁基材部と、該絶縁基材部の内部に設けられた配線パターンと、配線パターンと電気的に接続され、絶縁基材部の表面に設けられた電極と、絶縁基材部の開口部を閉塞する閉塞部と、を備え、配線パターンの端部が、絶縁基材部の外面に露出され、その露出された配線パターンの端部の少なくとも一部が、絶縁部材によって被覆されている。 （もっと読む）

【課題】熱弾性損失を低減し、Ｑ値が高い振動片を提供する。
【解決手段】振動片１０は、屈曲振動をする振動腕３０と、振動腕３０の端部を結合する基部２０と、振動腕３０の振動中心に対して対称で、振動腕３０との結合部から基部２０との結合部に近づくにつれての幅が広がるテーパー部２５と、を有し、振動腕３０の長さをＬ、幅をＷで表し、テーパー部２５の長さをＬｔ、幅をＷｔと表すとき、テーパー部２５の形状を、テーパー長さ占有率η＝Ｌｔ／Ｌとテーパー幅占有率ξ＝２Ｗｔ／Ｗで律する。テーパー部２５の形状をこのようにすることで、振動に伴い発生する熱弾性損失を低減してＱ値を高め、安定した振動特性を実現できる。 （もっと読む）

【課題】漏れ調整と離調度調整をひとつのエッチング工程によって実現し、漏れ振動が抑制され、且つ、適正に離調度調整された高性能な水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶を所定の外形形状に加工する外形加工工程と、外形形状に電極を形成する電極形成工程と、漏れ量を測定する工程ＳＴ３と、離調度を測定する工程と、離調度の測定結果に基づいた時間エッチングを行い、外形形状を加工するエッチング工程と、を備え、エッチング工程は、エッチング時間と漏れ量測定工程の測定結果とに応じた形状のマスクを用いて外形形状のエッチングを行う漏れ量調整工程を有する水晶振動子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】電子回路の周囲に空間を要する半導体構成体の生産性を向上させる。
【解決手段】半導体ウエハ１１と、半導体ウエハ１１上の所定領域を囲むように形成された壁２３と、半導体ウエハ１１上の所定領域の外部に設けられた配線１９と、配線１９のランド上に設けられた外部接続用電極２１Ａ、２１Ｂと、壁２３の外部に充填され、配線１９を封止するとともに外部接続用電極２１Ａ、２１Ｂ及び壁２３と面一に設けられた封止樹脂２２と、壁２３の上部に配置され、所定領域の上部空間を封止する蓋２５Ｃと、を備える半導体構成体１Ｃである。 （もっと読む）

【課題】複数の検出軸まわりの回転の角速度を検出することが可能な振動片、それを用い
た角速度センサー、およびそれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】振動片１は、基部５と、その基部５の第１軸方向の両端部から延出された第
１駆動アーム２および第２駆動アーム３と、基部５の側面２０３から第１軸方向と直交す
る第２軸方向に延出された検出アーム４と、基部５の両端部の側面２０３から第２軸方向
に延出された第１連結梁７および第２連結梁８と、基部５と平行に延びて第１連結梁７と
第２連結梁８との先端同士を接続する支持部６と、を含む。第１および第２駆動アーム２
，３の第１表面２０１上には第１軸方向に沿って並行に設けられた第１および第２駆動電
極１２Ａ，１２Ｂが形成され、検出アーム４の第１表面２０１上には第２軸方向に沿って
並行に設けられた一対の第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の検出軸まわりの回転の角速度を検出することが可能な振動片、それを用い
た角速度センサー、およびそれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】第１基部６Ａと、第１基部６Ａの第１軸方向の両端部から略同じ長さで延出
された第１駆動アーム２Ａおよび第２駆動アーム３Ａと、第１基部６Ａの第１軸方向と直
交する第２軸方向の一方の端部から延出された第１検出アーム４Ａと、第１基部６Ａの第
１検出アーム４Ａが延出された一端部とは反対側の他端部から延出された接続部５と、接
続部５に一端部が接続された第２基部６Ｂと、第２基部６Ｂの接続部５と接続された一端
部とは反対側の他端部から第１検出アーム４Ａと略同じ長さで延出された第２検出アーム
４Ｂと、第２基部６Ｂの第１軸方向の両端部から第１および第２駆動アーム２Ａ，３Ａと
略同じ長さで延出された一対の第３および第４駆動アーム２Ｂ，３Ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板面に直交して変位する第１可動部分と、基板面に平行に変位する第２可動部分とを備えた構造体を積層構造体で実現し、第１可動部分と第２可動部分を入れ子構造とすることによって製造コストを低下させる。
【解決手段】積層構造体１０は、枠状の外側可動部２０と、外側可動部２０の枠内に収容されている内側可動部３０とを備えている。外側可動部２０にｙばね２１が接続されており、ｙばね２１によって外側可動部２０が外側基板８１から離反した高さにおいてｙ軸方向に変位可能に支持されている。内側可動部３０にｚばね３１が接続されており、ｚばね３１によって内側可動部３０が外側基板８１から離反した高さにおいてｚ軸方向に変位可能に支持されている。外側可動部２０とｚばね３１は、基板８１からの高さを異にしており、ｚばね３１が外側可動部２０から離反した高さにおいて外側可動部２０と立体交差している。 （もっと読む）