【課題】錘の励振時に発生する、コリオリ力と同方向の漏れ振動を抑制し、コリオリ力による錘の変位を正確に検出することのできる角速度センサを提供する。
【解決手段】ｘ錘２４およびｘ変位検出梁２０からなるｘ振動子とｚ錘２２およびｚ変位検出梁１８からなるｚ振動子が、プレート１６に支持され、プレート１６は励振梁１２に支持されている。励振梁１２は励振電極２６の励振によりｙ軸方向に振動させられる。励振用の梁と検出用の梁とを分離させることで、励振時に発生し得る漏れ振動を抑制できる。漏れ振動が抑制されることにより、ｘ振動子およびｚ振動子に掛かるコリオリ力を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】自動車のエンジンルーム等の温度変化範囲が広く、また振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に設置して動作させる場合、これらのセンサの信頼性を高く保つ必要がある。
【解決手段】角速度検出機能の診断手段と、加速度検出機能の診断手段と、ＤＳＰ（またはＭＰＵ）の診断手段と、同一データを格納した複数（多重化した）のＲＯＭと、ＲＯＭの診断手段と、ＲＡＭの診断手段と、センサ出力と診断結果の一括出力する手段と、外部装置からの出力要求に対し、センサ出力と診断結果を一括して出力する手段と、外部装置に対し、センサ出力および診断結果を一括して出力する際に、誤り検出符号を一緒に送信する手段とで構成される。
【効果】必要情報の伝達に要する時間が短縮される。また、センサ内の全ての診断処理をＤＳＰで実行するため、ＤＳＰの故障診断を実施することで、個々の故障診断機能自身に対する故障診断が不要となる。 （もっと読む）

【課題】 振動型ジャイロセンサーの検出精度を向上させる。
【解決手段】 基部１０と、基部から所定面内で第１方向（Ｙ軸方向）に延出する検出腕３０と、検出腕の連結部２５から、所定面内で第１方向と交差する方向である正の第２方向（＋Ｘ軸方向）に延出する第１駆動腕２０と、検出腕の連結部から負の第２方向（−Ｘ軸方向）に延出する第２駆動腕２０’と、を含み、第１駆動腕２０と第２駆動腕２０’の各々は、所定面に直交する第３方向（Ｚ軸方向）に、かつ変位方向が互いに同じになるように振動し、第１方向の軸回りに作用する角速度によって第２方向にコリオリ力Ｆｃが生じ、検出腕３０に第２方向の検出振動ＶＢが生じ、検出振動による歪みに対応して電界が生じ、電荷が移動し、電気信号が検出腕３０に設けられる検出電極から取り出される。 （もっと読む）

【課題】従来のジャイロセンサ素子の製造方法では、離調度層別をするためだけに振動測定用電極を形成する必要があり、多大な工数がかかり、リードタイムが長くなり、更には、不良発生の要因になり、歩留まりを低下させるという問題があった。
【解決手段】水晶片２の駆動振動脚３の幅を測定し、離調度ランク換算表を用いて、駆動振動脚３の幅毎に離調度ランク層別を行う。 （もっと読む）

【課題】錘部が振動腕部の振動（振幅）に追従せずに振動腕部の振動とは異なる振動をしてしまうことを防ぎ、振動腕部の振動の安定化、および振動腕部の振動周波数を安定化する。
【解決手段】振動腕部３の腕幅Ｗより大きく（太く）、且つ先端錘部５の腕幅Ｗ２より小さい（細い）腕幅Ｗ１を有して形成された中間錘部４を備えることで、中間錘部４を振動腕部３の振動（振幅）に追従させる。さらに中間錘部４の腕幅Ｗ１より大きい（太い）腕幅Ｗ２を有して形成された先端錘部５を備えることで、振動腕部３および中間錘部４の振動（振幅）に追従させるので、振動腕部３の振動特性を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】固定部と該固定部の外径側を囲むように配設された錘とを複数の梁で連結してなる振動体を備えたセンサ素子を例えばＳＯＩウェハを用いたＳｉウェハ一括プロセス処理で形成できるようにした振動体型力学量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】振動体１１を備えたセンサ素子よりなる振動体型力学量センサにおいて、前記センサ素子は半導体部材から形成されたものであるとともに、振動体１１は固定部１２と固定部１２の外径側を囲むように配設された錘１４とを複数の梁１３で連結したものであり、さらに、前記センサ素子の一方の面にガラス基板１０１が接合され、固定部１２がガラス基板１０１側と接合されることにより振動体１１がガラス基板１０１で機械的に支持されてなる構成としている。 （もっと読む）

