【課題】 寒剤の蒸発量を最小にして、寒剤ガスの圧力を気にする必要なく、試料ホルダの温度を寒剤温度から室温の範囲で所定の温度を維持するための顕微鏡用クライオスタット装置を提供する。
【解決手段】 試料ホルダを、熱伝導で冷却すると同時にヒータで加熱し両者のバランスで温度コントロールする。その際、熱伝導経路の中に入れた熱スイッチの熱結合度を調節することにより、寒剤への熱流入を減少させることができ、寒剤の蒸発量を最少にできる。 （もっと読む）

【課題】光学素子に対する局所的な熱による環境影響を簡単に補償することを可能にする光学結像装置および光学結像法を提供する。
【解決手段】投影パターンを有するマスクを収容するためのマスク装置と、光学素子群を有する投影装置と、基板を収容するための基板装置と、液浸ゾーン１１０とを備える、特にマイクロリソグラフィで使用するための光学結像装置である。光学素子群が、基板に投影パターンを投影するように構成されており、作動中に少なくとも一時的に液浸ゾーン１１０に隣接して配置される液浸素子を有する複数の光学素子を備える。作動中に液浸ゾーン１１０が液浸素子と基盤との間に配置され少なくとも一時的に液浸媒体１１０．１が充填される。熱減衰装置１１１が設けられており、この熱減衰装置１１１は、液浸媒体１１０．１によって液浸素子の温度分布ＴＥに誘発される変動を減じるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】光源からの熱伝導による顕微鏡本体部の膨張および変形を抑制してフォーカスずれを防止する光学機器接続装置および光学機器を提供する。
【解決手段】本発明のアダプタ４０は、顕微鏡本体１と光源２０とを接続する光学機器用接続装置であって、顕微鏡本体１と光源２０とを接続するアダプタ本体４１と、アダプタ本体４１の外部に冷却面を接して配置される冷却素子４２と、冷却素子４２の放熱面に配置される放熱部材４３と、冷却素子４２の出力を制御する制御部５１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】誤検査を防止することができる顕微鏡用の検査装置および顕微鏡による検査方法を提供することである。
【解決手段】顕微鏡用の検査装置１００においては、サンプルステージ２３２ａによりサンプルＰが保持され、気流Ｆ２２５ａによりサンプルステージ２３２ａの周囲に冷却雰囲気が形成され、気流Ｆ２１および気流Ｆ２４５により冷却雰囲気の周囲に常温乾燥気流が形成される。また、孔２１１，２２１，２５１により顕微鏡の光学系が透過される。それにより、開放系の環境下であっても、サンプルＰの正確な検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】振動、騒音、粉塵、迷光が発生することなく、発熱源を十分に冷却することのできる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】ランプ等の発熱源に液冷媒を供給することにより発熱源を冷却する発熱源冷却部６１と、液冷媒を循環させる循環装置５０とを配管６０で接続することにより、冷媒循環路Ｃを構成する。上記のように構成することで、従来のファンを使用した冷却装置のように、ファンの駆動に伴う振動、騒音、粉塵、迷光等が発生することなく、発熱源を十分に冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの観察において、チップのオーバーヒートを防ぐための流体冷却を停止することなく対物レンズを切り換えることができる可変倍率の集光光学系を提供する。
【解決手段】集光光学系は、種々の倍率を有し、スプレー冷却を停止させることなく倍率を変更できる。可変倍率は、倍率が異なるいくつかの対物レンズ105を移動させるタレット100によってもたらされる。フレーム110は、タレット100の上方に設けられ、スプレー冷却が行われる。タレット100を回転させ、高さを変えることによって、タレット100の異なる対物レンズ105がフレーム110内のドッキングポート120に「ドックト」され得る。 （もっと読む）

【課題】高い保冷能力を長時間継続可能で、かつ、振動が発生しない顕微鏡観察用保冷装置を提供する。
【解決手段】所定量の水を貯める水槽部１０と、高熱伝導性材料からなり、水槽部１０に貯められた水に浸漬して用いる放熱フィンを下面側に有する蓋部２０と、蓋部１０の上面に一方の面が貼り付けられたペルチェ素子３０と、高熱伝導性材料からなり、ペルチェ素子３０の他方の面に下面が貼り付けられる保冷プレート４０と、ペルチェ素子３０を駆動するための電源部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】最近では、線虫Ｍやダニなどの行動が温度走性であることが分かってきている。そのため、従来の顕微鏡用加温装置とは異なり、試料載置面に温度勾配が形成され、しかもその温度勾配を意図的に制御できる試料載置装置が求められている。
【解決手段】試料を載置する試料載置面３１と、試料載置面３１を加温する加温手段とを備えた試料載置装置１において、加温手段は試料載置面３１に所望の温度勾配を形成するものである。この温度勾配は、透明抵抗発熱膜領域３５を単一の材料で構成し、一対の給電用電極の離間距離を変えて温度の異なる小領域３９に区画することで形成できる。 （もっと読む）

【課題】構造上単純な手段により顕微鏡（の構成要素）の冷却を効率的に実行可能とされた走査顕微鏡。
【解決手段】走査装置（１）と、検出装置（２）と、走査顕微鏡を作動するための電子装置（３）と、走査顕微鏡の少なくとも１つの構成要素のための冷却装置（４）とを含んで構成される、共焦点走査顕微鏡等の走査顕微鏡において、前記冷却装置（４）は、液状冷却媒体によって作動可能に構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、何百、何千及び数十万のサンプルを含むアレイをスクリーニングするための方法、システム及び装置に関する。これらの方法は、構造上の完全性及び／又は生存能を維持しながら、費用効率の高い、製剤の凍結乾燥、生物製剤の凍結の組成物又は条件の最適化、選択及び発見に有用である。そのような凍結乾燥組成物は、疾患、疾患の原因又は疾患の症状の治療又は予防のために容易に再構築される。さらに、生物学的サンプルの最適化された凍結は、広範囲の種々の生物製剤を実行可能に保存することができる。
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