【課題】本発明は、簡単な回路構成を用いながら電荷／電圧変換およびバッファアンプの飽和を防止することにより、０点変動を低減させることができ、これにより、角速度の測定精度の向上を図ることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを可撓部２２の内周部から外周部にわたって設けるとともに、前記検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄの幅を質量部２３の中心からの距離に応じて大きくすることにより、検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄのコリオリ力に起因しない電荷分をキャンセルまたは極めて小さくなるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】外乱の大きさに影響されない態様で錘の特性差を補償することができる角速度検出装置の調整方法の提供。
【解決手段】互いに逆相に駆動される２つの錘の駆動方向に垂直な方向の振動に基づいて角速度を検出する角速度検出装置の調整方法であって、２つの錘を互いに逆相に駆動する駆動ステップと、駆動中に、２つの錘の検出電極に、振幅変調用のキャリア信号を印加する作動ステップと、作動ステップ中に、駆動方向に垂直な方向で２つの錘が互いに同相に振動するように、同一の加速度を作用させる加振ステップと、加振ステップ中に２つの錘から得られる電気信号から、駆動方向に垂直な方向での振動成分を表す信号を抽出する信号抽出ステップと、信号抽出ステップで得られる２つの錘に係る信号の振幅が同一になるように、振幅変調用のキャリア信号の振幅を調整する振幅調整ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】振動損失を低減させ、角速度センサーとして用いた場合に検出感度が高い振動片を提供する。
【解決手段】振動片１０は、基部２０と、互いに対向する第１主面１１と第２主面１２と、第１主面１１及び第２主面１２を連結し互いに対向する側面４１，５１と側面４２，５２と、を有し、基部２０から延在された複数の振動腕４０，５０と、少なくとも振動腕４０の側面４１は、第１主面１１側から設けられた第１段差部４３と、第２主面１２側から設けられた第２段差部４４と、を有し、振動腕４０の側面４２に設けられた検出電極と、第１段差部４３の検出電極に対向する位置に設けられた検出電極と、第２段差部４４の検出電極に対向する位置に設けられた検出電極と、を備える。 （もっと読む）

【課題】外乱振動に対する優れた耐振・耐衝撃性能を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明によるヨーレートセンサ装置１は、半導体基板上に圧電素子を含むヨーレートセンサ素子２と、そのヨーレートセンサ素子２を固定・支持する板状の固定部５とを有しており、固定部５は、その両端が、ケース４内に設けられた固定部保持台４５，４５’によって保持され、半導体基板の延在方向に沿って延在している。 （もっと読む）

【課題】位相調整を自動で行う事により、高い検出感度を常時安定して保つ角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサにおいて、検出部により出力される検出信号から漏れ振動による変位量を抽出する第２同期検波部と、第２同期検波部により検出された振動子の変位量を平滑化する第２平滑手段と、入力した信号の位相を変化させて第１同期検波部へ出力する位相調整部とを有し、位相調整部は、位相調整部に入力した信号の位相を第２平滑手段の出力を角速度に依存させない様に調整して第２同期検波部に出力する事を特徴とする角速度センサを構成する。 （もっと読む）

【課題】優れた耐振・耐衝撃性能を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】ヨーレートセンサ装置７は、固定部７２ａ，７２ｂによって、ヨーレートセンサ素子２が支持基板７１に固定されたものである。固定部７２ａ，７２ｂは、平行部７３ａ，７３ｂ、及び、立ち上げ部７４ａ，７４ｂを有している。また、固定部７２ａ，７２ｂは、立ち上げ部７４ａ，７４ｂの固定部端部７５ａ，７５ｂにて、ヨーレートセンサ素子２を固定し、それを支持基板７１の延在方向と平行になるように、支持基板７１の上方空間内で支持している。さらに、固定部７２ａ，７２ｂと支持基板７１の表面との間に、固定部７２ａ，７２ｂの平行部７３ａ，７３ｂを互いに連結する梁７９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】従来の領域分割基板と較べて部分領域を引き出し導電領域として利用した場合の抵抗値が小さく、導電性、半導電性または絶縁性の任意の基板材料を用いることができ、適用制限の少ない領域分割基板およびそれを用いた半導体装置ならびにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】基板３０の第１表面Ｓ１から第２表面Ｓ２に亘って、当該基板３０を貫通するように形成されたトレンチ３１ａによって、当該基板３０が複数の部分領域Ｃｅに分割され、トレンチ３１ａによって形成された部分領域Ｃｅの側壁に、第１表面Ｓ１の側から第２表面Ｓ２の側に亘って、当該基板３０より高い導電率を有する導電層３５が形成され、導電層３５を介して、トレンチ３１ａ内に絶縁体３１ｂが埋め込まれてなる領域分割基板Ａ１０とする。 （もっと読む）

【課題】
信頼性の高い加速度・角速度検出素子を提供する。
【解決手段】
基体と、力の印加により形状または物性値が変化する支持体と、前記支持体上に配置された重錘体と、前記支持体の変形または物性値の変化に応じた信号を検出する検出電極と、を有し、その下面を前記基体上に接触させた状態で配置された検出部と、を有し、前記検出電極は、互いに離間して配置された第１検出電極と第２検出電極とで構成される、加速度・角速度検出素子。加速度・角速度検出素子である。これにより、信頼性の高い加速度・角速度検出素子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】センサの小型化あるいは薄型化を実現することができる角速度センサ及び電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る角速度センサ１は、振動素子１０ｘ、１０ｙ、１０ｚ’と、これらを支持する支持基板２０とを具備する。振動素子１０ｘは、Ｘ軸に平行な軸回りの角速度を検出する。振動素子１０ｙは、Ｙ軸に平行な軸回りの角速度を検出する。振動素子１０ｚ’は、ＸＺ平面内においてＸ軸に対して斜めに交差するＺ’軸方向に平行な軸回りの角速度を検出し、Ｚ軸と平行な軸回りの角速度を検出するための信号を出力する。振動素子１０ｚ’が支持基板２０に対して斜めに実装されているので、センサの厚み寸法の低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】サイズの大型化を回避できるセンサーデバイス、これを用いたモーションセンサー及びこのモーションセンサーの製造方法の提供。
【解決手段】第２センサーデバイス２は、複数のリード１０の一方の面１１に形成された接続部１２と、一方の主面２０ａがワイヤー４０によって接続部１２に接続された振動ジャイロ素子２０と、リード１０の、一方の面１１と表裏関係を成す他方の面１３に接合された補強板３０と、を有し、補強板３０が、平面視において、接続部１２と重なるように複数のリード１０に跨って設けられ、リード１０が、一方の面１１または他方の面１３と振動ジャイロ素子２０の一方の主面２０ａまたは他方の主面２０ｂとの成す角度θが略直角となるように折り曲げられていることを特徴とする。 （もっと読む）