【課題】 振動型ジャイロ素子の検出精度を向上させること。
【解決手段】 振動型ジャイロ素子は、基部１０と、基部から、所定面内で第１方向に延出する駆動腕２０と、基部１０から、所定面内において第１方向と交差する第２方向に延出する検出腕３０と、駆動腕２０に設けられる駆動電極と、検出腕に設けられる検出電極と、を含み、駆動腕２０は、駆動電極によって形成される電界による歪みによって、所定面に垂直な第３方向に振動し、これによって駆動振動ＶＡが生じ、第１方向の軸回りに作用する角速度によって駆動腕２０に第１検出振動ＶＢが生じると、検出腕３０に、第１検出振動ＶＢに対応した第２検出振動ＶＣが生じ、第２検出振動ＶＣに基づく歪みによって検出腕３０に電界が生じ、検出腕に３０生じる電界によって電荷（Ｑ１〜Ｑ４）の移動が生じ、電荷（Ｑ１〜Ｑ４）の移動による電気信号が検出電極から取り出される。 （もっと読む）

【課題】複数のリードフレームを備えた集合体を形成する場合、リードフレームのリード形状・配置が異なった場合、それぞれに対応したリードフレームを割り当てることが必要となる。そのため、例えば４種類のリードフレームを形成するには、４回の独立した製造工程を行うことが必要となる。そのため、リードフレームを形成するためのマスクも４種類必要となり、コスト的にも不利になるという課題がある。
【解決手段】基板９０と、基板９０の第１の領域１２１に形成された第１のリード群１０１からなる第１のリードパターンと、基板９０の第２の領域１２２に形成された第２のリード群１０２からなる第２のリードパターンとを含み、前記第１のリードパターンと前記第２のリードパターンは異なる構成とした。これにより一枚の基板に複数のリードパターンを備えるリードフレームが可能となり、課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】加速度センサ，角速度センサのそれぞれの検出感度を低下させない圧力で封止した複合センサの製造方法を提供する。
【解決手段】加速度センサの可動体と角速度センサの振動体とを壁で隔てて、同一のセンサウエハ上に作製する。加速度センサ，角速度センサの可動機構に対応したギャップを設けたキャップウエハを形成し、角速度センサのギャップ内に複数に分割した吸着材を配置する。センサウエハとキャップウエハとを吸着材の活性化しない温度，希ガス，活性ガスの大気雰囲気下で接合した後、分割した吸着材を順次活性化させて、活性ガスを吸着させて、角速度センサ内圧力を調整して、複合センサウエハを作製する。その後、ダイアモンド砥石による切断，回路基板，配線基板を実装して、複合センサを形成する。 （もっと読む）

【課題】厚さを低減することが可能なセンサーデバイス、このセンサーデバイスの製造方法、このセンサーデバイスを用いたモーションセンサー及びこのモーションセンサーの製造方法の提供。
【解決手段】センサーデバイス１は、シリコン基板１０と、シリコン基板１０の能動面１０ａ側に設けられた第１の電極１１と、第１の電極１１に電気的に接続されて能動面１０ａ側に設けられた外部接続端子１２と、シリコン基板１０と外部接続端子１２との間に設けられた応力緩和層１５と、シリコン基板１０の能動面１０ａ側に設けられた接続用端子１３と、基部２１と基部２１から延伸された各振動腕と接続電極としての引き出し電極２９とを備えたセンサー素子としての振動ジャイロ素子２０と、を有し、振動ジャイロ素子２０が、引き出し電極２９と外部接続端子１２との接続によってシリコン基板１０に保持されていることを特徴とする。 （もっと読む）