【課題】 占有面積の縮小、容量の増大、ブラウンノイズの低減及び可動部の質量の増大等の二律背反の要請をバランスよく満足して検出精度を向上することができるＭＥＭＳセンサー及びその製造方法並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 ＭＥＭＳセンサー１０は、固定部２０と、弾性変形部３０と、弾性変形部を介して固定部に連結され、周囲に空洞部が形成された可動錘部４０と、固定部に第１の方向Ａに沿って配列固定され、第１の方向と直交する第２の方向Ｂに沿って突出する複数の固定電極部５０と、可動錘部より第２の方向に沿って突出形成されて、複数の固定電極部５０にそれぞれ対向して配置され、第１の方向に沿って配列された複数の可動電極部６０とを有する。可動錘部４０は、複数の可動電極部と同一の層に形成され、複数の可動電極部を連結する連結部４２と、複数の可動電極部及び連結部とは異なる層に形成され、連結部に接続された付加錘部４６とを含む。 （もっと読む）

【課題】現状のＰＺＴ薄膜に代替可能な圧電特性を有するアルカリニオブ酸化物系の圧電薄膜を用いた圧電薄膜素子及び圧電薄膜デバイスを提供する。
【解決手段】基板１上に、Ｐｔ，Ａｕ等の下部電極２と、組成式（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）_ｙＮｂＯ_３で表されるアルカリニオブ酸化物系のペロブスカイト構造を有し、０.４≦ｘ≦０.７かつ０.７≦ｙ≦０.９４の範囲にある圧電薄膜３と、下部電極２と同様な材料の上部電極４とを備える圧電薄膜素子である。 （もっと読む）

【課題】 時分割駆動方式の角速度センサにおいて、励振方向を切り換える際に切り換え前の方向の振動を早く減衰させる。
【解決手段】 可撓性を有する梁部と、前記梁部を支持する支持部と、前記梁部と結合し前記梁部とともに運動する錘部と、前記梁部に設けられた駆動用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を所定時間毎に切り換えることによって、直交する複数の励振方向に前記錘部を振動させる励振手段と、前記梁部に設けられた検出用圧電素子を備え、前記検出用圧電素子から出力される検出信号に基づいて、コリオリ力に対応する検出方向における前記錘部の振動をを検出する検出手段と、切り換え前の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号の印加終了後から切り換え前と別の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号を印加するまでの切り換え期間中に、切り換え前の前記錘部の振動に関連する信号に基づいて生成した静定信号を、前記駆動用圧電素子に印加する静定制御手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子における共振振動の周波数を変化させることができる構成を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、振動子１１と、モニタ回路１２と、フィルタ回路１３と、振動制御回路１４と、駆動回路１５とを少なくとも有する振動子駆動制御回路ループ１６と、前記振動子駆動制御回路ループ１６内における信号が基準信号として入力されると共に前記振動子１１の振動周波数と同期した信号を生成し出力する位相同期回路１７と、前記位相同期回路１７の出力信号周波数が前記基準信号に対して独立となるよう切り替える切替回路２１とを具備し、前記フィルタ回路１３が、前記位相同期回路１７の出力信号周波数に応じてその通過周波数帯域を可変させるセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】ロール方向の角速度を計測しない状況で、ロール方向の傾斜によるヨー方向の角速度計測値の誤差を補正することが可能な角速度算出装置を提供する。
【解決手段】車両２のヨー方向の角速度を計測した後に、車両２の旋回走行により発生する遠心力ｆ１を算出し、その遠心力によるロール方向のモーメントを外力とする運動方程式からロール角θを算出する。そして角速度の計測値をｃｏｓθで除算することで角速度を補正する。 （もっと読む）

【課題】回路モジュールを実装基板に実装する際、回路モジュールと実装基板との接合部の形状を調整し、応力緩和を図ることで、接合不良を防止し、信頼性の高い実装を実現する。
【解決手段】少なくとも第１及び第２の面を有する回路基板１０と、前記第１の面に搭載された素子チップ２０と、実装面である前記回路基板の前記第２の面に隣接する第３の面から導出された、曲げ部を有する実装用のリード端子部３０とを具備し、前記リード端子部は、絶縁性基材と前記絶縁性基材に沿って形成された導体層とで構成され、前記リード端子部３０の先端が、実装面を構成する平坦面を有し、前記平坦面が半田層４０で被覆された回路モジュール１を構成する。 （もっと読む）

【課題】角速度センサと加速度センサの両方を搭載する角速度センサ搭載エアバッグ電子制御装置が有する共振周波数帯を、各センサが利用する周波数帯全てと重ならないようにして制御対象を誤って制御しないようにする技術を提供する。
【解決手段】車両に搭載され、電子基板と筐体とを備え、車両に設けられた制御対象を制御する電子制御装置において、電子基板は、複数の固定点において筐体に固定され、複数の固定点から選択される複数点を頂点とする複数の領域のうち最も狭い対象領域に加速度センサ及び角速度センサの双方が配置されるため、各センサが配置される位置の共振周波数と各センサが利用する周波数とを外すことができ、誤制御を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】優れた耐振・耐衝撃性能を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明によるジャイロセンサ装置１に備わる圧電振動デバイス２は、基部２０と、それを挟んで＋Ｙ方向に伸びる駆動腕２１ａ，２１ｂ、及び、−Ｙ方向に伸びる検出腕２２ａ，２２ｂを備える。また、基部２０を挟んで±Ｘ方向）には、湾曲部２４ａ，２４ｂを介して、直線部２５ａ，２５ｂへと連なる支持腕２３ａ，２３ｂが設けられており、直線部２５ａ，２５ｂは、保持部のセンサ固定部へと固定される固定部２７に接続されている。 （もっと読む）

【課題】傾斜ベースを正しい向きで実装する作業を簡素なものとして、パッケージへの組み立て作業を容易に行うことのできる半導体物理量センサを得る。
【解決手段】パッケージ５内に傾斜ベース４を実装するとともに、半導体を用いた物理量センサチップ２を、当該センサチップ２の検出軸がパッケージ底面（下段面）５ｂに対して傾斜するように傾斜ベース４の傾斜面４ａに実装する半導体物理量センサ１において、傾斜ベース４に、当該傾斜ベース４の傾斜方向を特定するための切欠部（第１の識別部）７を設け、この切欠部７を、平面視における傾斜ベース４の輪郭を当該輪郭の中心に対して非点対称となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】振動型角速度センサの錘部および梁部の振動のＱ値を低減する。
【解決手段】パッケージと、前記パッケージに底面が接合される環状の支持部と、前記支持部の内側に位置する錘部と、前記支持部の上部と前記錘部の上部とを連結する梁部と、前記梁部に形成される駆動用圧電素および検出用圧電素子と、前記支持部の上部と前記錘部の上部とを隔てるスリットが形成され前記支持部の上部と前記錘部の上部と前記梁部の全部とを構成する可撓層と、前記支持部の下部と前記錘部の下部とを隔てるとともに前記スリットに連通している環状の空隙が形成され前記錘部の下部と前記支持部の下部とを構成し前記可撓層より厚い不可撓層とを備え、前記支持部と前記錘部とを隔てる前記スリットの幅は、前記支持部と前記錘部とを隔てる前記空隙の幅よりも狭い、振動型角速度センサ。 （もっと読む）